| 专利申请号 | 202180103673.8 |
|---|---|
| 申请日 | 2021.10.27 |
| 公开(公告)号 | CN118284491A |
| 公开(公告)日 | 2024.07.02 |
| 主分类号 | B23K26/36 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | B23K26/36 B23K26/70 |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 株式会社 尼康 |
| 地址 | 日本东京都 |
| 发明(设计)人 | 江上茂树;北尚宪;立崎阳介 |
| 国际申请 | PCT/JP2021/039660 2021.10.27 |
| 国际公布 | WO2023/073833JA 2023.05.04 |
| 进入国家阶段日期 | 2024.04.24 |
| 专利代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
| 代理人 | 王天尧 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 数据生成方法生成用以控制能够通过对物体照射脉冲能量束来对物体进行去除加工的加工装置的控制数据，上述数据生成方法在对测试工件照射脉冲能量束后，测量测试工件的去除加工后的形状，基于测试工件的去除加工前的形状信息及测试工件的去除加工后的形状的测量结果，算出与对测试工件的光侵入长有关的信息，基于与相对于脉冲能量束的照射方向而言的被照射脉冲能量束的物体的各照射目标位置的倾斜度有关的信息及与光侵入长有关的信息，在每个照射目标位置算出对物体照射单位次数的脉冲能量束的情况的物体的单位加工量，且基于每个照射目标位置的目标加工量及每个照射目标位置的单位加工量，算出应对每个照射目标位置照射脉冲能量束的目标次数。 |
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