摘要：一方面，本发明提供了用于在大面积基片上形成光学器件的方法和装置。最好，大面积基片由石英、硅石或石英玻璃制成。大面积基片可以使更大的光学器件形成在单个模片上。另一方面，本发明提供了用于在大面积基片如石英基片、硅石基片和石英玻璃基片上形成集成光学器件的方法和装置。另一方面，本发明提供了利用镶嵌技术在大面积基片或硅基片上形成光学器件的方法和装置。另一方面，提供了通过将上覆盖层结合到下覆盖和芯上形成光学器件的方法。