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1:
[发明]
导电薄膜方块电阻的电涡流测量方法
申请号:
201610753486.5
公开号:CN106093581A 主分类号:G01R27/02(2006.01)I
申请人:
刘相华
申请日:2016.08.29 公开日:2016.11.09
发明人:
刘相华
摘要:一种导电薄膜方块电阻的电涡流测量方法,提高测量速度,减少测量误差。先选取多个Rs值已知且Rs值相异的标样片,使得目标样品的Rs估算值落在各标样片的Rs值之间,再利用电涡流探头测出各标样片的提离曲线,然后再根据各标样片的提离曲线,在三维空间中拟合出一个标样提离曲面,然后再利用电涡流探头测量目标样品,并将目标样品的测量值代入标样提离曲面的曲面方程,通过标样提离曲面的曲面方程计算出目标样品的Rs值。本发明提供的方法,特别适用于测量导电薄膜的方块电阻。
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2:
[发明]
晶圆导电薄膜加工系统
申请号:
201910669630.0
公开号:CN110364448A 主分类号:H01L21/66
申请人:
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
申请日:2019.07.24 公开日:2019.10.22
发明人:
刘相华
摘要:一种晶圆导电薄膜加工系统,涉及半导体加工技术领域,所解决的是提高膜厚测量精度的技术问题。该系统包括工艺腔、传送腔,所述工艺腔中设有膜厚处理装置,所述传送腔上设有两个装载盒,传送腔内设有晶圆预对准装置、机械手;所述晶圆预对准装置包括预对准底座,及安装在预对准底座上的旋转托盘,预对准底座上设有旋转电机;所述预对准底座上固定有横梁,横梁上设有能沿旋转托盘的径向滑动的涡电流传感器,并且涡电流传感器位于旋转托盘的上方,横梁上设有用于导引涡电流传感器滑动的导轨,及用于驱动涡电流传感器滑动的横移驱动部件。本发明提供的系统,适用于晶圆导电薄膜的加厚或减薄。
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3:
[发明]
导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头
申请号:
201910821249.1
公开号:CN110426558A 主分类号:G01R27/02
申请人:
麦峤里(上海)半导体科技有限责任公司
申请日:2019.09.02 公开日:2019.11.08
发明人:
刘相华
摘要:一种导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头,涉及薄膜检测技术领域,所解决的是提升边缘测量能力的技术问题。该方法在目标样品上设定5个测量点,其中的4个点按传统四探针法排列成一个直线段P
14
,P5设置在直线段P
14
的中垂线上,并位于直线段P
14
的内侧;然后在P1、P4处导入测量电流I的情况下,测量P2、P5之间的电势差U
25A
及P2、P3之间的电势差U
23
;在P1、P3处导入测量电流的情况下,测量P2
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4:
[发明]
横向局部加厚板带材及其制备方法
申请号:
201410078894.6
公开号:CN103831297A 主分类号:
申请人:
东北大学
申请日:2014.03.05 公开日:2014.06.04
发明人:
支颖
;
刘相华
摘要:一种横向局部加厚板带材及其制备方法,属于轧制技术领域,横向局部加厚板带材由基板和至少一个纵向的板筋组成。制备方法为:(1)准备待轧制的板带材;(2)进行第一道次轧制;轧机一个工作辊上设有梯形凹槽,另一个工作辊上设有梯形凸起;(3)进行中间道次轧制;轧机一个工作辊上设有弧形凹槽,另一个工作辊上设有弧形凸起;(4)进行最终道次轧制;最终轧机的一个工作辊柱面的圆周上设有板筋槽。本发明提出的横向局部加厚板带材,通过优化设计板材的横向断面形状,使横断面上的局部金属分布与负载条件及结构特点能够匹配,从而实现节约金属材料,减轻结构重量的目标。
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5:
[发明]
横向变厚度板带材及其制备方法
申请号:
201410079260.2
公开号:CN103822081A 主分类号:
申请人:
东北大学
申请日:2014.03.05 公开日:2014.05.28
发明人:
刘相华
;
支颖
摘要:一种横向变厚度板带材及其制备方法,横向变厚度板带材由至少两个等厚度区和至少一个过渡区构成,或由至少一个等厚度区和至少一个楔形区构成,或由一个或两个以上的楔形区构成,或由两个以上的曲线型变厚度区组成。制备方法为:(1)进行过渡轧制,轧机的两个工作辊均设有至少一个凸起和至少一个凹槽,或者分别设有至少一个凸起和至少一个凹槽;(2)进行成形轧制。本发明方法能够实现节约金属材料,减轻结构重量的目标;利用轧制方法生产横向变厚度板材的方法,避免了用焊接方法生产横向变厚度板材所具有的生产效率低下、生产成本较高等缺点。?
