| 专利申请号 | 202210286974.5 |
|---|---|
| 申请日 | 2022.03.22 |
| 公开(公告)号 | CN114639768A |
| 公开(公告)日 | 2022.06.17 |
| 主分类号 | H01L35/32 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | H01L35/32 H01L35/34 H01L35/10 G01J5/12 G01K17/00 G01M9/06 |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 电子科技大学 |
| 地址 | 611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号 |
| 发明(设计)人 | 陶伯万;常永涛;赵睿鹏;费希;陈曦;李禛哲 |
| 国际申请 | |
| 国际公布 | |
| 进入国家阶段日期 | |
| 专利代理机构 | 电子科技大学专利中心 51203 |
| 代理人 | 闫树平 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明属于热流传感器领域，具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好；批量制备技术设计思路简单易行，在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上，通过特殊的图形化结构设计，一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器，易于工业化大批量生产，大大提高工作效率，降低了成本。同时，可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品，便于在测试时，根据不同需求选择不同个数样品进行测试，能够有效应对大热流场的测量需求应用场景，便于形成集成传感器芯片模块，充分发挥微系统可标准化批量化生产的特点，符合当今时代电路发展规律。 |
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