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专利名称:一种利用氯硅烷废液制备高纯石英砂的工艺方法及生产系统

专利申请号202511409784.8
申请日2025.09.29
公开(公告)号CN121361800A
公开(公告)日2026.01.20
主分类号C01B33/12
分案原申请号
分类号C01B33/12 B01D36/00 B01D3/00 B01J19/00
优先权
申请(专利权)人四川永祥新能源有限公司
地址614800 四川省乐山市五通桥区龙翔路999号
发明(设计)人向春林;李兵;涂大勇;明勇;张聪;庹如刚;蒲勇;张芥铭;余宏福;彭杨;赵秋霞
国际申请
国际公布
进入国家阶段日期
专利代理机构成都天嘉知识产权代理有限公司 51211
代理人向丹
专利类型发明专利
摘要本发明公开了一种利用氯硅烷废液制备高纯石英砂的工艺方法及生产系统,属于多晶硅副产物资源化利用技术领域。以氯硅烷废液为原料进行固液分离处理,将所得的高纯物料汽化,并使之与水蒸气混合进行气相水解反应,再将反应生成的二氧化硅颗粒进行煅烧处理,即得所述高纯石英砂。本发明实现了多晶硅渣浆处理装置中废液的资源化利用,以多晶硅渣浆处理过程中产生的氯硅烷废液作为起始原料,通过固液分离、气相水解和煅烧等一系列工序,制得高纯度石英砂产品。所得产品可用于多晶硅领域,作为坩埚制造的原材料,其中,气相水解工艺有助于形成粒径分布更为均匀的石英砂颗粒,提升产品品质。
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