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专利名称:中压晶体管结构及其制作方法

专利申请号202311083980.1
申请日2023.08.28
公开(公告)号CN119562558A
公开(公告)日2025.03.04
主分类号H10D30/60
分案原申请号
分类号H10D30/60 H10D30/01 H10D64/27 H10D64/01
优先权
申请(专利权)人联华电子股份有限公司
地址中国台湾新竹市
发明(设计)人李信宏
国际申请
国际公布
进入国家阶段日期
专利代理机构北京市柳沈律师事务所 11105
代理人王锐
专利类型发明专利
摘要本发明公开一种中压晶体管结构及其制作方法,其中该中压晶体管结构包含一基底,一栅极结构设置于基底上,一源极轻掺杂区和一漏极轻掺杂区埋入于栅极结构的两侧的基底中,一导电结构接触漏极轻掺杂区,一第一间隙壁环绕栅极结构以及一第二间隙壁环绕导电结构,第一间隙壁接触第二间隙壁。
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