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发明专利:14569实用新型: 1194外观设计: 0
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申请号:03279085.6 公开号:CN2676145 主分类号:G01B11/03
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2003.09.29 公开日:2005.02.02
摘要:一种晶圆清洗液水柱位置检测装置,系有关于一种可广泛用于监控晶圆清洗系统中的清洗液水柱喷淋的位置检测装置,该装置具有监视清洗液水柱位置的能力,进而能使清洗液水柱位置状况显示出来,及可配合现有晶圆清洗系统,提供于具清洗液水柱位置状况监控需求的应用场所,可用于各种尺寸晶圆清洗的线上即时监控,其较已往的纯人工观察式的监控相比所提供功能增加甚多;其包含:光学信号发射装置,光学信号接收装置,信号处理装置。
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2:[实用新型] 防尘罩
申请号:200520047677.7 公开号:CN2887541 主分类号:B25D17/14(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2005.12.19 公开日:2007.04.11
发明人:张 强
摘要:本实用新型防尘罩包括收容工具作业端且与工具非作业端紧固的罩体;所述罩体与工作面紧密接触,使罩体和工作面形成封闭空间;所述防尘罩还包括将工具作业造成的灰尘从罩体里分离出去的隔离装置,所述隔离装置包括在罩体壁上开设的位于作业水平面以上进气口及位于作业水平面以下的用于与真空清扫装置连接的连接口。本实用新型防尘罩使工具在密闭空间里完成工作,且施工造成灰尘脱落由隔离装置分离出防尘罩,因此使用该电钻、开孔器等工具在施工时,可以不用搭建隔离罩,减少碎屑对洁净室污染,提高工作效率。
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3:[实用新型] 油呼吸器
申请号:200520048291.8 公开号:CN2867015 主分类号:F16K17/19(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2005.12.30 公开日:2007.02.07
发明人:张 强
摘要:一种油呼吸器包括呼气组件、吸气组件以及两端分别和呼气组件、吸气组件套接且中空的内套。其中,内套侧面设有用于与油箱连通的连接口;呼气组件包括与内套连通的第一喉管、位于第一喉管内腔的球型阀芯以及具有气孔且覆盖第一喉管上的上端盖;其中第一喉管内腔包括容纳阀芯的第一内腔、与第一内腔、内套连通的且直径比阀芯直径小的第二内腔以及第一内腔和第二内腔间的第一交界斜面;吸气组件包括与内套连通的第二喉管、位于第二喉管内腔的球型阀芯以及具有气孔且覆盖第二喉管的下端盖;其中第二喉管内腔包括容纳阀芯的第三内腔、与第三内腔、内套连通的且直径比阀芯直径小的第四内腔以及位于第三内腔和第四内腔间的第二交界斜面。
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4:[实用新型] 一种化学品开桶器
申请号:200620038878.5 公开号:CN2887833 主分类号:B67B7/14(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.01.12 公开日:2007.04.11
发明人:齐 红
摘要:本实用新型公开了一种化学品开桶器,包括手柄、主架以及开桶装置,所述主架和所述开桶装置活动连接。开桶装置的可更换,使得企业只需要准备体积较小的开桶装置即可,克服了同时准备很多现有的开桶器占用空间而且不方便携带使用的缺点;并且避免了同时更换整个开桶器的资源浪费和时间浪费,延长了整个化学品开桶器的使用寿命。所述化学品开桶器的主架还可以与至少一个开桶装置活动连接,与至少一个开桶装置为固定连接,从而满足开启多种不同化学品桶槽的需要,利用一个本实用新型所述的化学品开桶器,就可以达到现有的多个开桶装置才能达到的开桶效果。
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申请号:200620038879.X 公开号:CN2887414 主分类号:B01D35/143(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.01.12 公开日:2007.04.11
发明人:李瑞青;李汉忠
摘要:本实用新型公开了一种液体过滤器,包括进液口、出液口、壳体以及过滤筒,还包括活动接触台、固定接触台、电源、报警器以及密封盖板,固定接触台和活动接触台分别连接电源正负极,报警器与固定接触台或者活动接触台电气连接;密封盖板设置在所述液体过滤器内,用以隔离液体形成电气空间,活动接触台穿过所述密封盖板;过滤器正常工作时,固定接触台和活动接触台互不接触。当过滤器堵塞时,过滤器内的液面上升或者压力增大从而使得活动接触台上升,与固定接触台相互接触时,则开始报警。所述液体过滤器可以自动报警,及时告知过滤器堵塞情况,减少了技术人员的工作强度;并且对现有的过滤器改动较小,工艺简单、成本低廉、使用方便。
