摘要：本发明公开了一种减少接触摩擦的承载装置，所述承载装置设有气孔，所述气孔以被承载物的中心为中心对称均匀地分布在所述承载装置用于承载所述被承载物的区域内；所述气孔通过一进气管与储气瓶相连通，所述进气管上设有控制所述气孔的出气流速或出气流量的控制阀；所述承载装置还具有排气机构，所述排气机构包括抽气管道、抽气泵和排气管道，所述抽气管道设于所述气孔的周侧且其上具有进气口，所述抽气管道与所述抽气泵的抽气嘴相连，所述排气管道与所述抽气泵的排气嘴相连。本发明还公开了利用该承载装置的传输方法。本发明通过气流向上流动的力量减弱被承载物与承载装置接触的压力，从而减弱二者直接接触时的摩擦力，减少划痕和新颗粒的产生。

摘要：本发明涉及一种处理污泥生物质固废的双塔板化学链制氢装置及方法，所述装置包括塔体、上层塔板、下层塔板、低温等离子体发生器、旋风分离器及气体分离器；塔体内分为上层的化学链制氢反应区和下层的低温等离子体反应区，上层塔板上平铺载氧体；低温等离子体反应区的上部设固废燃料入口，外围设低温等离子体发生器；下层塔板下方的进风排灰室的一侧设工作气入口；本发明基于污泥、生物质等固废处理过程减量化、无害化和资源化的原则，结合低温等离子体技术对固废燃料进行热解，通过在同一塔体内设置双塔板的方式，将固废燃料与载氧体分层布置，避免了灰分对载氧体活性的影响，为高灰生物质固体废弃物的高效转化开辟了新思路。

摘要：本申请涉及一种模型生成方法、系统、计算机设备、存储介质和程序产品，应用于模型生成系统。所述方法包括：将待处理任务分解为多个子任务；从模型生成系统的模型库和外部数据库中获取各子任务对应的实现模型；根据各任务对应的实现模型生成待处理任务对应的目标模型。上述方法提供了一个模型生成系统，模型生成系统的模型库中包括多个实现模型，在生成待处理任务对应的目标模型时，即可从模型库直接获取待处理任务的各个子任务的实现模型生成目标模型，极大提高模型的生成效率。

摘要：本公开公开一种高压直挂构网储能系统功率器件分时段过流能力与电‑热极限参量的关联数学模型构建方法。基于所述储能系统短时过载能力要求，获取交流电流运行点的选取范围；在所述范围内选取所述交流电流运行点；计算流过所述储能系统的直挂换流器的换流阀桥臂中功率器件的电流；计算所述交流电流运行点下所述功率器件的结温；检验流过所述功率器件的电流和结温是否满足电‑热极限约束条件；根据所述短时过载能力要求对所述交流电流运行点进行分类，进而获取高压直挂构网型储能系统的有功无功电流安全运行范围。

摘要：本发明公开了一种晶圆表面电荷消除装置，其外壳形成一密闭腔体；隔板固定在外壳中部，其展开时使外壳形成的密闭腔体隔离为密闭上腔室及密闭下腔室；下腔室处的外壳侧壁设置有能打开及关闭的晶圆放置门；上极板设置在上腔室内并平行于隔板；外壳为绝缘材质；上极板及隔板均为导电材质；上极板连接有上电极；隔板连接有下电极；下腔室内放置有电荷量测装置及能升降及旋转的工作台；上腔室的侧壁设置通气接口。本发明还公开了该晶圆表面电荷消除装置的晶圆表面电荷消除方法。本发明能消除晶圆表面电荷对制造和量测等流程产生干扰，减少工艺缺陷，提高量测图形精度。

摘要：本发明提供了一种绿色版图的认证方法，包括：获取版图上的第一低风险点；获取第一低风险点的当前层的版图形状、参考层的版图形状、OPC模拟值和OPC修正后的值，并建立第一信息库；获得出版版图的预警点，判断预警点的当前层的版图在第一范围内是否和第一信息库中的当前层版图相同；如果相同，则判断预警点的参考层的版图形状在第二范围内是否和第一信息库中的参考层的版图形状是否相同；如果相同，则判断预警点的OPC模拟值是否和第一信息库中的OPC模拟值中相同；如果相同，则判断预警点的OPC修正后的值是否和第一信息库中的OPC修正后的值相同；如果相同，则认为预警点为第二低风险点，多个第二风险点形成所述第二信息库。可以用于过滤相同的低风险点。

摘要：本发明提供了一种直接检测通孔通断状态的方法及装置，该装置可以由碳纳米管探针组成阵列模板，通过在碳纳米管探针上加上预设数值的电压，对准并向下移动探针到达孔层底部，由于孔层完全开通或有介质层残留时，底部的材料导电性不同，这样通过探针上电压的变化就可以直接检测出通孔的通断状态，用当站直接检测的数据来反馈前面工艺参数是否合适，解决目前孔层检测在填充金属后才可以检测，反馈滞后的问题。

摘要：本发明提供了一种流体导流装置，包括：主体结构，其内侧壁从下至上依次设置有第一环形凹槽、第二环形凹槽和第三环形凹槽；形成于主体结构中的喷气组件，用于对晶圆的侧面喷射气体以隔断晶圆上下两侧清洗液的相互渗入；形成于主体结构中的吸气组件，用于在第一环形凹槽和第三环形凹槽中产生负压气流以引导晶圆上下两侧的清洗液按照设定方向排出。本发明还提供一种基于所述流体导流装置的晶圆清洗方法。本发明提供的装置和方法，实现了晶边的清洗液和晶背清洗液的分隔和导流，避免了晶背的清洗液和晶边的清洗液溅射到光刻胶层上进而影响光刻胶层厚度均匀性的问题。

摘要：本发明提供一种对光学邻近修正光学模型筛选和评估的方法，提供测试图形以及用于光学邻近修正的光学模型；获取所有需要评估的测试图形在一种光学模型下的拟合图像以及在晶圆上的曝光后图像；根据拟合图像和曝光后图像获取对比图像；根据对比图像获取拟合图像和曝光后图像之间的各种参数差异；根据各种参数差异设置加权评价函数，设置加权评价函数的阈值，之后判断测试图形是否符合阈值；符合阈值的测试图形为适应该种光学模型；不符合阈值的测试图形则修正光学模型，重复上述步骤至不符合阈值的测试图形符合阈值；将各测试图形适用的光学模型导入至光学模型图形库。本发明可以缩短光学邻近修正迭代时间，提高光学邻近修正对所有图形的修正精度。

摘要：本发明提供一种晶圆控温方法，包括以下步骤：测量目标晶圆平行于平面放置时的翘曲度；根据以往的加热与所述目标晶圆相同规格晶圆的数据，并根据所述翘曲度，获取所述目标晶圆表面各单位区域的温度数据；所述单位区域与微型变温单元一一对应，根据所述温度数据，对每个所述微型变温单元设置补偿温度；调用所述微型变温单元加热其对应的所述单位区域，以使所述目标晶圆在被加热时各所述单位区域之间的温度差在预设范围内。本发明能够解决晶圆因存在翘曲度而导致在加热或冷却过程中表面温度不一致的问题。