摘要：本发明公开一种改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置及方法。改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置包括：机台，具有报警系统，并针对各类异常输出报警信息；机台主系统，与机台电讯号连接，并接收来自报警系统的报警信息；报警恢复系统，与机台主系统电讯号连接，用以接收来自机台主系统所传输的报警信息，并对报警信息进行分类，进而根据所属分类发出报警操作指令，以反馈至机台主系统，最终通过机台进行指令操作。本发明对于机台可自动恢复的报警信息，促发所述改善铜研磨机台报警造成制品报废的装置对腔体内的制品实现自动传送，输出机台，便最大可能的避免由于机台报警未及时有效处理造成产品报废的风险。

摘要：本发明提供一种研磨垫清洗方法及装置，该方法为：在晶圆研磨之前，通过高压液体或高压气体对研磨垫进行冲洗，通过清洁刷对研磨垫进行刷洗；在晶圆研磨之后，通过清洁刷对研磨垫进行刷洗。该装置包括供研磨垫清洗的冲洗装置以及供研磨垫清洗的刷洗装置。本发明能够在对晶圆研磨时，避免对晶圆的刮伤。

摘要：本发明提供了一种化学机械研磨的方法包括：提供一具有多个研磨区域的研磨头，研磨区域施加的压力能够被独立控制；利用所述研磨头对一薄膜进行研磨，研磨过程中实时检测所述薄膜的厚度分布，依据薄膜的厚度分布实时调节各个研磨区域施加的压力。研磨区域施加的压力作用在晶圆的背面，通过实时检测晶圆表面薄膜厚度的分布情况，依据薄膜厚度分布实时调节研磨头各个研磨区域施加在晶圆背面的压力。使得研磨过程中促进薄膜各个区域上厚度相对一致，以改善研磨的平整度。相应的，本发明还提供一种研磨系统。

摘要：本申请提供一种研磨制品面内平整度的改善方法、装置、设备、介质，应用于研磨技术领域，其中，研磨制品面内平整度的改善方法，包括：根据获取的研磨耗材的使用寿命与研磨制品面内平整度之间的关系，得到初始面内控制列表；根据研磨耗材的厚度前值，对初始面内控制列表中的压力值进行补偿，得到修正面内控制列表；根据修正面内控制列表进行研磨。根据研磨耗材的使用寿命与所述研磨制品面内平整度之间的关系，得到初始面内控制列表，并根据研磨耗材的研磨前的厚度前值对初始面内控制列表中的压力进行修正，可以实现对于初始面内控制列表中的压力的自动补偿，提高压力的精准性，从而改善研磨制品的面内平整度。

摘要：本发明涉及一种中性环保脱漆剂，这种脱漆剂主要成份不含挥发性氯代或其它卤素的有机溶剂，并且不含各种酸碱，主要含醇、酚、表面活性剂、增稠剂和石蜡。在中性条件下能够溶解漆膜，使漆膜易于清除，不损伤工件，不污染环境，而且可以重复使用。该脱漆剂可用于脱除醇酸漆、硝基漆、丙烯酸漆、环氧漆、氨基漆、酚醛树脂漆及聚氨酯漆等，而且对于需脱漆膜的精密机械元器件、电子元器件等金属表面没有损伤。

摘要：本发明提供了一种研磨方法及系统，包括：提供一具有第一待研磨层的衬底；对第一待研磨层进行初始研磨，以去除部分第一待研磨层；量测经初始研磨后的第一待研磨层的初始厚度；根据初始厚度、所设定的第一待研磨层的目标厚度以及再研磨的研磨速率，计算出再研磨的研磨时间；对第一待研磨层进行第一次再研磨；当再研磨的研磨时间结束时，量测经第一次再研磨的第一待研磨层的第一完成厚度；判断所述第一完成厚度是否在目标厚度的允许范围内；若为否，以所述第一完成厚度的值作为初始厚度的新值，重复循环上述过程以进行多次再研磨过程，来实现对铜研磨厚度的精确控制。本发明可以实现对待研磨层的厚度的精确控制，提高了研磨效率。

摘要：本发明提供了一种动态调整安全研磨时间限的方法，包括：第一步骤：获取经验安全时间下限T_LCL和为经验安全时间上限T_UCL；第二步骤：根据长期研磨速率均值求得基准研磨速率RR；第三步骤：根据控挡片监测获得控挡片研磨速率及APC反馈获得实时研磨速率RR_i；第四步骤：获取当前批次前a个批次的研磨速率RR_i‑、…₁、RR_i‑a；第五步骤：根据实际反馈调整反馈强度获取反馈比例系数k；第六步骤：计算实时研磨速率批次的批数a；第七步骤：根据第一公式计算实时安全时间下限T_LCLi：T_LCLi＝T_LCL‑k*T_LCL*[(RR_i+RR_i‑1+…+RR_i‑a)/(a+1)‑RR]/RR。

摘要：本发明提出了一种基于数字微镜技术的车道线投影系统及方法。本发明系统包括摄像头模块、雷达定位模块、模数转换模块、车联网模块、ECU、DLP处理器、数字微镜数字图像驱动模块、数字微镜元件、LED光源、导光管、聚光透镜、颜色过滤器、整形透镜、投影透镜。本发明方法开启LED光源，光线经光路传播至数字微镜元件；通过摄像头模块以及雷达定位模块采集信号，通过模数转换模块转换后传输至ECU；ECU将数字图像信号通过图像预处理得到车道线投影信号，根据数字距离信号与安全距离比较调整车道线投影信号以得到虚拟车道线投影信号，并传输至DLP处理器；DLP处理器根据虚拟车道线投影信号得到虚拟车道线，通过数字微镜原件将虚拟车道线投射到地面。

摘要：本发明公开了一种水轮机导叶套筒密封装置，涉及水轮发电领域，包括底座（1）、顶盖（2）、套筒（3）、导叶轴（4）和导叶臂组件（5），所述底座（1）的上端设置有顶盖（2），所述套筒（3）的一端设置在底座（1）的下端面，另一端压在顶盖（2）的上端面，所述导叶轴（4）设置在套筒（3）内，导叶轴（4）的上下两端穿出套筒（3），所述导叶轴（4）的上端连接有导叶臂组件（5）且导叶臂组件（5）和顶盖（2）之间还设置有防护罩（6），所述导叶轴（4）和套筒（3）之间设置有多个轴套（7）和多个密封垫圈（8）。本发明具有结构简单，安装方便，密封效果好，节约故障处理时间的优点。

摘要：本发明涉及到一种自由落钩卷扬机构及起重机，所述自由落钩卷扬机构包括联接轴；卷筒，套设于所述联接轴上，且与所述联接轴同步转动；制动器，位于所述联接轴的轴向方向上，所述制动器与所述联接轴同轴设置，所述制动器包括：定子，所述定子固定安装；转子，所述转子与所述联接轴同轴传动；线圈，所述线圈在所述线圈设于所述定子上，所述线圈与起重机上的供电系统电连接。本申请提供的自由落钩卷扬机构及起重机，能实现卷扬机自由落钩时非接触式带大载荷制动。