摘要：本发明提供了一种基片的刻蚀方法，涉及半导体技术领域，能够在保证刻蚀时具有足够的刻蚀选择比的前提下，解决刻蚀时产生难以清洗干净的聚合物，造成LED前级电压高的问题。所述基片的刻蚀方法所刻蚀的基片上预先形成有具有所需要的图形的光阻层，该刻蚀方法包括：粗刻蚀阶段，以光阻层为掩膜，采用第一刻蚀气体对基片进行刻蚀，第一刻蚀气体包含碳；精刻蚀阶段，以光阻层为掩膜，采用第二刻蚀气体对经过粗刻蚀阶段的基片进行刻蚀，第二刻蚀气体不包含碳。前述基片的刻蚀方法适用于GaN基LED中GaN衬底上SiO₂薄膜的刻蚀。

摘要：本发明提供了一种暖机方法及基片的刻蚀方法，涉及半导体技术领域，能够缩短暖机步骤的工艺时间，提高生产效率，减少暖机步骤所消耗的光胶片的数量，降低成本。其中所述暖机方法用于在刻蚀腔室内壁上覆盖聚合物以使刻蚀腔室达到刻蚀工艺所需的工作状态，该暖机方法包括：将光胶片置于刻蚀腔室中，并将刻蚀气体通入刻蚀腔室中，对光胶片进行刻蚀，在进行刻蚀的过程中，变化刻蚀腔室内的气体压力。本发明所提供的暖机方法用于基片的刻蚀工艺中。

摘要：本发明提供一种制造图形化蓝宝石衬底的方法。所述方法包括：利用光刻工艺在蓝宝石衬底上形成掩膜图形；以第一下电极射频功率对所述掩膜图形和所述蓝宝石衬底执行第一刻蚀步骤；当所述掩膜图形的未刻蚀高度等于预定值时，以第二下电极射频功率对所述掩膜图形和所述蓝宝石衬底执行第二刻蚀步骤，其中所述第二下电极射频功率大于所述第一下电极射频功率，以防止在刻蚀所述蓝宝石衬底所形成的衬底图形的侧壁上形成拐点，并且其中所述未刻蚀高度为所述掩膜图形的轮廓未由于刻蚀作用而改变的部分的高度；以及对所述蓝宝石衬底执行过刻蚀步骤。本发明提供的方法可以有效改善在衬底图形的刻蚀底部产生凹槽的问题并且可以提高工艺窗口能力。

摘要：本发明公开了一种用于地铁地下站点动力设备废热与热泵双效供暖利用系统，包括废热回收模块、双路动力模块、双温双效热泵、供暖模块，废热回收模块的进水口与双温双效热泵吸热侧出口连通，其出水口与双路动力模块低温水进口连通，双路动力模块低温水出口连通双温双效热泵吸热侧进口；双温双效热泵放热侧出口连接供暖模块的进口，供暖模块出口与双路动力模块温水进口连通，双路动力模块温水出口连接双温双效热泵放热侧进口。本系统热效率高、设备占用空间小，热回收综合能效比可以达到1:3以上，与采用电采暖相比，运行费用只有电采暖的1/4，长期运行环保节能的社会效益将十分显著。

摘要：本发明公开了一种猪代谢笼，包括：钢架构成的代谢笼主体、进食槽和储水槽，所述代谢笼主体左侧端头上设置进食槽，进食槽一侧设置储水槽；所述代谢笼主体底部为铸铁漏缝板；其特征在于：所述代谢笼主体底部下方设置斜置接粪槽，并在所述接粪槽末端设置带阀门的排粪管；所述代谢笼主体左右方向和前后方向分别设置可调节的围栏机构；所述进食槽底部设置带阀门的排料管。本装置结构简单牢固，操作方便，能够对猪仔进食及代谢形成实时监控，通过多组代谢笼不同方式的喂养，得出最佳的喂养方式，试验用途强，适合于家畜内的试验圈养。

