摘要：本发明公开一种电感耦合等离子体蚀刻装置，包括：反应腔室，具有接受气体源的内部空间；上线圈单元，为反应腔室内部空间激发电场，凭借电场从气体源形成电感耦合等离子体；装载单元，和上线圈单元相对，配置着由电感耦合等离子体蚀刻的被蚀刻体；及，下电极部，设于装载单元的下侧，把构成电感耦合等离子体并参与蚀刻的离子及中性自由基中的至少某一个往配置在装载单元的被蚀刻体方向诱导；下电极部的频率低于上线圈单元的频率。而且还提供下述方法，即，把其频率低于施加到上线圈单元的频率的电源施加到下电极，从而利用电感耦合等离子体蚀刻装置把用掩膜物质图案化了的被蚀刻体予以垂直蚀刻。

摘要：一种系统包括：处理器；以及存储指令的存储器，所述指令在由处理器执行时将处理器配置成：基于当前驾驶和环境状况来估计车辆的转向系统的齿条力；以及估计车辆的转向系统的致动器的健康状况。所述指令将处理器配置成：基于估计的齿条力和致动器的估计的健康状况来估计转向系统的致动器的最大可实现角度、速度和加速度。所述指令将处理器配置成：基于转向系统的致动器的估计的最大可实现角度、速度和加速度向转向系统提供为车辆规划的路径。

摘要：本发明涉及一种聚酰胺/累托石纳米复合材料的母料及其制备方法，属于有机高分子复合材料领域。按质量份数取有机累托石20～80，聚酰胺20～80，抗氧剂0.1～1.0，经双螺杆挤出机熔融混炼挤出、冷却、切粒制成。本母料与聚酰胺基体树脂相容性好，利于累托石剥离并均匀分散于基体中，形成聚酰胺/累托石纳米复合材料。本母料最显著的特点是能提高聚合物的拉伸强度、弯曲强度及弹性模量，并能使冲击强度基本不变或有所增加，达到既增强、增刚又保韧的目的。本母料还能明显提高聚合物的热变形温度、气体阻隔性、阻燃性及抗紫外线性能。本母料可广泛应用于制备各种聚酰胺纳米复合材料，适于塑料、橡胶和纤维的改性与加工。本发明方法简便、易工业化生产。

摘要：公开了一种用于在无线通信系统中发送和接收数据的方法及其设备。更具体地，本发明提供了一种用于在无线通信系统中发送下行链路数据的方法，该方法可以包括：由eNB根据基于第一传输时间间隔(TTI)的无线电帧结构将第一下行链路数据映射到物理下行链路共享信道(PDSCH)区域；由所述eNB根据基于第二TTI的无线电帧结构将第二下行链路数据映射到短PDSCH(sPDSCH)区域；以及由所述eNB发送所述第一下行链路数据和所述第二下行链路数据。

摘要：本发明涉及支持全双工无线电(FDR)传输环境的无线接入系统。根据本发明的实施例的用于在支持FDR的无线通信系统中终端测量干扰的方法包括下述步骤：在测量子帧处接收干扰测量资源；以及基于从邻近终端发送的干扰参考信号在干扰测量资源处测量来自于邻近终端的干扰。另外，在干扰测量资源中，不发送数据或者以零功率被发送数据。

摘要：本发明涉及具有增强的声吸收和减小的阻力特性的声衬。一种声衬可包括具有谐振单元的阵列的声芯，以及横跨谐振单元的阵列而设置的声屏障。谐振单元包括多个单元壁和由多个单元壁限定的谐振空间。声芯可包括折叠的声芯。另外或在备选方案中，谐振单元中的至少一些可包括斜多面体蜂窝结构和/或多个声音衰减突起。声屏障可包括网状膜和支承网格。