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实用新型:
1352
外观设计:
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1:
[发明]
一种玻璃钢太阳能热水器内胆
申请号:
200710192267.5
公开号:CN101469908 主分类号:F24J2/46(2006.01)I
申请人:
如皋市友好太阳能热水器厂
申请日:2007.12.24 公开日:2009.07.01
发明人:
沈新春
摘要:本发明公开了一种玻璃钢太阳能热水器内胆,所述内胆为玻纤织物曲绕成完全密封的筒状,与树脂固化而成。以上材料所成的内胆牢固、抗腐蚀性强,且由于玻璃钢具有一定的强度,在水箱放水时,不容易吸瘪,使用寿命长。
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2:
[发明]
一种压缩型花生酥糖及其生产方法
申请号:
200710190031.8
公开号:CN101438756 主分类号:A23G3/48(2006.01)I
申请人:
如皋市友好太阳能热水器厂
申请日:2007.11.19 公开日:2009.05.27
发明人:
沈新春
摘要:本发明公开了一种压缩型花生酥糖及其生产方法,以花生、糖为原料,按100g花生称量,糖的含量为300-500g,它包括花生的预处理、干炒、花生米的去皮、斩切、装模再浇糖等工艺实现花生酥成品。本花生酥糖具有花生米的香、好吃的特点,别有风味,且易嚼食,易消化;适合各年龄阶层人享用。
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3:
[发明]
一种由红薯制作糕饼的方法
申请号:
200710190032.2
公开号:CN101438723 主分类号:A21D13/08(2006.01)I
申请人:
如皋市友好太阳能热水器厂
申请日:2007.11.19 公开日:2009.05.27
发明人:
沈新春
摘要:本发明公开了一种由红薯制作糕饼的方法,以红薯、面粉为原料、水果类、干果类、香精类、盐、姜、味精为馅料,按100g红薯计算,水果类含量为50-70g,干果类含量为20-30g,香精类含量为10-20g,盐含量为8-10g,姜含量为6-8g,味精含量为5-8g。经过预处理、蒸煮、拌料、夹料、糊面粉、油炸等步骤制得。红薯为粗纤维杂粮加之水果,干果类添加到饼中,以增加维生素和果蔬纤维的含量;口感松脆,适合各年龄阶层人食用。
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4:
[发明]
电涡流传感器
申请号:
201010598232.3
公开号:CN102022971A 主分类号:G01B7/06(2006.01)I
申请人:
清华大学
申请日:2010.12.21 公开日:2011.04.20
发明人:
路新春
;
沈攀
摘要:本发明公开了一种电涡流传感器,所述电涡流传感器包括磁芯,所述磁芯的垂直于磁芯高度方向的截面为矩形截面;和线圈,所述线圈沿所述矩形截面的周向缠绕在所述磁芯的外周壁上。根据本发明实施例的电涡流传感器同时高灵敏度和高径向分辨率,其较大的探测区域可以包含更多的芯片图案和特征,这样就缩小了因芯片图案密度变化所带来的方差,从而使硅片膜厚度的测量更为精确。
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5:
[发明]
用于测量硅片的膜厚度的测量装置
申请号:
201110062594.5
公开号:CN102183198A 主分类号:G01B7/06(2006.01)I
申请人:
清华大学
申请日:2011.03.15 公开日:2011.09.14
发明人:
路新春
;
沈攀
摘要:本发明公开了一种用于测量硅片的膜厚度的测量装置,包括位置速度传感器,位置速度传感器沿纵向线性排列成第一和第二位置速度传感器阵列,第一和第二位置速度传感器阵列在横向上彼此间隔开,第一位置速度传感器阵列中的位置速度传感器在横向上分别与第二位置速度传感器阵列中的位置速度传感器一一对应;电涡流传感器,电涡流传感器位于第一位置速度传感器阵列与第二位置速度传感器阵列之间的垂直于横向的对称平面内;和控制器,控制器分别与位置速度传感器和电涡流传感器相连用于根据位置速度传感器和电涡流传感器的检测信号控制膜厚的测量。根据本发明实施例的测量装置可以实现硅片全局膜厚度的精确测量。
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6:
[发明]
化学机械抛光设备
申请号:
201110143089.3
公开号:CN102211311A 主分类号:B24B37/00(2006.01)I
申请人:
清华大学
申请日:2011.05.30 公开日:2011.10.12
发明人:
路新春
;
沈攀
摘要:本发明公开了一种化学机械抛光设备,所述化学机械抛光设备包括:多个化学机械抛光机,所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆;机械手,所述机械手用于搬运晶圆;和过渡装置,所述过渡装置用于放置晶圆,其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。根据本发明实施例的化学机械抛光设备具有工作效率高的优点。
