| 专利申请号 | 202310434292.9 |
|---|---|
| 申请日 | 2023.04.20 |
| 公开(公告)号 | CN118826679A |
| 公开(公告)日 | 2024.10.22 |
| 主分类号 | H03H9/02 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | H03H9/02 H03H9/13 H03H3/08 |
| 优先权 | |
| 申请(专利权)人 | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层 |
| 发明(设计)人 | 曹亮;付先;姚远;宋崇希;龙峥;程一民;沙小强 |
| 国际申请 | |
| 国际公布 | |
| 进入国家阶段日期 | |
| 专利代理机构 | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
| 代理人 | 汤丽娅 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本申请涉及一种声表面波谐振器及其制造方法，声表面波谐振器包括压电层和电极单元，压电层的第一表面上具有中心区域，中心区域上设有声波漫反射区，声波漫反射区向压电层的内部凹陷，电极单元设置在压电层的第一表面上，电极单元包括第一汇流条、平行于第一汇流条的第二汇流条、从第一汇流条向第二汇流条延伸的多条第一电极指，从第二汇流条向第一汇流条延伸的多条第二电极指，第一电极指的端面与中心区域的端面间具有第一距离，第二电极指的端面与中心区域的端面间具有第二距离；本申请的声表面波谐振器，通过在压电层的中心区域上制备声波漫反射区，使声波漫反射区可有效阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，从而达到横模抑制的目的。 |
| 全文下载 | 下载 |