摘要：本发明公开了一种射频LDMOS多晶硅沟道平坦化的工艺方法，该方法在多晶硅淀积后，按照以下步骤对多晶硅沟道表面进行平坦化处理：1)涂布底部有机抗反射层；2)底部有机抗反射层回刻；3)多晶硅主刻蚀，清除沟道区域以外的多晶硅；4)多晶硅过刻蚀，使沟道内的多晶硅表面平坦化。该方法通过在多晶硅回刻前，涂布底部有机抗反射层进行平坦化，再通过极低选择比的干法刻蚀工艺进行回刻，减小了沟道内多晶硅表面的高低落差，从而得以形成连续的金属硅化物，达到减小RF?LDMOS的导通电阻，增大后续工艺窗口的目的。

摘要：本发明公开了一种深沟槽多晶硅形成方法，包括步骤：在形成深沟槽后，循环淀积多晶硅和离子注入形成多层多晶硅，直至多层多晶硅填满深沟槽；对多层多晶硅进行回刻，用以去除深沟槽外部区域的多晶硅。在多层多晶硅回刻工艺中采用多晶硅刻蚀和自然氧化层刻蚀循环重复刻蚀的方式，即当多晶硅刻蚀到含有自然氧化层的位置时，插入一步自然氧化层刻蚀工艺。本发明能够避免出现多晶硅刻蚀过程中形成自然氧化层的侧壁掩模，从而能够消除多晶硅尖刺的形成。

摘要：本发明公开了一种改善硅通孔横向开口的干法刻蚀方法，包括步骤：1)涂布光刻胶，图形曝光，定义硅通孔的尺寸大小；2)预淀积一层聚合物；3)预刻蚀，在步骤2)的聚合物表面打开缺口；4)在深沟槽侧壁和底部淀积一层聚合物；5)利用高能量等离子体，进行第一次深沟槽干法刻蚀，打开深沟槽底部的聚合物；6)利用低能量等离子体，进行第二次深沟槽干法刻蚀；7)循环进行步骤4)至6)，直至达到所要求的硅通孔深度。该方法利用三步淀积刻蚀交替循环干法刻蚀工艺，控制了硅通孔的横向开口，从而在满足设计所需的较大深度的同时，保证了硅通孔的高深宽比，进而保证了后续金属物填充后的电路性能。

摘要：本发明公开了一种光分路器单晶硅回刻的干法刻蚀方法，包括步骤：1)用干法刻蚀方法，通过硬掩膜刻蚀出深沟槽；2)用湿法刻蚀方法，缩小硬掩膜的宽度；3)采用各向异性刻蚀条件，进行单晶硅回刻；4)进行聚合物各向同性刻蚀，去除侧壁的聚合物；5)重复步骤3)至4)。该方法通过循环刻蚀方法，降低了单晶硅回刻过程中形成的单晶硅围墙的高度，从而可以提高光分路器的性能。

摘要：一种电动飞机，特别是一种垂直起降的电动飞机，它包括有12个由电动机驱动的旋翼、机身、起落架。所述旋翼分成4组，通过4个“Y”型连接部件与机体相连。每组旋翼中，有一个旋翼的中心位于“Y”型的交叉点，另外两个旋翼的中心在“Y”型连接部件的顶端。位于顶端的旋翼通过连接部件围成圆形，该圆形的直径从5000毫米到8500毫米之间。这种垂直起降电动飞机的自重范围从300公斤到850公斤；驱动每个旋翼的电动机的功率从6千瓦到20千瓦。与传统直升飞机相比，本发明取消了尾桨，效率更高。本发明使用电动机驱动非常环保，没有碳排放问题。没有传统直升机复杂的机械传动机构。结构简单、可靠。12个电动机和螺旋桨在其中2-3个电动机或者螺旋桨出现意外故障的情况下，依然可以安全降落。