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6:
[发明]
一种烟囱顶部防烟灰结构
申请号:
202011361387.5
公开号:CN112503555A 主分类号:F23J13/02
申请人:
中船澄西船舶修造有限公司
申请日:2020.11.27 公开日:2021.03.16
发明人:
刘相华
;
郑立
摘要:本发明公开了一种烟囱顶部防烟灰结构,包括与水平面倾斜设置的烟囱后围壁;烟囱的内壁上可拆卸式设有烟灰收集环,在烟囱后围壁的下端设置用于避免烟灰落到居住区域以及用于盛放烟灰收集环的斜板。本发明通过对烟囱后围壁通过改进,在不增加迎风面面积的情况下(因为加大迎风面面积,可能会增加舾装数,导致成本上升),将后围壁倾斜设计,加大烟灰收集的面积,同时烟灰会沿着斜面集中到烟囱顶部,便于集中处理。烟囱外形仅做简单变化,不影响外观;结构设计未增加迎风面,不增加成本;最大程度对烟灰的收集,确保了船舶环境的保护。
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7:
[发明]
信创环境下基于大文件传输平台实现跨机房限流处理的系统及其方法
申请号:
202310781804.9
公开号:CN116708414A 主分类号:H04L67/06
申请人:
普元信息技术股份有限公司
申请日:2023.06.29 公开日:2023.09.05
发明人:
王建华
;
刘相
摘要:本发明涉及一种信创环境下基于大文件传输平台实现跨机房限流处理的系统,包括文件传输管理控制台,用于对文件传输代理模块和文件传输服务器进行远程管理,配置所属机房间传输速率,并动态实时更新;文件传输代理模块,实现大文件传输,将所属机房实时传输速率发送至传输控制节点;文件传输服务器,对文件传输代理模块的状态进行检测和通知,实时计算传输节点所属机房的传输率,并进行动态分配。本发明还涉及一种实现信创环境下基于大文件传输平台的跨机房限流处理的方法。采用了本发明的信创环境下基于大文件传输平台实现跨机房限流处理的系统及其方法,架构简便,大大降低用户采购硬件的成本,有效减少大文件传输高速传输时对业务的影响,广泛适用于大文件传输领域。
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8:
[发明]
一种固相萃取-高效液相色谱联用灵敏测定环境水样中酚类污染物的方法
申请号:
201610004455.X
公开号:CN105445398A 主分类号:
申请人:
东华大学
申请日:2016.01.05 公开日:2016.03.30
发明人:
聂华丽
;
刘琳
;
刘相
摘要:本发明涉及一种固相萃取-高效液相色谱联用灵敏测定环境水样中酚类污染物的方法,包括:将氧化石墨烯分散液置于连接有石英管的超声雾化器内,雾化的气体通过加热到的石英管,用滤膜收集,得到石墨烯微球固相萃取剂,加入固相萃取柱;进行活化处理;将含有酚类的样品溶液通过固相萃取柱,并淋洗,真空泵抽至进干后进行洗脱,洗脱液进行氮吹浓缩,然后进入HPLC分析检测。本发明的样品制备简单,石墨烯微球具有抗压和比表面积大特性,能与含有芳香环的酚类物质发生较强的π-π堆积作用;固相萃取易于结合高效液相色谱联用,建立了一种适用于环境水样中氯酚类化合物快速高效的检测方法,吸附能力大于其它碳材料,应用潜力大。
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9:
[发明]
一种固相萃取剂富集人血浆中前白蛋白的方法
申请号:
201610109013.1
公开号:CN105675773A 主分类号:G01N30/08(2006.01)I
申请人:
东华大学
申请日:2016.02.26 公开日:2016.06.15
发明人:
聂华丽
;
刘琳
;
刘相
摘要:本发明涉及一种固相萃取剂富集人血浆中前白蛋白的方法,包括:将氧化石墨烯分散液超声雾化,然后通过400℃~450℃的石英管,收集,干燥,得到石墨烯微球固相萃取剂;将氯化钠加入到含有前白蛋白的血浆中,然后加入苯酚溶液,搅拌,静置,离心,得上清液;将石墨烯微球加入到固相萃取柱,然后活化固相萃取柱,然后将上清液通过固相萃取柱,淋洗,真空泵抽至进干,洗脱,氮吹浓缩,进入HPLC分析检测。本发明制得的石墨烯微球工艺简单且成本低,具有较大的比表面积和丰富的活性基团,能够方便、快捷、高剂量的从人血浆中浓缩富集前白蛋白;为前白蛋白的快速提取提供了可能,应用潜力巨大。
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10:
[发明]
一种石墨烯药物缓释微球及其制备方法
申请号:
201610638299.2
公开号:CN106176620A 主分类号:A61K9/16(2006.01)I
申请人:
东华大学
申请日:2016.08.05 公开日:2016.12.07
发明人:
聂华丽
;
刘相
;
刘琳
摘要:本发明涉及一种石墨烯药物缓释微球及其制备方法,缓释微球为药物和氧化石墨烯GO的复合微球。制备:将氧化石墨烯、药物溶于PBS溶液中,超声,室温下避光搅拌,离心,冷冻干燥,得到氧化石墨烯载药复合物;将氧化石墨烯载药复合物溶于水中,超声雾化,然后通过管式炉,并用聚四氟乙烯PTFE滤膜收集,干燥,即得。本发明制得的药物缓释微球具有pH敏感型释放的特点,可以用于抗肿瘤研究,有着很好的实用价值。
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条,当前第
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