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专利名称:气体吹扫阀

专利申请号202080078988.7
申请日2020.11.12
公开(公告)号CN114641637A
公开(公告)日2022.06.17
主分类号F16K5/02
分案原申请号
分类号F16K5/02 H01L21/00
优先权1916476.3 2019.11.13 GB
申请(专利权)人爱德华兹有限公司
地址英国西萨塞克斯郡
发明(设计)人A·J·西利
国际申请PCT/GB2020/052881 2020.11.12
国际公布WO2021/094759EN 2021.05.20
进入国家阶段日期2022.05.13
专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人邹龙辉
专利类型发明专利
摘要一种阀(100),包括:壳体(102),其具有至少一个入口(104a)和至少一个出口(104b);阀构件(108),其位于所述壳体(102)内并且能够在不同位置之间移动,以用于在使用中控制流体从所述阀(100)的入口(104a)到出口(104b)的流动;其中,所述阀(100)还包括:至少两个间隔开的阀座(110a、110b),所述阀构件(108)位于所述阀座中,以便形成由所述阀座(110a、110b)、所述阀构件(108)的外表面和所述壳体(102)的内表面界定的腔(112);第一导管(118),其在所述壳体(102)的外部与所述腔(112)之间延伸;以及在所述腔(112)与所述阀构件(108)的孔(114)之间延伸的第二导管(125),在使用中,吹扫气体能够通过所述导管(112、125)被引入到所述腔(112)和孔(114)中。优选地,吹扫气体被加压,并可选地使用筒式加热器(126)加热,以分别抑制工艺气体的逸出和冷凝。
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