摘要：一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光磨盘，由底座(1)、N个压电陶瓷驱动器(2)、基盘(3)和导线插座(4)组成；其特征在于：底座(1)上表面是球面，N个压电陶瓷驱动器(2)沿径向安装在底座(1)上表面上，基盘(3)是安装在压电陶瓷驱动器(2)上的铝质球面薄板，导线插座(4)安装在底座的下表面；每一个压电陶瓷驱动器(2)通过导线插座(4)与相应的加载在其上的数控电压源相联接，每一个压电陶瓷驱动器(2)都能够通过改变加载在其上的电压产生一定的伸缩变化，使基盘(3)的面型能够相应改变，以方便与被加工的非球面镜的局部面型相吻合，以达到抛光的目的；本发明的变形抛光磨盘体积小、输出非球面面型精度高，具有广阔的应用前景。

摘要：本发明公开了一种可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉测量系统。由于实际抛光加工过程中光学球面的反射率低，高精度干涉检测系统需要具有条纹对比度可调的功能，以得到理想的干涉条纹对比度。本发明解决了在保证球面面形检测精度的同时，实现干涉条纹对比度可调的问题。本发明的技术特点在于：基于可实现高精度检测的点衍射干涉系统，通过引入偏振光学元件调整光束偏振态，建立可实现调节干涉条纹对比度的偏振点衍射干涉系统；通过对干涉系统中各元件的功能特点分析，提出了相应的结构设计及系统误差校正方法，以实现高精度的球面面形检测。本发明为低反射率光学球面面形的高精度检测提供了一种可行的检测方法。

摘要：本发明公开了一种用于双四极均匀照明的自由曲面透镜。前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面、第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的内环，激光光束经第五自由曲面、第六自由曲面、第七自由曲面和第八自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双四极均匀照明中的外环。本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。

摘要：本发明公开了一种用于双偶极均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面、第四自由曲面和圆柱面，第一自由曲面、第二自由曲面、第三自由曲面与第四自由曲面通过圆柱面相连接，激光光束经第一自由曲面和第二自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的内环，激光光束经第三自由曲面和第四自由曲面偏折，在目标面上的照明区域对应双偶极均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。

摘要：本发明公开了一种用于双环形均匀照明的自由曲面透镜。它包括前表面平面、后表面自由曲面和侧面圆柱面，前表面平面与后表面自由曲面通过侧面圆柱面相连接，前表面平面垂直于激光光束传播方向，后表面自由曲面用于偏折激光光束；后表面自由曲面包括第一自由曲面、第二自由曲面和圆柱面，第一自由曲面与第二自由曲面通过圆柱面相连接，自由曲面透镜关于光轴坐标轴z旋转对称；激光光束经第一自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的内环，激光光束经第二自由曲面偏折，激光光束在目标面上的照明区域为对应双环形均匀照明中的外环；本发明结构紧凑、简单；整形效果好，能量利用率高。

摘要：本发明公开了一种非球面顶点球曲率半径测量系统及方法。本发明解决了非球面顶点球曲率半径在传统装置中无法精确测量的难点。本发明的技术特点在于，利用一个承担大球差的会聚透镜与辅助消球差补偿镜组合后形成起定位作用的齐明镜组，将非球面精确定位在齐明镜猫眼位置，再运用导轨系统移动非球面到指定的位置形成检测光路，再移去辅助消球差补偿镜组，与参考光路形成了一个非球面顶点球曲率半径测量系统。在光学设计类软件中，如ZEMAX等，对该测量系统进行建模，不断改变非球面顶点球曲率半径值，直至建模系统中仿真条纹及其波像差泽尼克系数和实验测量系统条纹及其波像差泽尼克系数相一致。该方法为高精度面形检测提供了精确的顶点球曲率半径。

摘要：本发明公开了一种球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法。本发明解决了高精度球面干涉检测中被测面的倾斜和离焦调整误差难以有效校正的难题。本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。本发明为光学球面，尤其是大数值孔径球面的高精度面形干涉检测提供了一种高精度的调整误差校正方法，并具有极其重要的实际应用价值。

摘要：本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除离焦误差及倾斜误差的方法。首先通过干涉仪获得包含离焦、倾斜的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除倾斜、离焦的辅助数据。在待测球面半径的测试中使用白光干涉的方法保证了测量的精度。而后利用波面拟合对应项系数和倾斜误差、离焦误差的关系，以及离焦量和光程差的精确关系分步去除波面数据中常数项、倾斜误差和离焦误差，最后去除常数项、倾斜误差和离焦误差的残差以得到高精度的面形数据。本发明通过对球面干涉检测，特别是小F/#被检面的研究，提供了一种光学元件球面面形检测中消除离焦和倾斜影响的新方法，对高质量光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。

摘要：本发明公开了一种在球面面形干涉检测中旋转误差控制装置及其方法。??包括自准直仪和六个自由度运动的被检面装置在同一光轴上顺次设有目镜、第二分划板、半透半反镜、物镜、六个自由度运动的被检面装置；半透半反镜上方顺次设有第一分划板、会聚透镜、光源；导轨上从下到上依次设有X轴运动平台、Z轴运动平台、Y轴运动平台、控制二维倾斜平台、U型旋转台和平行平板；控制二维倾斜平台侧面设有U型旋转台；U型旋转台上设有平行平板。本发明克服了球面检测由于机构的装调误差而导致旋转误差难以控制的技术问题，对高质量光学元件的检测与加工具有重要的应用价值。

摘要：用于光学元件加工的射流喷嘴，包括长条状的本体和本体上开设的射流束通道，射流束通道贯穿本体的两平行端面，由进液口、出液口及进液口与出液口之间的汇聚段组成，所述进液口是由位于两端的两条半径相同的半圆形弧线及分别与两条半圆形弧线相切的两条平行直线围成的腰形口，所述汇聚段为射流束通道的内壁，该内壁的左壁和右壁为向出液口收缩的半圆锥台形凹面，该内壁的前壁和后壁分别由一个垂直于本体端面的等腰梯形面和两个向出液口收缩的三角形斜面组成，所述等腰梯形面的上底大于下底，且上底位于进液口上，下底位于出液口上，两个三角形斜面分别位于等腰梯形面的两侧，并分别与形成所述左壁和右壁的向出液口收缩的半圆锥台形凹面相接。