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发明专利:1577实用新型: 990外观设计: 80
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申请号:202411622740.9 公开号:CN119480798A 主分类号:H01L21/768
申请人:上海华力集成电路制造有限公司 申请日:2024.11.13 公开日:2025.02.18
发明人:查斌
摘要:本申请公开了一种改善粘合层残留问题的方法,包括:提供一衬底,衬底上由下至上依次形成有氮化硅层和增强等离子体氧化层;通过光刻和刻蚀工艺,在增强等离子体氧化层边缘形成通孔零层,通孔零层贯通部分氮化硅层;沉积粘合层,粘合层覆盖增强等离子体氧化层以及露出的氮化硅层;采用晶边去边成膜的方式,在粘合层上形成金属层;采用湿法刻蚀工艺,去除边缘的未被金属层覆盖的粘合层;进行化学机械抛光工艺,直到剩余的增强等离子体氧化层的厚度达到目标厚度。本申请通过上述方案,能够解决相关技术中晶圆边缘部分的粘合层在化学机械抛光工程中脱落影响晶圆性能问题。
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申请号:202411546938.3 公开号:CN119421441A 主分类号:H10D30/01
申请人:上海华力集成电路制造有限公司 申请日:2024.10.31 公开日:2025.02.11
发明人:查斌
摘要:本申请提供一种半导体器件的制备方法,其中在制备方法中,在去除用于对栅极结构进行离子注入的图案化的第一光刻胶层之后,采用酸洗工序和碱洗工序清洗半导体结构,以去除半导体结构表面的自然氧化层,其中,在酸洗工序中,使用氢氟酸溶液清洗半导体结构的正面以及使用去离子水清洗半导体结构的背面,本申请通过使用去离子水清洗半导体结构的背面,可以避免衬底背面的背部介质层接触氢氟酸溶液,从而避免了当层晶圆在接下来的光刻工艺中形成较多曝光坏点的情况,改善了后续金属零层通孔刻蚀的套刻精度,提高了器件的良率和可靠性,同时也避免了衬底背面的背部介质层剥离进而掉下来污染和/或砸坏下层的晶圆正面的情况。
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申请号:201210296293.3 公开号:CN103630237A 主分类号:G01J3/04(2006.01)I
申请人:苏州生物医学工程技术研究所 申请日:2012.08.20 公开日:2014.03.12
发明人:查卿;刘斌
摘要:本发明公开了一种具有反馈功能的电动精密可调狭缝装置,包括偏心轮驱动系统,柔性铰链执行系统,传感器反馈系统和外壳,所述可调狭缝装置由步进电机连接谐波减速器通过膜片联轴器驱动偏心轮轴,所述偏心轮轴安装在偏心轮支座上,所述偏心轮轴中间安装有一个驱动轴承,所述驱动轴承的内圈由锁紧螺母锁定,所述偏心轮轴承与垂直驱动轴连接,所述垂直驱动轴通过垫片上放置的钢球间接接触柔性铰链,所述柔性铰链安装在底座上面,所述柔性铰链上安装有刀口组件及LVDT位移传感器。采用本发明技术方案,保证了所述装置的精度和通光性能,并且结构可靠,稳定性好,同时提高了精度、可靠性和减少了维护。
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申请号:201510381795.X 公开号:CN105088531A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.11.25
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种抗菌防辐射无纺布,所述的无纺布是由抗菌纳米金属纤维和纺织纤维通过纳米合成工艺复合在一起,其中,所述的纺织纤维占所述的无纺布的质量百分比的42%-47%,所述的抗菌纳米金属纤维占所述的无纺布的质量百分比的53%-57%。本发明纳米技术解决了传统孕妇防辐射材质的不舒服,通过改变钢粒子在纤维中的存在结构,在保持钢含量不变的前提下,让孕妇防辐射服的质地更柔软,穿着更舒适。
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申请号:201510383248.5 公开号:CN105029795A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.11.11
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种防水无纺布,包括基层、涂布在基层上表面的树脂层以及粘结在基布下表面的下层,所述基层由聚酯纤维、玻璃纤维和碳纤维相互交错压制而成,所述下层为高密度聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯和助剂共混物形成的薄膜层。本发明具有高强力、高抗氧化、高强度的性能,特别是具有极强的抗老化及防水性能,适合做大棚保温被用。
