摘要：本发明提供一种精密掩模板及大尺寸OLED显示面板辅助电极的制备方法。该精密掩模板包括掩模本体(3)、及与掩模本体(3)的外围固定的矩形边框(5)；所述掩模本体(3)划分为数个与OLED显示面板尺寸对应的蒸镀区域(31)，每一蒸镀区域(31)包括呈矩阵式排列的多行多列的网格形短缝(311)；一列网格形短缝(311)配合蒸镀机台的偏移用于制备一条连续的辅助电极。该精密掩模板能够有效防止在蒸镀过程中发生变形及错位，使制得的辅助电极位置精度高，连续性好，有效降低IR‑drop。

摘要：本申请公开了一种零件切换装置以及蒸镀系统，该零件切换装置包括基座装置以及包围该基座装置的基座套；其中，基座装置包括基座及转轴，基座侧壁上设置有多个用于容置零件的容置槽，转轴垂直固定于基座底板，用于在转动时带动基座转动；基座套上设置有一窗口，用于在转轴带动基座转动时，使多个容置槽能依次对准该窗口，便于容置槽中的零件露出以进行加工或其他操作。通过上述方式，本申请能够有效增加零件切换装置中可容置零件的数量，提高相应设备的使用效率，进而提高工业生产的效率。

摘要：本发明提供一种用于胶料涂布的掩膜板及其制作方法，该掩膜板包括：框架及安装于框架上的网板（20），所述网板（20）由金属片制成，所述网板（20）包括：外遮挡区（26）、内遮挡区（24）、以及一端连接内遮挡区（24）另一端连接外遮挡区（26）的数根骨架（28），所述外遮挡区（26）、内遮挡区（24）以及骨架（28）之间形成数个涂布区（22）。本发明采用金属片制作出涂布区与遮挡区一体成型的网板，有效延长掩膜板的使用寿命，且，网板在同一平面内，在胶料涂布时不会对玻璃造成压伤，也不会留下十字印点，同时，还可以通过选用不同厚度的金属片制成掩膜板以调整胶料的涂布厚度。

摘要：本发明提供一种基板前处理方法及装置，所述方法包括如下步骤：步骤1、提供待前处理的基板、UV室及装载室；步骤2、在UV室与装载室之间设置一传递室连接该UV室与装载室，在UV室与传递室之间连接处设置第一封闭门，在传递室与装载室之间连接处设置第二封闭门；所述传递室在关闭第一与第二封闭门后形成密闭室。步骤3、将待前处理的基板送入UV室；步骤4、关闭UV室，在UV室内通入干燥的氧气后进行UV处理；步骤5、UV处理结束后，打开第一封闭门，将基板送入传递室；步骤6、在基板完全进入传递室后，关闭第一封闭门，打开第二封闭门，将基板送入装载室；步骤7、在基板完全进入装载室后，关闭第二封闭门，对装载室抽真空。

摘要：本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，包括掩膜边框(1)、固定于所述掩膜边框(1)上的插条(3)、及固定于所述插条(3)上的掩膜(5)；所述掩膜边框(1)包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜(5)的开口；掩膜边框(1)的每条边均设置一条凹陷于其上表面的沟槽(11)；所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内；所述掩膜(5)通过点焊固定于插条(3)上，焊点(7)位于插条(3)上。当掩膜变形需要更换时，仅需将插条取出进行抛光、或更换插条即可，掩膜边框能够重复多次使用，减少掩膜边框的报废量，提高掩膜边框的利用率，同时能够减少掩膜边框的备份数量，节约材料及生产成本。

摘要：本发明公开了一种蒸镀装置包括：真空室，提供真空环境；蒸发源，位于真空室中，提供用于蒸镀的Li3N，并对Li3N进行加热分解，产生Li；对位系统，与蒸发源相对设置，对需镀膜的基片进行定位，使Li沉积在基片上；冷凝泵，与真空室连通，用于对真空室进行抽真空处理；分子泵，与真空室连通，用于维持真空室的低真空度。通过上述方式，本发明能够提高腔内真空度，减少对器件寿命的影响。

摘要：本发明提供一种组合式掩膜板及其制作方法。该组合式掩膜板包括掩膜边框(1)、数条第一摭板(2)、及数条第二摭板(3)；所述数条第一摭板(2)与数条第二摭板(3)相互交叠，形成具有多个成膜孔(4)的网格状结构；所述数条第一摭板(2)与数条第二摭板(3)的厚度相等；所述第一摭板(2)与第二摭板(3)交叠的部位设有贯穿该第一摭板(2)宽度的第一凹槽(21)，所述第二摭板(3)与第一摭板(2)交叠的部位设有贯穿该第二摭板(3)宽度的第二凹槽(31)；所述第一、第二摭板(2、3)通过第一、第二凹槽(21、31)相互嵌合、交叠，并使得所述第一、第二摭板(2、3)的上、下表面分别位于同一平面。

摘要：本发明提供一种高精度掩膜板的制作方法，先采用半蚀刻制程将掩膜基板的开孔区域减薄至激光可以穿透的厚度，然后施加张力于掩膜基板的四周，使其表面平整，并将掩膜基板焊接于掩膜边框上，之后用激光切割出掩膜板需求的图案的开孔，利用激光切割的激光束直径可达到1微米的特性对掩膜基板开孔，提高了掩膜板的开孔精度和开孔的位置精度，从而可以更精确地制作出合乎设计开孔尺寸的掩膜板；同时利用激光束直径可达到1微米的特性，可以在掩模板上制作出具有极小线宽值的开孔，从而提高显示器的分辨率；此外，由于生产所需的设备费用降低，从而显著降低了掩膜板的生产成本；由于制程工序缩短，从而大幅提高了掩膜板的生产效率。

摘要：本发明提供一种掩膜板的制作方法，先采用电铸工艺或物理气相沉积工艺制作出初始掩膜板(3’)，该初始掩膜板(3’)具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)的直孔通孔(31)；再采用化学刻蚀工艺，对初始掩膜板(3’)的下表面及直孔通孔(31)的内壁进行刻蚀，形成具有斜锥角(Φ)的曲线形凹槽(33)，该曲线形凹槽(33)的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)，从而制作出掩膜板(3)，一方面能够提高蒸镀开孔的尺寸精度，一方面使蒸镀开孔具有设计需要的斜锥角，减少对蒸镀材料的遮挡，提高蒸镀效率，使掩膜板更符合制程要求。

摘要：本发明公开了一种OLED显示屏真空干膜装置，其包括：箱体；冷热板，其固定安装于箱体内，冷热板还连接冷却加热源；第一真空泵，其安装于箱体的顶部，从箱体的顶部对箱体的内部抽真空；第二真空泵，其相对第一真空泵安装于箱体的底部，从箱体的底部对箱体的内部抽真空。本发明可以使得OLED的湿法工艺中材料需要做成墨水或者浆料而引入的溶剂被有效地去除掉，有效地解决了OLED湿法工艺中的干燥处理问题，从而提高生产效率、降低生产成本，使工业界突破大尺寸OLED显示成为可能。