摘要：本发明涉及精密仪器仪表领域，具体是一种相位式光栅位移传感器，通过将标尺光栅和指示光栅形成的莫尔条纹投射到“田”字形光电接收元件，输出具有90°相位差的四相信号，形成理想的李萨如圆实现位移检测功能。为了提高性能还可以增加高倍电子细分加密电路对四相信号进行高倍细分，以达到系统所需的测量分辨率，可以在测杆安装应用空气阻尼原理的测杆运动系统提高稳定性、可靠性。应用本发明的位移测量系统结构简单、调整方便、接收信号强、稳定、精度高、可以进行实时误差修正。