摘要：一种电动飞机，特别是一种垂直起降的多轴电动飞机，它包括有12个由电动机驱动的旋翼、机身、起落架。所述旋翼分成4组，通过4个‘Y’型连接部件与机体相连。所述‘Y’型连接部件靠近机身部位的外形横截面为翼型。可在向前飞行的过程中产生向上的升力；与传统多轴飞行器相比，更加节能。这种垂直起降电动飞机的自重范围从300公斤到850公斤；驱动每个旋翼的电动机的功率从6千瓦到20千瓦。与传统直升飞机相比，本发明取消了尾桨，效率更高。本发明使用电动机驱动非常环保，没有碳排放问题。没有传统直升机复杂的机械传动机构。结构简单、可靠。12个电动机和螺旋桨在其中2-3个电动机或者螺旋桨出现意外故障的情况下，依然可以安全降落。

摘要：一种垂直起降飞机，特别是一种可倾转旋翼的垂直起降飞机，它包括有前拉旋翼和后推旋翼、固定翼、机身，其特征在于，所述旋翼轴的总数大于等于4。常见的轴数可为：4、5、6、8、10、12、16、18、20；这样的设置使得在起降过程中某一个旋翼系统故障的情况下，飞机依然可能安全降落，提高了整体的安全性能。前拉旋翼可以与地平面垂直并从该方向倾转到与地平面平行，后推螺旋桨可以与地平面垂直并从该方向倾转到与地平面平行，前拉螺旋桨和后推螺旋桨的轴向与地面水平后两者做功的方向相同。与现有技术相比，本发明的有益效果是：可倾转多轴为起降的安全提供了适当的冗余，并且降低了飞行控制的难度。平飞过程中固定翼提供抵消重量所需要的升力。使得飞行能耗较少。

摘要：本发明涉及一种多轴飞行器机臂安装结构，其特征在于：具有相互平行设置的机身上板和机身下板；设于机身上板与机身下板之间的、靠近机身上板与机身下板外周设置的机臂连接件；一端通过轴线与机身上板和机身下板平行的销轴铰接在所述机臂连接件下部的机臂；位于机身上板外周、与机身上板一体构造的、可以与所述机臂卡接以避免机臂绕所述销轴转动的弹性卡片。本发明简化飞行器主要框架结构，减轻飞行器主体构架重量，可以提高飞行器的生产效率和产品质量。另外，本发明中的机臂可以弯折，方便了飞行器的存放和使用。

摘要：本发明涉及一种语音提示方法和装置,尤其是涉及到汽车拖拉机收割机故障检测与监测语音提示的方法和装置，用来实现汽车拖拉机收割机的故障检测与监测语音提示。本发明解决技术问题的技术方案在于采用多路传感器数据处理电路，将多路传感器的传感数据转变为多路的传感逻辑电平数据；采用数据编码电路，将输入多路的传感逻辑电平数据综合的进行二进制编码；用于控制烧录上了多段提示语音的语音电路进行语音提示播放。提示作业人员在故障发生时及时停车，避免造成重大机械事故的发生，从而提高了汽车拖拉机收割机的使用安全性，汽车与农业机械生产厂家很容易将本发明方法的实施方式电路与产品的电路进行融合从而提高了农机产品的使用安全性。

摘要：本发明提供了一种水稻田灭草农药喷施的方法与喷施装置，所述喷施装置是，采用已公开或已知的任何喷施装置两套或多套，进行合并的方法制成的喷施装置，所述喷施的方法是，根据水稻田里灭草的需求选择喷施农药，遇到阔叶草时喷施杀灭阔叶草农药，遇到窄叶草时喷施杀灭窄叶草农药，遇到两种草时同时喷施两种杀灭草农药，遇到无滋生草时可不喷杀灭草农药，使灭草效果达到最佳效果，降低了作业量，降低了农药的使用量，降低了农业生产成本，杜绝了不必要的浪费，同时也减轻了对水稻的药害，也减少了对环境污染的程度。