| 专利申请号 | 202211526771.5 |
|---|---|
| 申请日 | 2022.12.01 |
| 公开(公告)号 | CN115722467A |
| 公开(公告)日 | 2023.03.03 |
| 主分类号 | B08B1/00 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | B08B1/00 B08B1/04 B08B3/08 B08B13/00 |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 常州瑞择微电子科技有限公司 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市新北区长江中路25号3号楼一楼西 |
| 发明(设计)人 | 徐飞;王玲 |
| 国际申请 | |
| 国际公布 | |
| 进入国家阶段日期 | |
| 专利代理机构 | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 |
| 代理人 | 张秋月 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明涉及一种掩模版侧边清洗装置，包括支撑旋转机构、夹紧机构和清洗机构，支撑旋转机构用于支撑掩模版并带动掩模版转动相应角度；夹紧机构用于夹紧掩模版的一对侧边；清洗机构用于在所述夹紧机构夹紧掩模版的一组侧边后清洗所述掩模版的另一对侧边。本发明可以高效地对掩模版侧边进行清洗。 |
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