摘要：本发明提供了一种线圈的铜线剥皮镀锡折弯机，包括工作台和依次按加工工序设置在工作台上的校直装置、离心式剥皮机、过助焊剂装置、镀锡装置、冷却装置、送线装置、切线装置和折弯装置；校直装置包括竖直安装板和校直辊组；过助焊剂装置包括助焊剂箱、第一海绵和助焊剂；镀锡装置包括镀锡外槽、镀锡内槽和锡液调节装置；冷却装置包括冷却箱、第二海绵和冷却水；送线装置包括送线辊、送线辊驱动装置和送线辊调节装置；切线装置包括切刀、切刀座和切刀驱动装置；折弯装置包括折弯杆、定位柱和折弯杆驱动装置。本发明无需工人操作，大大提高了加工效率、缩短了加工周期、还降低了工人劳动强度小和减小了设备的占用量。

摘要：该发明涉及一种卡盘及承载晶圆的方法，其中所述卡盘包括：晶圆载台，用于水平放置晶圆，包括至少两个子载台，且所有所述子载台承载同一晶圆；驱动器，数目与所述子载台的数目一致，每一驱动器对应连接至一子载台，用于分别驱动所述子载台在竖直方向上运动，使所述晶圆保持水平状态。本发明的卡盘及承载晶圆的方法中，各个子载台可以分别被驱动，因此放置到所述晶圆载台的晶圆与所述晶圆载台的各区域的贴合程度可控。在使用过程中，用户可以根据需要使放置到晶圆载台的晶圆与所述晶圆载台的特定区域贴合，以适应不同的使用需求。在需要保证晶圆的表面水平的情境下，通过控制所述子载台的升降，也可以保证晶圆的表面水平。

摘要：本发明实施例提供一种晶圆曝光修正方法及系统与存储介质。一种晶圆曝光修正方法，包括：获取曝光剂量分布图，曝光剂量分布图用于表征每一曝光单元与初始曝光剂量对应的曝光剂量修正系数；曝光处理步骤，基于曝光剂量修正系数对初始曝光剂量进行修正，获取修正曝光剂量，采用修正曝光剂量对待处理的晶圆进行曝光处理，获取处理后的晶圆中多个曝光单元的修正特征尺寸；更新步骤，基于曝光剂量修正系数与修正特征尺寸之间的对应关系，计算每一修正特征尺寸对应的曝光剂量修正系数，根据计算得到的多个曝光剂量修正系数更新曝光剂量分布图；重复进行曝光处理步骤以及更新步骤，持续更新曝光剂量分布图。本方法可以提高晶圆特征尺寸的均匀度和准确度。

摘要：中医心血管病康复装置，解决了目前康复锻炼器械不能使患者在不同体位下进行不同形式的锻炼，功能单一，增加了家属或护士人员的工作量的问题；包括基座，基座上铰接有两组结构相同的第一连杆与第一伸缩杆，第一连杆与第一伸缩件另一端铰接有支撑架，第一连杆铰接有第二伸缩件，支撑架前端铰接有上身托架，支撑架后端铰接有一个下身托架和两个定位块，上身托架与两个定位块之间分别铰接有一个联动杆，上身托架与支撑架之间铰接有第三伸缩件，下身托架上设有往复间歇机构，基座上设有上肢锻炼器，上肢托架上设有按摩机构；本装置功能多样，体位可多种调节，可针对不同康复时期的不同患者进行调节进行不同形式的锻炼，降低了家属及护士的工作量。

摘要：本发明提供了具有对播放视频具有年龄分级、验证的电视及控制方法，具有对播放视频具有年龄分级、验证的电视控制方法，包括步骤：S1、对即将播放或正在播放的多媒体信息进行识别；S2、判断该多媒体信息是否适合拒绝播放年龄段；若是则执行步骤S6，若否则执行步骤S3；S3、发出人脸识别请求，抓取当前观众的人脸信息；S4、判断当前观众是否处于拒绝播放年龄段，若是，则执行步骤S5，否则，执行步骤S6；S5、拒绝播放当前播放信息；S6、继续播放当前播放信息。本发明提供的具有对播放视频具有年龄分级、验证的电视及控制方法，能够有效提醒用户进行分级内容确认，避免因无分级功能、未设置密码或密码泄露导致电视无法有效进行分级管控的问题。