声谐振器

一种声谐振器（100）提供高压电耦合，并且在谐振频率下表现出改进的功率处理特性和Q因数。所述声谐振器（100）包括叉指换能器（interdigital transducer，IDT）（102），所述IDT形成在压电基板（104）上。所述IDT（102）的每个交错排列的指状电极具有多层结构，所述多层结构包括第一层（200）和第二层（202），所述第二层设置在所述第一层（200）上方并且通过一个或多个基座（204）与所述第一层（200）分离。所述第一层（200）、所述第二层（202）和所述一个或多个基座（204）的厚度和宽度基于将由所述IDT（102）在所述声谐振器（100）的所述谐振频率下产生的声波的波长来定义。所述第一层（200）的所述厚度小于所述一个或多个基座（204）和所述第二层（202）中的每一者的所述厚度，所述一个或多个基座（204）的所述宽度小于所述第一层（200）和所述第二层（202）中的每一者的所述宽度。