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专利名称:分子泵

专利申请号202210212040.7
申请日2022.03.04
公开(公告)号CN114623089A
公开(公告)日2022.06.14
主分类号F04D19/04
分案原申请号
分类号F04D19/04 F04D29/70
优先权
申请(专利权)人北京子牛亦东科技有限公司
地址100176 北京市大兴区经济技术开发区科谷二街10号院B区5号楼7层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
发明(设计)人刘小俊;陈涛;李春龙;卓鸿俊
国际申请
国际公布
进入国家阶段日期
专利代理机构北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人王志红
专利类型发明专利
摘要本发明涉及真空泵技术领域,具体公开了一种分子泵,包括:机体,内部具有腔体,所述机体的侧壁开设有与所述腔体连通的入口,所述机体的底部端面开设有所述腔体连通的出口;注入管路,与所述入口连通,以将外部的自清洁剂导入所述腔体内;排出管路,与所述出口连通,以将所述腔体内的残余液体排出。本申请通过在机体上设置注入管路以及排出管路,可以将自清洁剂自注入管路注入机体内,并将机体内的残余液体从排出管路排出机体,起到了清洁机体腔体的作用,延长了分子泵的寿命,减少故障率。
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