摘要：为了将沿着开关方向的光衍射减小到最小，以及特别将达到收集光学系统的接受光锥区的光衍射减小到最小，在本发明中，采用非矩形的微镜片。同样，为了将照明光学系统的成本并将本发明的的显示单元的尺寸减小到最小，光源被设置成与阵列的行(或列)正交，和/或光源被设置成与限定了有效区域的框架的边正交。入射光束，虽然与有效区域的边正交，然而不是与阵列中的任何单个的微镜片边的实质部分正交。正交的边引起入射光束沿着微镜片开关的方向衍射，并且导致光“泄露”进入到“开”状态，即使微镜片是在“关”状态。这个光衍射减小了微镜片的反差比。本发明的微镜片使的反差比得到改善，并且本发明中的光源对微镜片的的布置得到更紧凑的系统。本发明的另一个特征是微镜能够在相反的方向位置(开位置引导光到收集光学系统)转动到开和关的位置，其中到开位置的移动比到关位置的移动大。本发明的另一特征是微镜片阵列的封装，该封装有一个窗口，该窗口不平行与衬底，在该衬底上构成微镜片。本发明的一个例子包括了所有上面的特性。

摘要：本发明公开了投影系统、空间光调制器和形成MEMS器件的方法。该空间光调制器可以具有结合在一起的两个衬底，其中一个衬底包括一个微镜阵列。在这两个晶片上或其中之一上沉积了吸气剂材料和/或固体或液体润滑剂后，这两个衬底可以在晶片级上结合。如果需要，这两个晶片可以结合在一起，并且两个衬底之间的压力可以小于大气压。

摘要：一种电压存储单元电路，包括存取晶体管和存储电容，其中所述存取晶体管的源极连接到位线，所述存取晶体管的栅极连接到字线，且其中所述存取晶体管的漏极连接到所述存储电容的第一板而形成存储节点，而且其中所述存储电容的第二板接到一泵信号。这种方案允许进行新颖的像素电路设计，其面积需要可与1T1C DRAM类的像素单元的面积需要相比，而具有在通路晶体管的击穿电压所允许的整个范围输出电压摆动的优点。例如微镜阵列的空间光调制器可以包含这种电压存储单元。

摘要：本发明提供了一种晶片制成的单独小片，其上形成有微镜片阵列，构成微镜片阵列的微镜片被设置在用以驱动它们的电路和电极的上方，其面积从1平方厘米到1平方英寸；微镜片是四边形的，且没有边与小片的边平行，微镜片的水平行大致依矩形阵列的水平边，从一个角落到另一角落地延伸，并且在各行中与寻址列对应的垂直线从每个微镜片延伸而连接到每个其它行的微镜片；且微镜片的垂直列，大致依矩形阵列的垂直边，从一个角落到另一角落地延伸，各列中与寻址行对应的水平线从每个微镜片延伸且连接到其它列的微镜片；其中设置有多条行线和列线用于寻址微镜片，并且行线的数量乘以列线的数量大于像素的数量。

摘要：本发明提供了一种后屏幕投影或者前屏幕投影电视，包括光源、微镜片阵列和屏幕。微镜片阵列中的微镜片具有四边形形状。在工作时，光从光源的入射到且以矩形图像的形式被引导到屏幕上，该微镜片用脉宽调制，能在开状态和关状态之间移动以屏幕上获得灰度图像；每个微镜片均对应于屏幕上被观看图像中的一个像素；并且被观看图像中的像素的边不与任何图像的边平行。本发明还提供了另一种后屏幕投影或者前屏幕投影电视，其包括光源、微镜片阵列和屏幕。其中屏幕图像具有四条边，每个微镜片在屏幕上形成一个对应的微镜片图像，该微镜片在该屏幕图像的一条边的方向上具有一个单独的凸状突起，且该微镜片没有与该屏幕图像的边真正平行的边。

摘要：本发明提供了一种包括光源及微镜片阵列的投影显示器，其中每个微镜片的形状是由其多条边限定的；在工作时光源的光入射到微镜片阵列上，该阵列有四条边，其中任一条都不平行于微镜片的边。本发明还提供了一种用于投影显示器的封装微镜片阵列，其包括：一微镜片阵列，其中每个微镜片具有四边形形状且用脉宽调制，能够在开状态和关状态之间移动以在该屏幕上获得灰度图像，每个微镜片对应于被观看图像中的一个像素；一具有透光窗口的封装，所述微镜片阵列即被设置在该封装中；一设置在该微镜片阵列上或者其上方的掩膜；其中该微镜片的各条边都不与该矩形掩膜的任何一条边平行。

摘要：本发明提供了一种形成于衬底上的在投影电视中使用的微镜片阵列，其中所述微镜片阵列具有HDTV格式，其中设置大量微镜片；并且其中该微镜片的水平行，依平行于该矩形阵列(其构成投影电视的屏幕上的图像)的一边的行，而从一个角落到另一角落地延伸，并且其中在各行中与寻址列对应的垂直线从每个微镜片延伸而连接到每个其它行的微镜片；并且其中该微镜片的垂直列，依平行于该矩形阵列的一边的列，而从一个角落到另一角落地延伸，并且其中在各列中与寻址行对应的水平线从每个微镜片延伸并且连接到每个其它列的微镜片。

摘要：一个空间光调制器(12)包括一个上端的固定在一包括寻址电路的下端介质(34)的上方的光学透射介质(20)。一个或更多的静电可偏转元件(48)通过铰链(50)悬挂在上端介质(20)上。在操作时，单个镜(48)被有选择性地偏转且有助于空间地调制入射到上端介质(20)的光(56)，然后，穿过上端介质(20)被反射回来。运动制动销(49)可以被固定到反射性的可偏转的元件上以便镜(48)不会突然地打到底部介质(34)上。而是运动制动销(49)顶靠着上端介质(20)从而限制反射性的可偏转的元件(48)的偏转角。

摘要：一种空间光调制器(12)包括一个上端的固定在一包括寻址电路的下端介质(34)的上方的光学透射介质(20)。一个或更多的静电可偏转元件(48)通过铰链(50)悬挂在上端介质(20)上。在操作时，单个镜(48)被有选择性地偏转且有助于空间地调制入射到上端介质(20)的光(56)，然后，穿过上端介质(20)被反射回来。运动制动销(49)可以被固定到反射性的可偏转的元件上以便镜(48)不会突然地打到底部介质(34)上。而是运动制动销(49)顶靠着上端介质(20)从而限制反射性的可偏转的元件(48)的偏转角。

摘要：公开了一种包括微型反射镜阵列的空间光调制器(200)，以及制造这种调制器的方法，空间光调制器包括微型反射镜阵列(201)，每个微型反射镜包括铰链(204)和通过铰链固定在基板(202)上的微型反射镜板(210)，微型反射镜板布置在与铰链间隔开的平面上、并具有延伸横过微型反射镜板的对角线(211)，微型反射镜板安装到铰链上，使得微型反射镜板可以沿着与微型反射镜板对角线平行但偏移的旋转轴(214)进行旋转。还公开了一种投影系统，包括空间光调制器，还有光源，在其中将从光源发出的光被聚焦在微型反射镜阵列上的汇集光学部件，用于对从微型反射镜阵列有选择地反射的光进行投影的投影光学部件，以及用于有选择地启动阵列中的微型反射镜的控制器。