摘要：本发明涉及半导体晶片加工技术，具体地说是多分区热盘结构，解决热盘表面温度的均匀性不好，不能满足高精度加热的要求等问题。热盘中设有上盘和下盘以及安装于上下盘中间的加热片，加热片分成多个区，每个区设有独立的温度传感器。本发明在热盘上盘和压片中夹入一片分有多个区的加热片，并在每个区设计有独立的温度传感器，通过可以控制多路加热的控制器控制，并保证上盘的厚度、加工精度、平面度、表面处理和材料等条件达到热盘温度均匀性的要求。

摘要：一种人体触摸检测电路，由一个第一振荡电路、一个第二振荡电路、一个时序控制电路、一个计数器、一个第一寄存器、一个第二寄存器、一个第三寄存器和一个比较器构成，第一振荡电路、第一电阻器和第一电容器与第二振荡电路、第二电阻器和第二电容器工作在相同环境下，当人体与第二振荡电路上连接的人体触摸端子接触时，由于人体对地有寄生电容，因此改变了第二振荡电路的频率。时序控制电路、计数器、寄存器和比较器组成的数字电路根据第二振荡电路输出信号在人体触摸前后的频率差别，准确判断人体是否接触人体触摸端子。本发明可以消除环境影响，抗干扰能力强，工作稳定。

摘要：一种高性能LED恒流驱动电路，由一个高压驱动MOS管，一个低压恒流MOS管和一个ESD保护电路构成，高压驱动MOS管的源端与低压恒流MOS管的漏端连接，低压恒流MOS管的源端与地电位连接，ESD保护电路由低压器件构成，ESD保护电路的一端与高压驱动MOS管的漏端连接，ESD保护电路的另一端与地电位连接。ESD保护电路由低压MOS管、或者由低压CMOS工艺实现的二极管或三极管或场管、或者由击穿电压低于高压驱动MOS管的耐压稳压二极管构成。保护电路的击穿电压低，更易实现对高压驱动MOS管的ESD保护，以提高LED恒流驱动电路的可靠性，及长期稳定性。低压器件构成的保护电路面积小，实现成本较低。

摘要：本发明涉及在芯片制造用基片加工过程中对基片涂敷保护材料加热烘干的设备，具体地说是一种防止晶片翘曲的烘烤装置及其烘烤方法，装置包括上部加热盘、顶针、下部加热盘及工作台，下部加热盘安装在工作台上，在下部加热盘上插设有上下升降的顶针，被烘烤的、表面涂敷有保护材料的晶片放置在顶针上、随顶针升降；在晶片的上方设有上下升降的上部加热盘；方法为利用上、下部加热盘对位于两者中间的晶片进行加热烘烤，使晶片上的涂敷保护材料上下均匀受热，即可避免晶片在烧烤的过程中发生翘曲。本发明烘烤装置结构简单，方法简单实用，通过在晶片的上下两面分别设置加热盘，对晶片进行上下烘烤，避免了晶片翘曲现象的发生。

摘要：

摘要：本发明涉及芯片制造加工前将基片对位的机械结构，具体的说是一种方形基片和圆形基片兼容的定位结构，包括驱动部、旋转轴及旋转摆臂，其中旋转摆臂通过旋转轴与驱动部相连，由驱动部驱动绕所述旋转轴转动；所述旋转摆臂上安装有多个用于定位不同规格方形基片或圆形基片的定位销，所述旋转摆臂分为多段，相邻两段之间的接合处及最后一段的端部分别安装有定位销，所述不同规格方形基片或圆形基片通过至少两个定位销定位。本发明结构简单，放置摆臂动作简单、控制方便，适用于不同形状规格基片的定位，并且定位准确。

摘要：本发明属于化学药液喷洒工艺技术领域，具体地说是一种瀑布式显影喷嘴。包括分液管道、缓冲槽及瀑布成型柱，其中缓冲槽的一端设有开口，所述瀑布成型柱设置于缓冲槽的开口处、并与缓冲槽抵接，所述瀑布成型柱的高度低于缓冲槽的高度，所述分液管道的一端插设于缓冲槽内，另一端与设置于缓冲槽外部的显影液压力供应装置连接，所述显影液压力供应装置将显影液通过分液管道输送至缓冲槽内，当缓冲槽内的显影液液面高度高于瀑布成型柱的高度时，显影液沿瀑布成型柱的外表面流出。本发明药液供应流量大而喷洒冲击力小，显影液布满晶片时间短，药液喷洒连续，喷嘴可以方便清洗，吹干。

摘要：为了解决现有的监控方案不能对监测实验室设备是否出故障进行实时监控，并难以对故障进行定位的问题，本发明提供了一种用于实验室设备的电流和电压的大数据分析构架，包括：数据采集终端，数据存储模块，处理模块，接口模块，系统管理模块。本发明提供的构架可以根据实验室的电流和电压数据对实验室设备是否正常工作进行监控，并可以对出现故障的设备进行定位，有效提高了对实验室设备的监控水平。

摘要：本发明提供一种用于蜂鸣器的振荡电路，包括电阻网络模块、熔丝网络模块、电流镜模块、比较器组、电容模块组、逻辑控制电路模块。其中，所述电阻网络模块的第一输出端电性连接在所述电流镜模块上，所述电流镜模块的输出端电性连接在所述电容模块组上，所述电容模块组的输出端电性连接在所述比较器组上。所述比较器组的输出端电性连接在所述逻辑控制电路模块上，所述电阻网络模块的第二输出端电性连接在所述比较器组上，所述熔丝网络模块的一端连接在所述电阻网络模块上且另一端连接在所述电流镜模块上。本发明采用熔丝网络模块来调节振荡器频率，比较器参考电压与电容充电电流同比例随电源变化，使振荡频率随电源电压变化小，且成本低。

摘要：本发明提供一种蜂鸣器驱动电路，包括稳压电路、熔丝网络、RC振荡器、分频器、驱动NMOS管、续流器件、外接电容。其中，熔丝网络、RC振荡器、分频器的供电端均通过稳压电路连接到电源上，熔丝网络的输出端连接到RC振荡器上，RC振荡器的输出端连接到分频器上，分频器的输出端连接到驱动NMOS管的栅极上，驱动NMOS管的源极接地且漏极通过续流器件连接到电源上，外接电容的一端接地且另一端接电源，本驱动电路的输出端连接到驱动NMOS管的漏极。本发明使RC振荡器的振荡频率稳定性得到大幅度提升，驱动NMOS管驱动电流比较稳定，并使得电路大多数逻辑电路得到了避免了电源过大波动而烧毁，有利于防止电源线与地线接反时烧毁芯片。