摘要：本发明目的在于提供能有效抑制擦伤发生的抛光垫和多层抛光垫。本发明的抛光垫，其特征在于其中具有在抛光面侧形成的、且从呈环状、格状和螺旋状中选出至少一种形状的沟(a)、凹部(b)和贯穿抛光垫表里的通孔(c)中的至少一个部位，该部位内表面的表面粗糙度(Ra)处于20μm以下，用于化学机械抛光。

摘要：本发明涉及一种抛光垫及制造半导体器件的方法。本发明公开的CMP中使用的抛光垫没有研磨料并且包括可形成微孔和/或凹坑部分的材料，二者均具有0.05μm到290μm范围的平均直径并且占据基于所述垫整个体积为0.1体积％到5体积％的区域(11)；以及有机材料(10)。

摘要：一种具有抛光层的抛光垫，该抛光层具有特定的组成并且在30℃的储存弹性模量与在60℃的储存弹性模量的比为2-15，在30℃的储存弹性模量与在90℃的储存弹性模量的比为4-20，其由聚氨酯或聚氨酯-脲制成。该抛光垫抑制了对被抛光的表面的刮擦并且有效地将表面平面化。具有含有水溶性颗粒的抛光层的抛光垫可以实现较高的去除速率。

摘要：提供在采样点间隔不均等的离散信号的再生中，可以进行平滑的信号再生的信号处理装置及信号处理方法。该装置具备：系数计算部(4)，输入表示采样点间隔不均等的离散信号E1的采样点的时间的采样点信号E2，求得对应于离散信号的采样函数的系数；和再生信号计算部(5)，其根据离散信号与系数计算部输出的所述系数值，计算并输出所述采样点间隔内的函数值，由此得到连续的再生信号E3。

摘要：本公开的实施方式公开了一种对象三维检测方法、智能驾驶控制方法、装置、电子设备、计算机可读存储介质及计算机程序，其中的对象三维检测方法，包括：获取待处理图像中的目标对象的至少一预定关键点的二维坐标；根据所述预定关键点的二维坐标，构建所述目标对象在二维空间中的伪三维检测体；获取所述伪三维检测体多个顶点的深度信息；根据所述伪三维检测体多个顶点的深度信息，确定所述目标对象在三维空间中的三维检测体。