| 专利申请号 | 202210589076.7 |
|---|---|
| 申请日 | 2022.05.26 |
| 公开(公告)号 | CN114823426A |
| 公开(公告)日 | 2022.07.29 |
| 主分类号 | H01L21/67 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | H01L21/67 |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 |
| 发明(设计)人 | 鲁艳成 |
| 国际申请 | |
| 国际公布 | |
| 进入国家阶段日期 | |
| 专利代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
| 代理人 | 彭瑞欣 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明提供一种半导体工艺设备，包括传输腔室和至少一组工艺腔室，每组工艺腔室沿传输腔室的一侧依次分布，工艺腔室包括反应腔室、真空组件和至少一个容纳盒，真空组件设置在对应的反应腔室下方，容纳盒用于容纳实现半导体工艺设备功能的功能模块，容纳盒设置于真空组件背离传输腔室的一侧，且能够沿对应组内的工艺腔室的腔室排布方向移动。在本发明中，容纳盒能够沿腔室排布方向移动，灵活利用维护通道容纳功能模块，相邻工艺腔室之间无需预留用于容纳功能模块的空间，缩小了传输腔室及其机械手的尺寸以及半导体工艺设备的占地面积。 |
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