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专利名称:一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法

专利申请号202210286974.5
申请日2022.03.22
公开(公告)号CN114639768A
公开(公告)日2022.06.17
主分类号H01L35/32
分案原申请号
分类号H01L35/32 H01L35/34 H01L35/10 G01J5/12 G01K17/00 G01M9/06
优先权
申请(专利权)人电子科技大学
地址611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
发明(设计)人陶伯万;常永涛;赵睿鹏;费希;陈曦;李禛哲
国际申请
国际公布
进入国家阶段日期
专利代理机构电子科技大学专利中心 51203
代理人闫树平
专利类型发明专利
摘要本发明属于热流传感器领域,具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好;批量制备技术设计思路简单易行,在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上,通过特殊的图形化结构设计,一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器,易于工业化大批量生产,大大提高工作效率,降低了成本。同时,可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品,便于在测试时,根据不同需求选择不同个数样品进行测试,能够有效应对大热流场的测量需求应用场景,便于形成集成传感器芯片模块,充分发挥微系统可标准化批量化生产的特点,符合当今时代电路发展规律。
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