摘要：本发明提供一种无须变更喷淋板，不改变激发后的蚀刻气体的生成条件，就能调节蚀刻对象物表面上的激发后的蚀刻气体的浓度分布的干蚀刻装置(EM)。其具备：第一喷淋板(4)，其在真空室(1)内与蚀刻对象物(Sw)相向配置，设置有多个第一喷出口(4a)；气体供给装置(5、6)，其向与真空室内隔绝、并与第一喷淋板的各第一喷出口接续的空间(Sp)中供给激发了的蚀刻气体。上述空间(Sp)被划分成多个，在这些划分出的各空间(S1、S2)中还设置有可导入进行了流量控制的惰性气体的惰性气体导入装置(51、52、71、72、71a、72a)，通过按空间导入的惰性气体的流量控制，自由调节向各空间导入的蚀刻气体的分配比例。

摘要：本发明公开了一种洗衣机，该洗衣机包括：机壳；旋转桶，被设置为围绕竖直地设置在机壳的内部分内的驱动轴旋转，并包括底部和侧壁，所述侧壁从所述底部倾斜地延伸，以具有从所述底部朝着旋转桶的上侧增加的直径；驱动装置，设置在旋转桶的下侧，以使旋转桶旋转；支架板，在旋转桶的下侧通过驱动轴连接到旋转桶，并且驱动装置设置在支架板的下侧；基座，设置在支架板的下侧；悬挂构件，悬挂构件的下侧被基座支撑，悬挂构件的上侧在旋转桶的重心所在位置的横向侧连接到支架板。

摘要：本发明是一种海岛型复合纤维，其特征在于，岛成分是具有吸湿性的聚合物，纤维横截面中最外层厚度T与纤维直径R之比T/R为0.05～0.25，热水处理后的吸湿率差ΔMR为2.0～10.0％，其中，最外层厚度是指纤维的半径与将配置在最外周的岛成分的顶点连接起来的外接圆的半径之差，表示最外层存在的海成分的厚度。本发明提供一种海岛型复合纤维，其在染色等的热水处理中随着岛成分的具有吸湿性的聚合物的体积溶胀而发生的海成分的裂纹得到抑制，所以在制成机织物、针织物等的纤维结构体后染色不均匀和起毛少，品质优异。此外，由于具有吸湿性的聚合物的溶出得到抑制，所以在染色等的热水处理后吸湿性也优异，进而，在海成分为聚酯的情况能够兼有聚酯纤维本来的干爽感。

摘要：本发明提供一种成膜方法，当通过靶的溅射形成电介质膜时，该方法可不损害有效抑制诱发异常放电这一功能地尽量减少刚成膜后的被处理基板表面上附着的粒子的数量。在真空室(1)内对靶(2)进行溅射并在被处理基板(Sw)的表面上形成电介质膜的本发明的成膜方法，其在靶的溅射时，对靶以脉冲状施加负电位，将脉冲状施加负电位时的频率设置在100kHz以上150kHz以下的范围内，将负电位的施加时间(Ton)设置在长于5μsec且短于8μsec的范围内。

摘要：本发明提供能够抑制基板间的蚀刻量的分布的蚀刻方法和蚀刻装置。收纳在真空槽中的多个基板分别具备第1处理对象和第2处理对象。第1处理对象为硅氧化物层(53)，第2处理对象为硅氮化物层(51)或者被硅氧化物层(53)覆盖的硅层(52)。蚀刻方法包括下述工序：第1工序，将NH3气体和HF气体导入至真空槽，由此对第1处理对象进行蚀刻；以及第2工序，在第1工序后，将由包含NH3气体的气体生成的等离子体和NF3气体供给至真空槽，由此对第2处理对象进行蚀刻。

摘要：本发明提供一种处理室的更换容易的真空处理装置，本发明的真空处理装置(1)具有处理室(20)和输出输入室(10)。输出输入室(10)固定在处理室(20)的上方位置。另一方面，处理室(20)可通过升降机构(50)下降，所以若使处理室(20)下降，则处理室(20)从输出输入室(10)分离。此外，在处理室(20)上连接有搬运机构(30)，所以在从输出输入室(10)拆下处理室(20)后，也容易搬运处理室(20)。这样，根据本发明，与以往相比更换处理室(20)的操作变得简单容易。

摘要：本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。

摘要：本发明提供一种洗衣机。该洗衣机具有在不增加洗衣机的尺寸的情况下增加洗涤容量的改进的结构。该洗衣机包括：机箱，包括外部以及连接到外部的圆筒形内部；旋转筒，可旋转地设置在内部中，旋转筒包括底部和从底部延伸的侧壁；波轮，可旋转地设置在旋转筒中；电机，设置在旋转筒之下；离合器，用于选择性地将电机的动力传递到旋转筒或波轮；底盘，用于固定离合器和电机；悬挂构件，将底盘与机箱的上部连接。在洗涤周期过程中，洗涤水储存在旋转筒内，而不储存在旋转筒的外部。