| 专利申请号 | 202610308089.0 |
|---|---|
| 申请日 | 2026.03.13 |
| 公开(公告)号 | CN121978789A |
| 公开(公告)日 | 2026.05.05 |
| 主分类号 | G02B5/08 |
| 分案原申请号 | |
| 分类号 | G02B5/08 |
| 优先权 | 2025107296207 2025.06.03 CN |
| 申请(专利权)人 | 北京创思镀膜有限公司 |
| 地址 | 101113 北京市通州区工业开发区广源东街6号一层东 |
| 发明(设计)人 | 曾强 |
| 国际申请 | |
| 国际公布 | |
| 进入国家阶段日期 | |
| 专利代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
| 代理人 | 周琦 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 本发明提供一种多层膜平面窗口反射镜膜系的制备方法，该方法采用真空蒸镀法，膜系结构为G丨(Hf‑SiO2)n丨A，其反射膜以HfO2作为高折射率材料，以SiO2作为低折射率材料，其中HfO2层通过在含氧真空环境下蒸发Hf沉积完成。本发明发现，该镀膜体系时间极长，镀制过程中的真空度变化导致镀膜实际厚度会与设计厚度产生偏差，需通过预先镀制多次抓取TOLLING值，并在正式镀制时按抓取的TOLLING值进行修正，该方法能够显著提升制得平面窗口反射镜的性能，使其更接近设计值，上述方法在高性能分束膜的制备中具有重要应用。 |
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