摘要：本发明公开了一种机械手自动硅片取放系统，其在机械手后端的两侧安装光发射器，机械手前端安装准直装置，硅片盒每个槽边都贴有识别标记，机械手上还设有光探测器阵列。本发明还公开了一种机械手自动硅片取放方法，光发射器将光通过准直装置射到识别标记上，并将识别内容反射到光探测器阵列上，当光探测器阵列探测到该识别内容与待取出硅片所在的槽的识别标记一致后，机械手将硅片取出或将硅片放入。本发明采用激光通过准直装置照射到识别标记的方式，对硅片盒的放置情况及机械手的变形情况进行监测，避免由于这些原因而造成的硅片的损坏。

摘要：一种插花泥用的包装箱，属于包装技术领域。它包括箱体，特点是：在所述箱体的箱底上构成有至少一个用于将箱体内的插花泥弹出的弹出机构。由于在箱底的底部设置于弹出机构，当要取用首块插花泥或称开箱取用时，只要用手指向上推动弹出机构，由弹出机构的弹片将插花泥顶起，以便使用者方便抓捏而不致以损及插花泥。

摘要：本发明公开了一种光刻机曝光成像装置，在光刻机曝光的光路上设置有下分束板，所述下分束板与光路呈45°夹角，且所述下分束板的反射面朝向被光刻器件的一侧；在经过所述下分束板反射后与光刻光路相垂直的光路上设置有下反射镜，所述下反射镜的法线与所述下分束板的法线相垂直，且所述下反射镜的反射面朝向所述下分束板一侧；在经过所述下反射镜反射之后的光路上设置有图像探测器。本发明光刻机曝光成像装置，通过在成像光路上设置下分束板、下反射镜和上分束板、上反射镜以及图像探测器，能够方便的对光刻机的曝光成像进行采集，大大的简化了图像采集测量的步骤，提高了生产效率。

摘要：本发明公开了一种在线球差测量方法，包括：步骤一、制作测试掩膜板，或者使用现有的球面像差，找出各空间周期光栅所在位置；步骤二、移动焦平面空间像收集探测器阵列，与测试掩膜板上的测试图形位置相匹配；步骤三、光刻机将测试掩膜板上的图形对硅片平台的每一个垂直位置投影到焦平面空间像收集探测器阵列；步骤四、焦平面空间像收集探测器阵列收集所述测试图形的空间像，并且将其转换为电信号，并且传送到计算模块，分析解算出球面像差。本发明可大大提升光刻工艺中对透镜组球差的监控，从而提高了对工艺精度的保证，同时降低工艺成本。

摘要：环保纸制品的制造方法，涉及利用废纸制成产品的制造方法。按照如下步骤顺序操作：(一)选择瓦愣纸废料，加入纸废料重量90-95％的水，然后打碎，制成纸浆；(二)在纸浆中加入瓦愣纸重量6-10％的防水剂，然后搅拌均匀；(三)放在制作好的模具里面用真空吸附机将纸浆吸附成型；(四)将成型的纸制品烘干，制成成品。所用的防水剂为：十九氟硅丙烯酸共聚体。本发明的环保纸制品的制造方法，具有工艺过程环保、成本低的优点。制成的产品不容易碎。

摘要：本发明公开了一种用于检测标记的设备和方法以及半导体器件加工系统。为了解决现有技术中的对半导体器件上的层的标记的检测准确性低的问题，本发明利用X射线发射器和X射线检测器来对支撑部件上的半导体器件的层所包含的标记进行成像。根据本发明，由于使用X射线，即使标记被对于可见光不透明的多个层覆盖，也能够对所述标记进行清晰的成像。

摘要：雕塑工艺品纸浆模塑新制作法，涉及一种纸制雕塑工艺品的制作方法。操作步骤如下：(一)按照如下重量比称取原料：纸边料8-12％、水88-92％，将上述原料用碎浆机破碎搅拌；再加入水调成3％-5％的纸浆备用；(二)按照雕像的形状制成模具，将上下模具装夹在成型机上，开启设备，启动设备将模具内吸入纸浆，纸浆被真空吸附在下模上，水被真空抽离后将下模与上模合模，然后脱下成形的产品；(三)将脱模后的产品放入烘干线烘干，将与产品形状相同的热压整形模加热至150-180度，将产品热压整形5-10秒，之后取出产品即可。本发明解决了现有的雕塑艺术品，存在加工过程中工人劳动强度大，消耗时间长，加工成本高，以及色彩比较单一的问题。

摘要：本发明公开了一种光刻系统以及光刻方法。根据本发明的光刻方法包括以下步骤：使掩膜在与掩膜表面平行的平面内进行振荡运动，使表面涂敷有光致抗蚀剂的晶圆在与晶圆表面平行的平面内进行振荡运动，其中晶圆表面与掩膜表面彼此平行并且掩膜的振荡运动与晶圆的振荡运动彼此同步；根据晶圆和掩膜的速度来调节照明光束的强度；以及使用调节后的照明光束照射掩膜和晶圆的至少一部分，从而在晶圆表面获得所希望的光致抗蚀剂图案。根据本发明的光刻系统和光刻方法能够减小能耗，提高扫描速度和效率，增加半导体器件的产量。

摘要：本发明公开了一种环保眼镜制作工艺，涉及眼镜制作工艺技术，操作步骤：(一)原料：以瓦楞纸板、竹浆板等植物浆为原料；(二)制成纸浆；(三)成型：将制作好的纸浆通过抽浆管道输入成型机，经过眼镜架模具，并经过真空吸附成型；(四)干燥：将成型产品放入180-220℃的烘干生产线烘干水分或自然晾干，烘干或晾干的产品水份含量≤14-16％；(五)整形：将干燥后的产品放置于加热到170-200℃热压模上压合整形，通过刀模冲孔、切边形成眼镜架；(六)安装镜片；(七)将扁平弹性松紧带连接在眼镜两端形成一幅完整的新型环保眼镜即制成成品。本发明解决了现有的3D眼镜由塑料制成，成本很高，而且塑料不容易降解的问题。

摘要：一种无污染的利用废弃秸秆造纸制浆的方法，包括以下步骤：将回收的秸秆干燥至含水量为20-30％，后经破碎得一次秸秆小段粗品；将步骤一所得秸秆小段粗品过50-60目筛，除去附着在秸秆上的泥沙，得二次秸秆小段粗品；将质量浓度为2-3％的氢氧化钠溶液加入步骤二所得二次秸秆小段粗品中，搅拌，后经过滤取滤渣，水洗滤渣至中性得秸秆小段纯品，并回收碱液；将步骤三所得秸秆小段纯品挤压制得秸秆纤维；将水加入步骤四所得秸秆纤维中，搅拌均匀后经过高压筛、过滤筛即得原色纸浆。本发明步骤简单易行，可控性强，并对造纸制浆过程中的废水进行循环利用，与现有工艺相比，可以真正达到零排放。