摘要：本发明提供了一种直流开关耗能支路避雷器电寿命预测的方法和系统，包括：通过分压器获取直流开关耗能支路上避雷器的动作次数、当前动作时避雷器的两端电压差和动作时间；根据当前动作时避雷器的动作时间和额定动作时间之差，计算当前动作时避雷器的动作时间偏差；基于所述避雷器的动作次数和所述当前动作时避雷器的动作时间偏差，预估当前动作后避雷器的剩余动作次数，作为避雷器在当前动作后电寿命的预测结果；本发明能够时刻监测直流开关耗能支路上避雷器的运行状态，及时发现异常的避雷器，为预防性工作提供指导。通过本发明提供的数据能够及时更换异常的避雷器，维持直流开关的正常开断性能和电气寿命，保证设备正常工作和系统安全运行。

摘要：本发明涉及一种线宽均匀性的测试方法，包括以下步骤：在光刻版上形成线宽设计值为目标值的k个线宽测试图形；遍测k个线宽测试图形在光刻版上的线宽实际值；计算k个线宽测试图形的线宽实际值与对应的目标值的差值；将k个线宽测试图形光刻到圆片上；测试圆片上k个线宽测试图形的线宽真实值；根据k个线宽测试图形的线宽值和线宽真实值计算MEEF校验值，线宽值是目标值或线宽实际值；计算k个差值与MEEF校验值的乘积，得到对应的k个补偿值；计算圆片上的k个线宽测试图形的线宽真实值与对应的k个补偿值之和，得到k个线宽最终值，作为评价线宽均匀性的数据。本发明通过计算MEEF校验值，得到补偿制版误差的补偿值，从而消除了制版误差。

摘要：本发明涉及一种线宽均匀性的测试方法，包括以下步骤：在光刻版上形成线宽设计值为目标值A1、A2、......、Ak的k个线宽测试图形，同时形成至少k个修正图形，每一个线宽测试图形至少有一个相对应的修正图形，修正图形的线宽设计值略大于或小于相对应的线宽测试图形的目标值；遍测线宽测试图形和修正图形在光刻版上的线宽实际值；在每一个线宽测试图形以及相对应的修正图形中，挑选出线宽实际值与目标值最接近的图形，作为对应图形；将对应图形光刻到圆片上；测试圆片上的对应图形的线宽，作为评价线宽均匀性的数据。本发明消除了制版误差，得到的线宽均匀性数据能够真实反映光刻机镜头性能。

摘要：本发明涉及一种光刻胶喷涂装置及其方法。本发明提供一种喷涂光刻胶的方法，包括步骤：(a)将需要喷涂光刻胶的圆片置放在圆片承载台上；(b)将有机溶剂喷嘴移至圆片中心上方，保持圆片静止，喷出雾状有机溶剂覆盖整片圆片，然后甩干圆片；(c)继续喷出雾状有机溶剂覆盖整片圆片，并在圆片表面形成一薄层的有机溶剂膜；(d)将长度较短的光刻胶喷嘴移到圆片边缘，转动圆片一周，该光刻胶喷嘴喷出的光刻胶涂布在圆片最边缘；(e)再次转动圆片一周，同时长度较长的光刻胶喷嘴喷出光刻胶涂布在圆片内侧；(f)在光刻胶中的溶剂挥发固化后，将有机溶剂喷嘴移到圆片边缘，喷出非雾状流体溶剂清洗圆片边缘外侧的光刻胶。该方法可以降低光刻胶的用量，且能保证圆片膜厚均匀。

摘要：本发明提供了一种套刻规范验证方法，其中，包括以下步骤：第一步、维持优化参数中的X/Y方向偏移量不变，在曝光时额外加入旋转偏移量，正交偏移量，X/Y方向伸缩偏移量，使同一片圆片不同的位置得到的第二层次相对于第一层次的偏差不一致；第二步、控制额外加入的参数的数值，得到套刻验证所需要的偏移范围；第三步、根据偏移范围验证出产品的套刻规范。与现有技术相比，本发明的有益效果是：只使用一片圆片，减少成本及工作量；且该圆片不受后续同一工艺多设备多腔体的影响，保证了套刻规范验证的准确性。

摘要：本发明提供了一种光刻控制方法，其中，包括以下步骤：第一步、采集在光刻过程中圆片数据；第二步、进行SPC分析；第三步、若符合控制规范，则继续光刻作业，若不符合控制规范，则自动停止当前光刻作业。与现有技术相比，本发明的有益效果是：及时发现不合格圆片，保证生产质量。

摘要：本发明属于材料化学技术领域，提供了一种羟基化氮化硼的制备方法：纳米氮化硼和氢氧化钠隔氧加热至氢氧化钠熔融状态进行热处理，获得中间体；将中间体分散在水中进行水热反应，获得羟基化氮化硼。本发明提供的羟基化氮化硼制备方法，反应条件方便控制，需要的设备比较简单；反应无需有机溶剂、环境污染少，制备过程全程绿色环保；本发明获得的羟基化氮化硼纳米片仍保持原有的微观结构，且具有优异的水溶性。解决了羟基化氮化硼纳米片水分散液不稳定的问题。

摘要：本发明公开了一种基于零信任的配电边缘物联网智能终端多因子信任评估系统，所述系统包括云服务器层、边缘层、物联终端层；所述云服务器层作为数据中心，能够通过通信网与边缘层中的边缘物联代理服务器进行交互，提供边缘物联代理所需的服务，并对边缘物联代理进行身份认证；所述边缘层中包括一个或多个边缘物联代理服务器，所述边缘物联代理服务器中设置有零信任引擎；所述物联终端层是指接入配电物联网的智能终端，所述智能终端上部署有零信任客户端，所述智能终端能够通过所述零信任客户端与所在区域的边缘物联代理服务器进行交互，并提交访问请求。本发明还公开了一种基于零信任的配电边缘物联网智能终端多因子信任评估方法、应用。

摘要：本发明涉及一种农电系统数据指标终端智能检索的交互方法，该方法包括对于管理决策者和数据维护人员来分析；该方法对于管理决策者来说包括下述步骤：A、数据的检索；B、用户交互；该方法对于数据维护人员来讲包括下述步骤：a、数据识别；b、数据维护快速定位；本发明提供的方法很好的解决用户在农电系统应用中各类指标信息展现、数据快速获取方面的问题，达到简化用户操作，提高工作效率的目的。

摘要：本发明提供一种农电电能质量信息系统动态功能菜单交互方法，主要是将业务信息系统以菜单形式展示，在进行各类问题的处理过程中，对菜单进行实时检查，对菜单进行实时优化与屏蔽，给用户展现的界面是动态变化菜单，发生问题，出现菜单；解决问题，菜单消失；并结合现状拓扑结构图进行实时决策分析。该方法只需在数据库中维护部分关键值信息，即可实现动态菜单的维护；比较适合电能质量分析等业务分析过程的展现，可以根据业务数据进行实时计算，进行关键比对，从而得到菜单显隐指令，控制菜单的快速实时显示与屏蔽。为用户提供针对现状拓扑的实时定位及菜单功能的动态展现，有效甄别各项功能的使用，简化用户操作，提高工作效率。