摘要：本发明公开了基于双层透镜结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性透镜和硅基上的固定透镜组成的双层透镜结构，柔性透镜与硅基上固定透镜之间留有足够空气腔，当有风流过时,根据伯努利效应,柔性透镜向固定透镜移动,自柔性透镜上方垂直照射宽波长光波,可根据反射波的波长测量风速大小。本发明依据伯努利效应及光学效应实现了非侵入式测量，无需引线，同时也降低了传感器的功率。

摘要：本发明涉及微电子机械系统技术领域，具体为一种基于双金属片的可重构热式风速风向传感器，包括柔性材料衬底，所述柔性材料衬底的中部固定连接有风速风向检测电路，所述风速风向检测电路包括与其一体成型的多个检测电阻，多个所述检测电阻裸露在柔性材料衬底外部，所述柔性材料衬底内固定连接有热双金属片，所述柔性材料衬底内设置有隔热层。本发明，利用柔性材料形状可变的特性与双金属片随温度变化发生形变的特性，实现对风速风向检测电路立体程度的控制，既利用电路结构立体化提升了检测的灵敏度，又利用两层金属片弯曲程度随温度变化的特性实现了对量程的连续控制；同时制备方法简单，成本低，可行性高。

摘要：本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的相位检测器及检测方法，该相位检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置；该方法包括如下步骤：在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）加载直流偏置时，固支梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，待测微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的测量。本发明体积较小，结构简单，易于测量。

摘要：本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器，该频率检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，设置在源极（2）和漏极（3）之间栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的悬臂梁（6）。检测方法包括当在下拉电极（8）和悬臂梁（6）之间加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，通过第一压焊块（12）加悬臂梁（6）上的待测微波信号加载到的栅极（4）上，经过一个电容和滤波器之后，通过检测源极（2）和漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的检测。本发明结构简单，易于测量。

摘要：本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法，该频率检测器包括功率分配器（PD）、移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管，功率分配器，用于接收待侧微波信号，并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号。本发明提供的检测方法包括如下步骤，当在下拉电极（8）加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，两路微波信号同时加载到栅极（4）上，从而改变源极（2）漏极（3）之间的饱和电流大小；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明低直流功耗，易测量。

摘要：本发明公开了一种基于微机械砷化镓基固支梁的频率检测器及检测方法，该频率检测器包括功率分配器（PD）、90度移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管，功率分配器，用于接收待侧微波信号，并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号，即第一路微波信号和第二路微波信号，并分别输出给砷化镓金属半导体场效应管和90度移相器。该方法包括如下步骤，当在第一下拉电极（81）和第二下拉电极（82）加载直流偏置时，固支梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，两路微波信号同时加载到栅极（4）上；通过一个电容和滤波器之后，检测源极（2）漏极（3）饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明结构简单。

摘要：本发明提供了一种用于传感器加热元件的双模控温电路及控制方法，属于传感器加热元件技术领域。其技术方案为：一种用于传感器加热元件的双模控温电路，包括工况传感电路、数字控制电路、模拟控制电路、模式切换电路和双模式电流控制加热电路。本发明的有益效果为：本发明通过两种控制电路的自切换，实现高效率、低噪声、可远程调节的加热元件控温。

摘要：本发明涉及MEMS器件封装技术领域，尤其是一种MEMS风速风向传感器的封装方法，包括如下步骤，将芯片阵列粘接在刚性基板上；芯片衬底之间填充塑封材料；去除刚性基板；对芯片阵列进行切割成单个的塑封成型芯片；塑封成型芯片上粘接软边带；连接软边带与芯片的金属引脚；粘接盖板将芯片封装在盖板中。本发明通过用塑封基板来代替传统封装中的陶瓷基板，可以有效降低器件的功耗。利用激光划片或机械划片来对芯片阵列进行切割，使芯片位于塑封基板的中心位置，能够减小芯片的偏移，使得测量结果更为精确。

摘要：本发明公开了一种基于LC谐振电路的风速传感器及其制备方法，风速传感器为两个柔性电感与电容组成的串联谐振电路结构，双层柔性电感位于传感器的上下两面，且分别连接平板电容的上下极板构成LC串联谐振电路，双层电感的另一端分别连接测试端口，结构轻便，响应速度快，利用电感弯曲效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。

摘要：本发明公开了一种基于柔性电感结构的无源无线风速传感器，包括读数端和传感器端；传感器端包括第一平面螺旋电感和第二平面螺旋电感；第一平面螺旋电感为柔性平面螺旋电感，并固定在受风形变的柔性基底表面；第二平面螺旋电感所在的基底受风不发生形变，第一平面螺旋电感和第二平面螺旋电感形成串联回路；读数端包括第三平面螺旋电感，第三平面螺旋电感与第二平面螺旋电感保持近磁场耦合，第三平面螺旋电感的输出端连接LCR测试仪。本发明实现了基于互感电路原理的能量信息无线传输与风速测量，解决了现有风速传感器由于需要电池和走线无法满足物联网技术中小型化、高能效、适用环境灵活等应用需求的技术问题。