摘要：本发明公开了一种运动台装置、曝光装置及光刻机，其中，所述运动台装置包括：Y向电机，所述Y向电机的电机动子可沿水平面的Y向移动；X向电机，设置在X向导轨上，所述X向导轨与所述Y向电机的电机动子连接，并由所述Y向电机牵引沿水平面的Y向移动，所述X向电机的电机动子可沿水平面的X向移动；内部框架，支承所述X向导轨；运动台，设置在所述X向电机的电机动子上。本发明提供的技术方案使得Y向电机的运动单元整体减重，提升了运动台装置的模态和振动特性，所述X向导轨通过非接触式连接内部框架，对内部框架产生的振动冲击较小，同时使运

摘要：本发明提供一种芯片键合装置，包括第一运动台、第二运动台、芯片拾取装置，转接载板、芯片调整系统、键合台和控制系统。本发明还提供一种芯片键合方法，通过采用转接载板临时接合芯片，而后通过芯片调整系统精确调整芯片在所述转接载板上的位置，并将转接载板上的芯片一次性键合到基底上，实现了芯片的批量接合，有效地提高了倒装芯片接合工艺的效率。本发明采用芯片批量拾取和批量键合方式，平衡了芯片拾取、芯片位置精调和芯片键合的时间；使键合设备在保证键合精度的同时，提高了产率。

摘要：本发明提供一种蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构和曝光方法，掩膜版上包括透光区和若干处不透光区，图形结构由若干个相同的多边形拼接而成，多边形具有至少2个扇形不透光区域及一个透光区域，拼接方式为将多个多边形的扇形不透光区域拼接，形成圆形不透光区，掩膜版的边界上未形成完整的多边形的区域皆为不透光区。本发明中透光区域由上述多边形拼接形成，其余皆为不透光区域，这样拼接保证靠近该侧边的圆形不透光区域不会受到光照的干扰，在曝光另一个相同的掩膜版时，只需与第一个掩膜版侧边相拼接，将侧边处的图案曝光出来，从而这种掩膜版图形结构和曝光方法解决了不透光图形区域与掩膜版边界距离过小而导致曝光不清晰的问题。

摘要：本发明公开了一种浸液限制机构及温度补偿方法，该浸液限制机构包括浸没头，浸没头上由外到内依次设有供气腔和气液回收腔，供气腔与第一供气设备连通，用于形成对浸液密封的气帘，气液回收腔包括由内至外同轴设置的内腔体和外腔体，内腔体通过抽排管与气液回收设备连通，用于抽排气液混合物，外腔体通过进气管与第二供气设备连通，第二供气设备提供的气体与内腔体外壁、外腔体内壁接触后冷凝放热。本发明通过在外腔体内通入冷凝气体对内腔体进行可全面的热补偿，且直接在内层壁上进行热补偿，减小了热阻，增大了热补偿面积，提高了效率；同时外腔体将内腔体与其他部位进行了热隔离，降低了制冷“冷源”作用在其余部位上的制冷功率。

摘要：本发明公开了一种调焦对准装置及对准方法，用于基底台上基底的调焦和对准，所述调焦对准装置包括第一探测支路，第一探测支路沿光路方向依次包括：光源，产生均匀的照明光；投影狭缝阵列，照明光经投影狭缝阵列后产生调焦光斑和对准光斑，投射至基底表面；分光棱镜，分离经基底反射的调焦光斑和对准光斑；探测单元，包括调焦探测器和对准探测器，调焦探测器对调焦光斑成像得到调焦信号，对准探测器对对准光斑成像得到对准信号；以及信号处理单元，根据调焦信号获得基底的垂向高度变化，根据对准信号获得基底的水平向位置变化；第一探测支路满足Scheimpflug成像条件。本发明使基底上的标记清晰成像到探测器上，提高了调焦和对准精度。

摘要：本发明提供一种电机定子自动复位装置和光刻机系统以及运动台直线电机定子自动复位方法，皆在电机定子上连接复位执行元件，并在电机上安装能够检测电机定子实时位置与位移的检测装置，当电机定子未回复至指定位置时，由复位执行元件将电机定子移动至指定位置，无需定期进行人工复位，即可实现运动台的自动运行，省时省力且提供了效率。

摘要：本发明提供的一种改善光刻胶封装工艺的方法及光刻机系统，在得到整个光刻机系统的波像差分布数据的情况下，结合掩膜版的图形数据，仿真得到照明光透过掩膜版之后的空间光强分布图，根据该空间光强分布图计算分析透过掩膜版之后的曝光场中需要修整光强分布的部位和数值，然后在曝光光路中加入空间光调制器，对曝光场内的光强分布进行修改调整，尤其是对较易出现厚胶缺角部位的光强分布进行修改调整，从而保持透过掩膜版之后形成的低能量光强的部位不会出现光强过大的情况，解决了厚胶缺角的问题。由于使用了空间光调制器可以修正光强分布，因此通过修正光强，可光刻成像的离焦范围也越大，从而提高了工艺可用焦深。

摘要：本发明公开了一种镜片的调整装置及调整方法，该调整装置包括第一镜座，第一镜座的上表面设有倾斜角度；第二镜座，第一镜座设于第二镜座上；倾斜调整模块，设于第二镜座和第一镜座之间，包括至少一个中部设有通孔的垫圈，垫圈的上表面和下表面均设有倾斜角度，垫圈相对第一镜座沿圆周旋转；空气间隔调整模块，包括设于第二镜座下表面的若干凸台和设于倾斜调整模块上表面且位置与所述凸台对应的若干阶梯，第二镜座相对倾斜调整模块旋转；偏心调整模块，设于第一镜座或第二镜座上，带动第一镜座或第二镜座水平移动。本发明实现了镜组的在线调整，降低了多次拆装镜组带来的装配风险，提高了生产效率。

摘要：本发明公开了一种可动镜片调整机构，包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座，所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。本发明通过在柔性镜座的刚性构件上设置驱动机构和铰链结构，所述铰链结构为由刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构，所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动，从而带动镜片单元进行轴向调整，结构简单、操作简便；所述驱动机构包括第一驱动电机和第二驱动电机，共同驱动柔性镜座运动，避免了单电机驱动镜片单元运动时由于调整机构变形造成镜片单元平移过程中发生倾斜，保证整个运动机构在轴向运动无倾斜，本发明适用于圆形镜片和方形镜片，适用范围广、效果稳定可靠。

摘要：本发明公开了一种具有偏压补偿的伺服控制系统及其偏压补偿方法，该偏压补偿系统包括依次连接的运放电路、控制电路、驱动电路、单相直流电机和电流传感器，还包括偏压采样及补偿电路，运放电路的输入端连接至电流传感器的输出端，控制电路的输入端连接至运放电路的输出端，偏压采样及补偿电路的输入端连接至运放电路和控制电路之间，偏压采样及补偿电路的输出端连接运放电路的输入端，运放电路和偏压采样及补偿电路构成同向偏压补偿电路和反向偏压补偿电路。本发明提供的基于电流传感器的偏压补偿系统及其方法，在系统上电时即可自动进行实时补偿，不添加机械式调试的硬件电路，操作简单，不受外界环境的影响，准确性高，提高了系统的稳定性。