摘要：共用真空系统的双腔真空装载腔，主要解决现有的真空工艺腔室的结构复杂、装调难度高和生产效率不高的技术问题。它主要由腔体组件、晶圆支架组件、底部法兰组件及透明盖板构成。上述底部法兰组件，包括底部法兰、气体扩散器、真空计、真空角阀及真空管路，底部法兰的一面为密封面，用O型圈密封于腔体底部的共用真空室的下方，底部法兰的另一面开孔用螺钉分别连接气体扩散器、真空计、真空角阀、真空管路，同样使用O型圈密封，真空角阀通过真空管路连接至泵组，气体扩散器连接氮气管路，形成共用真空室。本发明具有结构合理，机加工艺简单，成本低廉，双腔共用真空腔室，容积小，抽真空与回填大气的时间和成本与同类产品相比大幅减小的特点。

摘要：本申请提供一种差速锁控制方法、整车控制器及介质，涉及车辆控制技术领域。该方法获取差速锁翘板开关的当前状态以及车辆状态信息，车辆状态信息包括电机转速、方向盘转角、油门开度、车轮滑转率中的一种或多种；根据差速锁翘板开关的当前状态，确定差速锁控制模式，差速锁控制模式包括自动控制模式、手动控制模式和关闭状态模式；根据车辆状态信息，确定是否满足差速锁控制模式对应的上锁条件/解锁条件；如果满足差速锁控制模式对应的上锁条件/解锁条件，则执行差速锁的上锁操作/解锁操作。本申请的方法，降低了差速锁的损坏概率，并且提高了差速锁控制的准确性，从而满足用户的使用需求。

摘要：本申请实施例提供一种车辆终端的打气泵控制方法、装置及车辆终端。涉及车辆终端技术领域。该方法包括：获取数据信号；其中，数据信号包括车辆终端的气压传感器信号、车辆终端所处地区的环境温度信号。根据气压传感器信号、以及环境温度信号，确定控制模式；其中，控制模式用于指示不同场景下的控制信息。根据控制模式，控制车辆终端中的打气泵工作或停机、卸载荷的打开或关闭、以及再生阀的打开或关闭；其中，打气泵、卸载荷以及再生阀三者用于在工作中去除车辆终端的制动管路中的障碍物。该方法用以达到降低车辆终端的制动风险的效果。

摘要：一种安装晶圆托架专用工具及其安装方法，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题。安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架，晶圆托架安装架的上面设有安装架把手，安装架把手是通过螺栓将其固定在晶圆托架安装架上的。上述晶圆托架安装架的中心设有定位销，螺栓与晶圆托架安装架螺纹联接。安装方法，先将定位销穿过晶圆安装盘定位保证同心，并固定晶圆安装盘和托架安装架。将托架安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，对准定位之后固定，最后将螺栓拧下来，将托架安装架取下来。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以精确定位晶圆的位置。

摘要：本发明公开了一种胶原蛋白软糖及其制作方法，该软糖包括以下重量份的原料：牦牛蹄筋16～18份、变性淀粉4～12份、人参果浓缩液13～16份、枸杞浓缩液14～18份、果胶9～11份、白砂糖2～5份、果葡糖浆7～10份、木糖醇8～12份、乳酸1.0～1.2份、红枣粒2～3份、人参果粒1.5‑2.0份和水6～9份。本发明的胶原蛋白软糖的制作方法，包括牦牛蹄筋预处理、熬胶、化糖、熬糖、浇注、干燥、脱模等多个工艺步骤，以牛蹄筋为原料，通过复配，产品的口感风味独特，开发拓展了蹄筋产品的食用方式及产品形态，产品无化学物质残留，产品安全性高，携带方便，食用方便，为消费者提供了新的摄入胶原蛋白的方式。

摘要：本发明提供一种用于支撑晶圆的支撑柱，包含：一柱体及一抵抗部。抵抗部延伸于所述柱体的周围表面的外侧，藉此当所述支撑柱被放入晶圆支撑盘的孔时，所述抵抗部与孔壁产生摩擦力，将所述支撑柱稳固容置于孔中。本发明还提供了一种支撑盘和更换支撑柱的方法。

摘要：本发明提供了一种加热盘。所述加热盘包括加热盘本体及多个限位陶瓷柱。所述加热盘本体用于承载待加工的晶圆。所述多个限位陶瓷柱，设于所述加热盘本体上的多个位置。各所述限位陶瓷柱的外切圆的第一半径等于所述晶圆的第二半径，以实现对所述晶圆在水平方向的定位。各所述限位陶瓷柱与所述晶圆的切边皆至少保持一安全夹角，以避免所述晶圆的边缘产生电弧放电。本发明可以通过在加热盘中心设置与晶圆边缘具有一间隔夹角的限位陶瓷柱对晶圆进行限位，避免晶圆边缘产生电弧放电，用于避免晶圆边缘产生电弧放电，从而保护晶圆不被损伤。

摘要：本发明提供了一种加热盘。所述加热盘包括承载区、边缘区及隔离区。所述承载区用于承载待加工的晶圆。所述边缘区的外侧设有陶瓷套，用于避免所述加热盘的边缘与其所在的工艺腔室侧壁产生电弧放电。所述隔离区设于在所述承载区与所述边缘区之间，并具有适应所述加热盘上方等离子体强度的宽度，用于避免所述陶瓷套、所述加热盘与所述晶圆的三种材料之间的电弧放电。本发明可以通过在加热盘上设置隔离区，以隔离待加工的晶圆与加热盘外侧的陶瓷套，用于避免加热盘外侧产生的电弧放电现象造成晶圆损伤。

摘要：本发明公开的一种具备补温和降温功能的水帘棚膜、系统及方法，包括相连接的上壁薄膜(11)和下壁薄膜(12)，上壁薄膜(11)位于下壁薄膜(12)上部，且上壁薄膜(11)和下壁薄膜(12)之间设置多个水道(13)；每个水道(13)均与单独的水道进水口(16)、水道出水口(15)和出气口(17)连通。能够对大棚进行降温或补温。

摘要：本发明提供了一种腐蚀性气体的密封阀及一种薄膜沉积设备。该腐蚀性气体的密封阀包括：阀座，包括流通所述腐蚀性气体的通气管路，其中，所述通气管路的两端分别设有进气口和出气口，而其中部设有包围所述通气管路的密封部，所述密封部设有至少一圈包围所述通气管路的第一凹槽和/或第一凸缘；以及阀板，包括朝向所述密封部的密封面，所述密封面上设有至少一圈包围所述通气管路的第二凸缘和/或第二凹槽，其中，所述第二凸缘在所述阀板靠近所述阀座时无接触地伸入所述第一凹槽，和/或所述第二凹槽在所述阀板靠近所述阀座时无接触地包覆所述第一凸缘，以阻断所述腐蚀性气体在所述进气口和所述出气口之间的流动。