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7:
[发明]
利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法
申请号:
201110143287.X
公开号:CN102240927A 主分类号:B24B1/00(2006.01)I
申请人:
清华大学
申请日:2011.05.30 公开日:2011.11.16
发明人:
路新春
;
沈攀
摘要:本发明公开了一种利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法,所述化学机械抛光设备包括多个化学机械抛光机、机械手和过渡装置,其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置,所述方法包括以下步骤:A)通过所述机械手将所述过渡装置上的晶圆搬运到所述多个化学机械抛光机中的至少一个上以便利用所述多个化学机械抛光机对晶圆进行抛光;B)通过所述机械手将抛光后的晶圆搬运到所述过渡装置上;和C)重复步骤A)和B)直到完成所有晶圆的抛光。根据本发明实施例的利用化学机械抛光设备进行化学机械抛光的方法具有晶圆传输距离短、晶圆传输时间短和工作效率高的优点。
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8:
[发明]
用于控制修整器的气动控制回路和修整设备
申请号:
201110098287.2
公开号:CN102225534A 主分类号:B24B53/12(2006.01)I
申请人:
清华大学
申请日:2011.04.19 公开日:2011.10.26
发明人:
路新春
;
沈攀
摘要:本发明公开了一种用于控制修整器的气动控制回路和修整设备。所述用于控制修整器的气动控制回路包括正压控制支路、真空支路和切换阀。所述正压控制支路包括:减压阀,所述减压阀与气源相连;和第一控制阀,所述第一控制阀与所述减压阀相连用于选择性地断开和接通所述正压控制支路。所述真空支路包括真空产生装置。所述切换阀分别与所述正压控制支路和所述真空支路相连用于选择性地将所述正压控制支路和所述真空支路中的一个支路与所述修整器连通。根据本发明实施例的用于控制修整器的气动控制回路具有结构简单、便于控制的优点。
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9:
[发明]
晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法
申请号:
201710712141.X
公开号:CN107546145A 主分类号:H01L21/66(2006.01)I
申请人:
清华大学
;
天津华海清科机电科技有限公司
申请日:2017.08.18 公开日:2018.01.05
发明人:
沈攀
;
路新春
摘要:本发明公开了一种晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法,晶圆在位检测装置包括压力介质源、多个检测孔、压力检测器、流量控制器、压力控制器和控制器,压力介质源用于提供具有预定压力的介质;每个检测孔均通过管路与压力介质源相连;压力检测器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便检测管路中的压力;流量控制器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便调节管路中的流量;压力控制器设在管路上且位于压力介质源与多个检测孔之间以便调节管路中的压力;控制器与压力检测器相连以便根据压力检测器的压力检测值判断晶圆是否在位。根据本发明的晶圆在位检测装置具有分辨率高、稳定性高等优点。
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10:
[发明]
一种核桃大豆酸奶及其制备方法
申请号:
201810442746.6
公开号:CN108713594A 主分类号:A23C9/13(2006.01)I
申请人:
南京财经大学
申请日:2018.05.10 公开日:2018.10.30
发明人:
沈新春
;
孙璐
摘要:本发明公开了一种核桃大豆酸奶及其制备方法。所述核桃大豆酸奶是由核桃仁等配料经过发酵剂发酵得到的,其配方包括如下重量份数的原料,以1000重量份计:大豆80~150份,糖70~100份,核桃仁30~40份,稳定剂10~25份,牛奶90~100份,益智仁1~3份,远志4~5份,石菖蒲3~5,水余量。该核桃大豆酸奶以纯大豆作为原料,通过原料的复配组合,以对稳定剂的合理选择以及对制作工艺的掌控,可制出无豆腥味的大豆酸奶产品。该制作方法环保简单,该工艺的特点是加入了核桃仁,丰富了本发明的营养,且添加益智仁和远志两味
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