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专利名称:评估与三维NAND存储器单元有关的中间产品

专利申请号202010921120.0
申请日2020.09.04
公开(公告)号CN112447543A
公开(公告)日2021.03.05
主分类号H01L21/66
分案原申请号
分类号H01L21/66 H01L27/11524 H01L27/11551
优先权62/895,917 2019.09.04 US;16/917,304 2020.06.30 US
申请(专利权)人应用材料以色列公司
地址以色列瑞哈佛特市
发明(设计)人R·克里斯;V·维利沙金;A·沙米尔;E·萨默;S·杜夫德瓦尼-巴;M·L·C·林
国际申请
国际公布
进入国家阶段日期
专利代理机构上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人侯颖媖
专利类型发明专利
摘要用于评估与三维NAND存储器单元有关的中间产品的方法、非瞬态计算机可读介质和评估系统。评估系统可包括成像器和处理电路。成像器可配置成经由开放间隙获得属于中间产品的结构元件的一部分的电子图像。结构元件可以包括一系列层,所述一系列层可以包括顶层,所述顶层后跟交替的非导电层和凹陷的导电层。成像器可包括电子光学器件,所述电子光学器件配置成使用电子束扫描结构元件的一部分,所述电子束倾斜于开放间隙的纵轴。处理电路配置成基于电子图像评估中间产品。开放间隙(a)展现出高深宽比,(b)具有纳米量级尺度的宽度,并且(c)形成在中间产品的结构元件之间。
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