摘要：本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的转换装置，其包括正方形的框体，框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，框体内设置有正方形内孔，内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本发明安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。

摘要：本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的变换装置，其包括板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形；板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽；所述十字槽的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。本发明安装于第一种规格的硅片载片器的交叉处，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。

摘要：本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的改装装置，其包括十字形的板体，所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体成十字形，各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧，所述支臂的宽度与多晶硅片载片器的框杆宽度相等，所述过渡圆弧的直径与单晶硅片载片器的圆角直径相等。本发明安装于相邻的多晶硅片载片器的交叉处，将正四边形的多晶硅片载片器改装成带有圆角的正四边形的硅片载片器，用于生产单晶硅片，可以节省大量采购成本；拆除本发明后，又可以生产多晶硅片，转换方便。

摘要：本发明涉及一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体，所述钩体包括两个向下延伸的支臂，所述支臂的截面为圆形，钩体的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖，钩尖为圆锥体，钩体的腰部内侧设置有向内伸的顶尖，顶尖也为圆锥体。本发明钩体的截面为圆形，表面很光，粗糙度小，装取片时，不容易对硅片造成影响，不易产生碎片；钩尖为圆锥体，与硅片是点接触，不易产生彩片。

摘要：本发明涉及一种U型槽，具体的说是一种高吸附拼接式碳纤维U型槽，属于太阳能电池应用技术领域。其包括第一左碳纤维板、第二左碳纤维板、第三左碳纤维板、顶碳纤维板、第一右碳纤维板、第二右碳纤维板和第三右碳纤维板；第一左碳纤维板、第二左碳纤维板和第三左碳纤维板之间采用若干块第一左连接板固定，第三左碳纤维板和顶碳纤维板之间采用若干块第二左连接板固定，顶碳纤维板和第三右碳纤维板之间采用若干块第二右连接板固定，第一右碳纤维板、第二右碳纤维板和第三右碳纤维板之间采用若干块第一右连接板固定。本发明所选用的材料为碳纤维板做U型槽的槽体，减小由震动引起的碳化硅从U型槽内表面剥落掉到电池片上污染电池片的现象。

摘要：本发明涉及一种分离式硅烷管，属于硅烷管的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述分离式硅烷管，包括硅烷管；所述硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上。本发明硅烷管上设置四个均匀分布的紧固螺栓，硅烷管通过紧固螺栓及紧固螺母紧固安装于固定支架上，固定支架固定安装于设备壳体上，便于将硅烷管与固定支架的分离；固定支架先同设备连接，更换时，只需拆装硅烷管和固定支架的四只紧固螺栓，相对于之前需拆装固定支架与设备上的八个固定螺钉，缩短了一半的工作量；当硅烷管损坏时，只需更换硅烷管即可，节约了之前硅烷管连同安装板一同报废带来的采购成本；结构简单紧凑，安装使用方便，降低使用成本，安全可靠。

摘要：本发明涉及一种多晶载片器快速转换为单晶载片器的快速转换装置。其包括快速转换体，快速转换体为八边形扁柱体，其底部设有十字交叉槽，该十字交叉槽的四个槽端口对应着快速转换体的四个侧面，十字交叉槽的宽度等于快速转换体上对应侧面的宽度；所述十字交叉槽可与多晶载片器的十字臂交叉部分对应扣合紧配，十字交叉槽的宽度等于多晶载片器上对应十字臂的宽度。本发明能够将多晶载片器快速转换为单晶载片器，太阳能电池片厂商只需采购多晶电池片载片器，然后与本发明配合使用，即可实现单晶电池片、多晶电池片生产的快速转化，操作省时、灵活方便。

摘要：本发明涉及一种用于激发等离子体的微波发生天线，包括天线棒和天线导管，天线导管为中空的管体，天线棒设有用于插入天线导管内的连接段，其特征在于：所述天线导管两端的内周面加工成内螺纹面，所述天线棒连接段的外周面加工成外螺纹面，天线导管与天线棒以螺纹锁紧的方式连接紧配。本发明结构简单，天线棒与天线导管的配合面采用螺纹锁紧配合，有效解决了因配合面间隙造成的接触不良问题，同时也消除了因装拆操作导致配合面磨损、配合间隙增大对配合紧密度产生的不利影响，整体安装方便、工作可靠、稳定。

摘要：本发明涉及一种载片器，具体地说是一种嵌入式PECVD载片器，属于太阳能电池镀膜技术领域。其包括正方形的框体，所述框体的边长与第一种规格的硅片载体器的边长相等，框体一面为第一正方形，另一面为第二正方形，两者在高度上形成台阶。所述第一正方形尺寸大于待加工硅片尺寸，且其四个角均加工成工艺圆角。所述第二正方形为镂空正方形。本发明省去了下镀膜方式需在载片器上面安装的挂钩；采用上镀膜方式，工艺气体直接在硅片的上表面产生沉积物，所以不会形成像下镀膜方式中挂钩对硅片遮挡而形成的镀膜瑕疵、改善了硅片的外观，提高了硅片的转化效率；涉及的嵌入式载片器加工性好，便于维护，对用户而言也降低了产品的维护成本。

摘要：本发明涉及是一种真空吸盘，器包括吸盘体，吸盘体上设置若干均匀分布的碳碳板安装槽，碳碳板安装槽的中心区设置吸附定位孔，所述吸附定位孔与吸盘体内对应的第一抽真空孔相连通。本发明吸盘体上设置若干均匀分布的碳碳板安装槽，碳碳板安装槽包括第一安装槽及第二安装槽，所述第二安装槽与第三安装槽的轴线位于同一直线上；通过第一安装槽、第二安装槽能够适应加工125碳碳板或156碳碳板；吸盘体上设置碳板固定板，通过碳板固定板能够对碳碳板进行加工定位；碳碳板及碳板固定板均通过抽真空后吸附于吸盘体上，通过龙门铣床对碳碳板进行加工；同时，能够通过挑板口能够取出相应的碳碳板，结构简单紧凑，安装使用方便，提高加工效率，安全可靠。