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申请号:200620040258.5 公开号:CN2938404 主分类号:H01L23/544(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.03.16 公开日:2007.08.22
摘要:本实用新型公开了一种测量PN结电流的测试装置,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。有益效果是,由于检测电流端由现有技术的连接到P+变为连接到N+,使得从N+端测得的电流才是客户需要的准确的PN结电流,即i1,实质上解决了现有技术中二极管结漏电流大的缺陷。
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申请号:200620040765.9 公开号:CN2888645 主分类号:H01L21/673(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.04.03 公开日:2007.04.11
发明人:钱洪涛
摘要:本实用新型为一种晶片盒支撑体拉伸辅助装置,该装置包括插槽及把持件,所述插槽之开口端可套入支撑体之定位端,所述插槽之连接端与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件可连接成可垂直的固定装置;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置的把持件的一端可与晶片盒支撑体拉伸辅助装置的两个空心管状插槽连接成可垂直的固定装置,另一端可悬空或搭接在晶片盒边缘,把持件宽度可超出晶片盒边缘宽度;所述晶片盒支撑体拉伸辅助装置使用时附加于支撑体之定位件与晶片盒边缘之间,使用后可自然取下,不影响晶片盒整体结构。
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8:[实用新型] 一种风门系统
申请号:200620041366.4 公开号:CN2932194 主分类号:F24F13/14(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.04.27 公开日:2007.08.08
摘要:本实用新型公开了一种风门系统,它可以分批打开百叶,使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗,所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭,而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中,所述的传送装置至少有两组以上,每组传送装置负责部分百叶的风供给,并且通过控制器的控制,每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆,所述的电磁阀由控制器控制,并且将压缩气体传送给执行器,然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆,最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。
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9:[实用新型] 真空包装机
申请号:200620042686.1 公开号:CN200964189 主分类号:B65B31/06(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.06.12 公开日:2007.10.24
摘要:本实用新型真空包装机包括真空塑封部件、用于承载包装件的工作台及用于固定支撑工作台的支柱,所述支柱设置若干不同高度的工作台固定位。所述的真空包装机,还包括用于支撑工作台斜撑肋,所述斜撑肋两端分别连接在工作台侧面及支柱上。所述工作台侧面设有若干与工作台对应的斜撑肋的锁定位。本实用新型真空包装机是通过调节高度的工作台,以满足不同高度、体积规格包装件,例如同时满足承载12英寸和8英寸晶圆盒的包装需求,不必因包装件规格不同而更换真空包装机,因此节省成本。
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申请号:200620044478.5 公开号:CN200965867 主分类号:H01L21/683(2006.01)I
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 申请日:2006.08.02 公开日:2007.10.24
摘要:一种用于半导体晶片封装的载物台。现有的密封袋套设工作中存在操作人员难以独立完成密封袋套设工作及容易在操作过程中损坏晶片等问题。本实用新型的用于半导体晶片封装的载物台包括:一载物台底座,其具有数个穿孔;一载物台面板,其左右相对的两侧分别连接至一活动面板,该活动面板可从一展开位置活动至一收拢位置;以及一连接部,其两端分别连接至该载物台底座和该载物台面板的对应端,使该载物台的另一端形成一开口,且该连接部与该载物台面板的连接处设有一挡止部。本实用新型的用于半导体晶片封装的载物台可使操作人员方便独立地完成8英寸和12英寸晶片的封装,降低晶片受损的可能,大大提高了封装效率。
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