摘要：本发明提供了一种沉积装置，包括气体反应腔、尾气排出管和排堵进气管，其中，所述尾气排出管与所述气体反应腔连接，所述排堵进气管位于所述尾气排出管的侧壁，且与所述尾气排出管贯通。本发明沉积装置中的尾气排出管不易发生堵塞，提高了沉积装置的正常工作时间，且由于无需持续对尾气排出管进行保温，能够节省资源，降低成本。

摘要：一种直立式沉积炉管，包括：外管、多分支腔体、气体输入管、尾气排出管和保温层；所述外管的一端具有开口，另一端封闭；所述多分支腔体与所述外管具有开口的一端连接，所述多分支腔体的侧壁上设置有安装通孔，用于安装所述气体输入管和尾气排出管；所述保温层位于所述多分支腔体的内壁上，所述保温层上设置有与所述安装通孔相对应的孔洞，适于所述气体输入管和尾气排出管通过所述安装通孔和孔洞延伸至所述气体反应腔。本发明通过在多分支腔体内壁上设置保温层来提高直立式沉积炉管的保温性，进而提高通过直立式沉积炉管所形成薄膜的均匀性。

摘要：本发明提供一种报文分片方法及装置，其中，所述方法包括以下步骤：获取报文长度L及出口最大传输单元M；确定报文分片的个数N，所述报文分片的个数N等于L除以M的商向上取整；确定报文分片长度，所述报文分片长度等于L除以N的商取整；对报文进行分片处理。本发明通过改进分片方式，让报文在分片的时候能平均分片，这样每个分片长度都会小于MTU，在之后添加隧道首部或者经过更小MTU的链路时不需要再分片，减少了报文分片的次数和分片的数量，进而提高分片重组的速度和成功率，降低了业务的时延，提高了业务的可靠性。

摘要：本发明提供了一种改善闪存高温氧化处理的方法，包括：将晶圆从用于放置和传输晶圆盒的设备传递至炉体内的反应腔体；将炉体连接至气体集成系统，并且利用导管将炉体连接至与气体集成系统相连的抽真空泵；在炉体内的反应腔体对晶圆执行高温氧化处理，其中气体集成系统用于控制反应腔体内的工艺气体，并且其中开启抽真空泵以便在高温氧化处理的过程中对炉体进行抽真空。在根据本发明的改善闪存高温氧化处理的方法中，通过外加真空排气功能减少环境中氯离子的残留，有效地改善闪存产品的良率。

摘要：一种闪存的形成方法，包括：提供工作台，其包括：反应室、及设有可打开保护盖的晶圆装载卸载室，反应室具有排气口、与排气口连接的管道、和管道连接的泵，管道上设有位于排气口下游、位于泵上游的控制阀，保护盖在打开状态下，反应室和晶圆装载卸载室直接相通；利用高温热氧化方法在形成有闪存栅极的晶圆上形成覆盖晶圆及栅极的氧化硅层，包括：向反应室内通入反应气体，控制阀和泵处于第一开启状态，以控制反应室内的压力，反应气体包括氧源气体和含氯硅源气体；形成氧化硅层之后，打开保护盖，使控制阀和泵处于第二开启状态，将晶圆由反应室搬送至晶圆装载卸载室。解决了现有闪存的数据保持力及耐久力性能不佳的问题。

摘要：本发明公开一种用于防御MACsec的重放窗口重放攻击的方法及装置，该方法包括以下内容：比较接收到的报文PN；若PN＜lowestPN，则该报文认定为重放攻击报文，对重放攻击报文进行处理；若lowestPN≤PN＜nextPN，则对该报文PN状态进行检查，利用重放窗口PN状态表查看PN是否已经被接收过，若被接收过，则认定为重放攻击报文；若没有接收过，则设置重放窗口PN状态表中对应PN的状态为已被接收，将该报文按正常报文处理；若PN≥nextPN，则重放窗口更新，并同步更新重放窗口PN状态表，将该报文按正常报文处理。本发明通过记录重放窗口中所有报文PN的接收状态，只让每个PN的第一个报文通过重放攻击检查，把之后相同PN的报文识别为重放攻击报文，可以有效防御针对重放窗口的重放攻击行为。

摘要：本发明公开一种修正OAM被动模式实体发现过程状态的方法和系统，该方法包括如下步骤：S1：远端OAM模式记录，在接收到远端的OAM信息帧时，记录远端的OAM模式到remote_oam_mode变量中；S2：OAM状态机修正，通过使用记录的remote_oam_mode变量，在链路两端都是被动模式实体时，进入PASSIVE_WAIT状态。本发明为被动模式的OAM实体提供一致的最终状态，当链路两端都是被动模式实体时，都进入PASSIVE_WAIT状态，链路上不再有OAM帧，从而为OAM管理操作提供一致的预期，方便管理维护。

摘要：本发明公开了一种降低点对点物理链路层级的CCM报文流量的方法和装置，该方法包括：S1：在发送方向上，记录各端口上最近发送以太帧的时间last_send_time和是否发送过帧的标记had_sent；S2：MEP CC生成器状态机按照CCM的配置周期生成CCM报文，循环进入CCI_WAITING状态，在CCM发送定时器CCIwhile超时时，根据端口上记录的had_sent和last_send_time对CCIwhile进行更新，维持CCI_WAITING状态；S3：在接收方向上，记录各端口上最近接收到以太帧的时间last_receive_time和是否接收过帧的标记had_received；S4：RMEP状态机决策CFM实例是否发出告警，修改REMP_OK状态，在CCM超时定时器rMEPwhile超时时，根据端口上记录的had_received和last_receive_time对rMEPwhile进行更新，维持REMP_OK状态。

摘要：本发明公开了一种利用氢氟酸生产装置中含氟尾气生产精制氟硅酸的方法，包括以下几个步骤：(1)尾气进入1#吸收塔，经循环吸收液对尾气中SO₃进行循环吸收，当H₂SO₄含量达到一定值后将循环吸收液送入混酸槽；(2)经1#吸收塔吸收的尾气进入2#吸收塔，经循环吸收液进行循环吸收，直至H₂SiF₆含量＞40％、硫酸含量＜500PPm再送入精制氟硅酸槽；(3)经2#吸收塔的尾气进入3#吸收塔，经循环吸收液进行循环吸收，H₂SiF₆达到一定浓度后的循环吸收液返回到2#吸收塔继续吸收至产品合格，尾气达标放空；解决了堵塞问题；具有生产工艺简单、故障率低、回收率高、产品质量好、达标排放等优点。

摘要：本发明涉及时间敏感网络技术领域，具体涉及一种降低时间敏感帧转发时延的方法、装置及设备。包括获取帧分片配置参数、时间敏感帧和正在发送的目标数据帧；根据帧分片配置参数设定帧分片的最小字节数和尾帧的最小字节数；判断目标数据帧已发送的字节数和剩余字节数是否分别满足帧分片的最小字节数和尾帧的最小字节数；在目标数据帧已发送的字节数满足帧分片的最小字节数且剩余字节数满足尾帧的最小字节数时，对目标数据帧进行帧分片处理；在目标数据帧分片处理后，进行时间敏感帧的发送；在时间敏感帧发送完毕后，发送目标数据帧的剩余数据。本发明可以根据需求设定帧分片最小字节数和尾帧最小字节数，以有效降低时间敏感帧的发送时延。