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申请号:201510387416.8 公开号:CN105040448A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.11.11
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种易分解阻燃调温环保型无纺布及其制备方法,其按下述质量份数的原料制备而成,聚丙烯2000份、偶联剂5-10份、硅油5-10份、纳米阻燃剂1-5份、载体树脂3-8份、相变调温元素50-100份、高纯水适量。本发明采用易分解且制造成本低廉的材料制成环保型无纺布,在阻燃剂中合理混合有相变调温元素,和其它辅助剂搭配混合制成浆液,直接采用喷涂的方式,在布体上,形成良好的阻燃调温无纺布。
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申请号:201510386920.6 公开号:CN105019140A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.11.04
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种复合防辐射无纺布,包括上层、防辐射层和下层,所述防辐射层位于上层与下层之间,所述防辐射层与上层和下层之间采用热粘胶粘合而成,所述上层由甲克素纤维制成,所述防辐射层由银纤维和纺织纤维互溶构成,所述上层采用涤纶短纤维制成。本发明克服了现有技术的不足,将具有防辐射层的材料,两面分别设置上层和下层,将防辐射的银纤维面料进行保护起来,使其长期具有辐射保护能力,其制作工艺简单,便于大批量生产。
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申请号:201510381565.3 公开号:CN104963095A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.10.07
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种可降解的阻燃植物纤维无纺布的制备方法,包括以下步骤,将6~8重量份硼酸锌、35~40重量份黄麻、40~50重量份小麦秸秆纤维、5~10重量份竹纤维粉、3~8重量份沸石粉和5~10重量份谷糠依次经开包、混合开松后除尘除杂,再通过梳理机和气流成网机后得到网状物;将3~6重量份粘合剂、2~3重量份拒水剂和80~90重量份水混合,得到浸渍液;将所述网状物浸入所述浸渍液中粘合成膜,得到预制膜;将所述预制膜烘燥定型。本发明制备方法的制备方法,工艺简单,制备的植物纤维无纺布可降解。
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申请号:201510381613.9 公开号:CN104963090A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.10.07
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种防辐射无纺布,所述的无纺布是由银纤维和纺织纤维构成,所述银纤维通过脱敏处理后,经过脱敏处理的银以离子状态聚合,银离子可牢固的与纺织纤维复合在一起,其中所述的纺织纤维占所述的无纺布的质量百分比的53%-57%,所述的银纤维占所述的无纺布的质量百分比的43%-47%。本发明克服了现有技术的不足,让银以离子状态聚合,实现了银离子的稳定附着,脱敏处理后的银离子可以更牢固的和纤维质结合,而且不易被氧化,优化了稳定性的银纤维面料不仅具备的长期的辐射保护能力,更重要的目的还在于更适合人体贴身穿着。
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申请号:201510386900.9 公开号:CN104963202A 主分类号:
申请人:怀宁县鑫源无纺布有限公司 申请日:2015.06.30 公开日:2015.10.07
发明人:查导斌
摘要:本发明公开了一种防水防油、抗静电无纺布的生产方法,包括基材层和树脂层,基材层由无纺布基材进行功能性后整理,后整理工艺为:采用浸渍法将无纺布坯布置于浸渍液中浸渍,再经过轧辊压轧、烘箱干燥,制得成品,或采用喷淋法将喷淋液喷洒到无纺布坯布表面,再经过烘箱干燥,制得成品,所述浸渍液或喷淋液包括以下原料按质量份数。本发明生产的产品防水防油、抗静电无纺布具有耐水压保持率高、环境友好型的特点,可广泛应用于医疗、卫生、过滤、工业、餐饮业等领域。
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