摘要：一种真空熔焊封装方法及封装装置，其中真空熔焊封装方法包括以下步骤：(1).将拟焊接的管座(14)和管帽(13)放在真空腔(5)内；(2).将真空腔(5)抽成真空，或同时加热以除气；(3).以通电熔焊方式，将位于真空腔(5)内的管座(14)和管帽(13)熔焊封装在一起。所用的真空熔焊封装装置中，动电极(3)与驱动缸(1)的活塞杆(21)相连；充氮箱(4)包围在真空腔(5)之外；真空腔(5)经活门(7)与充氮箱(4)相通，真空腔(5)的腔体外壁缠有加热套(6)；抽真空系统(10)与真空腔(5)相通连；动电极(3)、静电极(9)的端部均伸入到真空腔(5)中。本发明封装的制品具有封装强度高、焊接时间短、真空度高的优点。

摘要：金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括反应气体进气管道、反应气体缓冲腔、喷淋口、石墨舟、基座、基座支撑架、排气口和腔体外壳，所述反应气体A从反应腔体顶端接入，进入反应腔体后沿基座形成水平方向的层流扩散，反应气体B进气管道同轴包裹在反应气体A进气管道外表，伸入反应腔体后向水平方向沿伸，末端设有反应气体缓冲腔及竖直方向的喷淋口，基座安装在基座支撑架之上，排气口设置在反应腔体的底部，石墨舟嵌装在基座上。本发明的优点是缓冲腔的结构使反应气体进入反应腔后形成水平气流，减弱了竖直喷淋气流的反弹回流并减轻反应气体局部湍流，反应腔体设计具有可扩展性。

摘要：一种金属有机物化学气相沉积设备反应腔的加热系统，主要包括反应气体进气管道、石墨圆片、石墨舟、基座、石英罩、加热器、冷却介质进排气管道、反应室，所述反应气体进气管道末端设有缓冲腔、喷淋口，喷淋口与基座之间形成一个反应室，基座的内层为石英罩，石英罩与基座之间形成一个空腔，空腔通过进排气管道与冷却源连接，石英罩内装有高频感应加热器，石墨舟、石墨圆片直接嵌套在基座上。本发明的优点是采用高频感应加热的方式及基座和石英罩组成的双层结构，实现快速加热而均匀加热，有效提高反应气体的利用效率，避免预反应的发生。

摘要：提高大功率发光二极管光提取效率的方法，主要包括：发光二极管(LED)芯片、导光层、衬底，其特征在于所述正装或倒装的LED芯片生长过程中或生长完成后加工一个导光层结构，导光层上设有三维微结构阵列。本发明的优点是采用LED芯片引入导光层的结构，导光层上设有三维微结构阵列，有效地提高了发光二极管的光提取效率，增加发光二极管的寿命，减低了生产成本。

摘要：一种多反应腔金属有机物化学气相沉积设备，包括：气体输运系统、反应腔、尾气处理系统、加热器、取送片机构，其特征在于设备具有两个或两个以上的反应腔，每个反应腔之间分别由气体输运系统实现相互连接，设备设有一个尾气处理装置，每个反应腔与尾气处理装置的连接，管路中设有一个控制阀，反应腔安装在手套箱里面，手套箱之间设有取送片机构，两端各设有一阀门，每一个反应腔都设有一加热器。本发明的优点是该设备具有多个反应腔体，能一次完成多种工艺制造，进行由一种生长工艺结束后切换到另一项生长工艺，节约加工的时间、能源，提高效率，又降低成本提高产品的质量。

摘要：一种多重气体耦合金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，包括反应气体进气管道，喷淋盘、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、衬底、反应腔、反应腔冷却腔、石英整流罩、缓冲喷淋腔、支承轴、加热器，所述缓冲喷淋腔与反应腔之间依次设有上、中、下喷淋盘，喷林口一穿过上喷淋盘、中喷淋盘及下喷淋盘，连通喷淋缓冲腔与反应腔，喷淋口二穿过中喷淋盘、下喷淋盘，连通喷淋缓冲腔与反应腔，一进气管道从一侧接入中喷淋腔。本发明的优点是反应腔具有水平和垂直方向的气流流场，通过垂直方向气流与水平方向气流的相互补偿，使反应气体混合均匀、减少预反应及气体反弹的湍流，抑制了反热涡流，提高外延生长的均匀性也解决了腔体内附着颗粒的清洗问题。

摘要：集成原子层沉积技术的金属有机物化学气相沉积方法及设备，在金属有机物化学气相沉积过程中，通过脉冲喷射的方式引入化学反应气源，化学反应源气体和载气分别通过交替开关的气动阀，以脉冲方式喷射到衬底生长表面。至少包含一次生长循环，步骤为：1.化学反应源气体通过气动阀进行常规化学气相沉积工艺；2.化学反应源气体和载气经交替开启和关闭的气动阀对衬底脉冲喷射，原子层沉积生长；3.判断沉积生长是否完成，未完成进入下一轮沉积循环。本发明的优点是克服现有的金属有机物化学气相沉积方法无法精确控制纳米级膜厚及组分等缺点，突破原子层沉积工艺中生长速度低的限制，实现现有金属有机物化学气相沉积设备无法达到超陡峭薄膜界面结构。

摘要：金属有机物化学气相沉积设备中实时测量薄膜温度的方法及测量装置，在气相沉积工艺过程中，监测外延片的热辐射通过喷淋孔的辐射光，通过对辐射光进行滤波分离来检测两个或两个以上不同波长的薄膜辐射光能量，本发明的测量装置包括分光机构、光学探测器和数据采集系统，本发明简化掉现有在线测量采用单波长光学测温技术中首先测量薄膜表面发射率的步骤，消除了接收探测器立体接收角的变化和探测器与被测物距离变化所带来的误差，极大地提高了MOCVD在线温度测量仪器的使用范围和测量精度，通过本发明方法进行处理获得更准确的薄膜温度。

摘要：快速清除残余反应气体的金属有机物化学气相沉积反应腔体，包括：反应腔进气口、反应腔进气管道、上缓冲腔、下缓冲腔、喷淋口、载片台、加热组件、残余气体排放管路、尾气管路、控制阀、缓冲腔压力检测表、真空泵，反应腔进气管道为多路进气管道，载片台的上部设有反应气体喷淋口。反应腔体内设有尾气管路，缓冲腔内设有残余气体排气管路，残余气体排放管路与反应腔的尾气管路通过接头汇合成一条管路与抽除尾气的真空泵相连。本发明的优点是能够在气相沉积反应腔体内快速清除残余气体，利用气相沉积反应腔体的抽气真空泵和部分尾气管路来排放残余气体，使得不同外延层薄膜之间的界面陡峭，提高设备的性能。

摘要：一种化学气相沉积设备中用于精确控制反应物流量的气路装置，包括：反应气体入口、管路、流量控制器、反应腔，反应气体以流量分为大流量的载气、小流量载气，其特征在于反应气体入口经管路与流量控制器连接，各流量控制器的出口经管路接入反应腔，接入反应腔的管路由数条反应气体管路直接接入反应腔，或者由数种反应气体汇合成一条管路接入反应腔。本发明的优点是通过对不同气体所需流量不同采用不同的管路注入反应腔，实现设备对反应气体的精确控制，降低管路的压损，降低设备的制造成本。