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发明专利:113实用新型: 73外观设计: 1
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申请号:201710430765.2 公开号:CN107062163A 主分类号:F21V21/10(2006.01)I
申请人:云南省绿色能源行业协会;云南师范大学 申请日:2017.06.09 公开日:2017.08.18
发明人:韩莉娅;涂洁磊
摘要:本发明一种一体式太阳能路灯的快速安装方法,是用一根深入地面1—1.5米的底座插杆代替以往的水泥基座,并用法兰将太阳能路灯灯杆和底座插杆以螺栓固定连接,本发明适用于目前越来越轻量化的太阳能一体式路灯,或者电池安装于路灯底部防盗箱内的太阳能路灯,安装地点为城市道路或土质较硬的路面。
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申请号:201910880951.5 公开号:CN112530775A 主分类号:H01J37/32
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司 申请日:2019.09.18 公开日:2021.03.19
发明人:吴磊;梁洁;涂乐义
摘要:本发明公开了一种等离子体处理装置,位于所述等离子体处理装置的反应腔内包括:相对设置的气体喷淋头和静电吸盘;以及,环绕所述气体喷淋头设置的上接地环,所述上接地环沿环形方向分割为多个子接地区;其中,每一所述子接地区各自电连接一位于所述反应腔外的阻抗可调装置。由上述内容可知,本发明提供的技术方案,将上接地环沿环形方向分割为多个子接地区,且将每一子接地区各自电连接一阻抗可调装置,通过对阻抗调节装置的阻抗进行调节,以达到调节子接地区的接地阻抗的目的;进而,通过优化不同子接地区的接地阻抗实现刻蚀工艺不对称性的补偿,最终使得等离子体处理装置达到刻蚀均匀性高的目的。
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申请号:201611165614.0 公开号:CN108206143A 主分类号:H01L21/67
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司 申请日:2016.12.16 公开日:2018.06.26
摘要:本发明公开了一种刻蚀均匀性调节系统,包含若干反馈调节装置以及一连接反馈调节装置的计算控制单元;每个反馈调节装置分别包含:电流监视器,安装在等离子体反应腔的限制环与接地环之间,并连接所述的计算控制单元;主动升降机,安装在等离子体反应腔的限制环与接地环之间并位于上述电流监视器的对应位置;计算控制单元通过若干电流监视器获取限制环与接地环之间各区域的电流分布大小控制主动升降机调节限制环与接地环之间的间隙。其优点是:通过主动升降机和电流监视器的共同作用,实现对等离子体分均匀性的实时主动反馈控制。
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申请号:201611254855.2 公开号:CN108266447A 主分类号:F16B39/24
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司 申请日:2016.12.30 公开日:2018.07.10
摘要:本发明提供了一种螺丝组件,包括:一夹板,所述夹板包括一上层夹板和一下层夹板以及位于二者之间的夹板开口,贯穿所述夹板设置一容纳螺丝的螺孔;一不锈钢弹片,位于所述夹板开口内,所述不锈钢弹片设置与所述螺孔对应的圆形开口;所述不锈钢弹片靠近所述圆形开口的区域与靠近边缘的区域位于不同平面内,所述不锈钢弹片靠近圆形开口的区域和靠近边缘的区域分别与所述上层夹板和所述下层夹板呈一锐角夹角。本发明所述的螺丝组件设有防松机制,能够有效保证螺丝组件与螺丝的良好接触。保证射频电流回路的路径稳定,以避免射频回路的阻抗发生变化,确保射频放电的条件不会漂移。
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申请号:202311376838.6 公开号:CN117133689A 主分类号:H01L21/67
申请人:上海谙邦半导体设备有限公司 申请日:2023.10.24 公开日:2023.11.28
摘要:本发明涉及一种进气装置及进气方法,进气装置包括:进气装置本体,在进气装置本体的侧边设置有若干第一进气口和若干第二进气口,第一进气口进入的气体能直冲进气装置本体的中心区域,正对第二进气口处设置有挡板,使得第二进气口进入的气体需要越过挡板然后从挡板处扩散至进气装置本体的中心区域,采用上述进气装置,能够实现晶圆中心区与晶圆边缘区的进气速率不同,晶圆中心区与晶圆边缘区的气体分布量不同,从而实现晶圆中心区与晶圆边缘区的反应速率不同。
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申请号:202311423226.8 公开号:CN117612917A 主分类号:H01J37/32
申请人:上海谙邦半导体设备有限公司 申请日:2023.10.30 公开日:2024.02.27
摘要:本发明涉及一种等离子过滤装置及过滤方法,等离子过滤装置,包括:向上的第一等离子体通路和位于等离子过滤装置本体内的与第一等离子体通路连接的向下的第二等离子体通路,第一等离子体通路包括侧壁,等离子体在形成之后先于第一等离子体通路内向上扩散再于第二等离子体通路内向下流。上述等离子过滤装置,当等离子体在第一等离子体通路内向上扩散时,部分等离子体与第一等离子体通路的侧壁碰灭被过滤去除,降低了等离子体密度,能够减轻对基底的损伤。
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申请号:201810141109.5 公开号:CN108172638A 主分类号:H01L31/0216(2014.01)I
申请人:扬州乾照光电有限公司 申请日:2018.02.11 公开日:2018.06.15
摘要:本发明公开了一种三结太阳电池,所述三结太阳电池包括:衬底;在所述衬底上沿着第一方向依次外延生长的底电池、第一隧穿结、应变反射层结构、第一子电池、第二隧穿结、第二子电池以及接触层,其中,所述第一方向为垂直于所述衬底,且由所述衬底指向所述底电池的方向,所述应变反射层结构包括多对堆叠设置的应变反射层。该三结太阳电池优化了各结子电池之间的电流匹配,通过设计应变反射层结构解决了增加In组分引入的晶格失配问题,降低了三结太阳电池有源区的应力,并且增加第一子电池的光吸收效率,极大程度的提高了三结太阳电池的光电转换效率和
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申请号:202010092495.0 公开号:CN111320396A 主分类号:C03C17/32
申请人:云南师范大学 申请日:2020.02.14 公开日:2020.06.23
摘要:本发明公开了一种抗辐照氧化硅减反膜的制备方法,其特征在于:包括配置初始碱性溶胶镀膜液、添加乳化剂聚四氟乙烯以及纳米级别粉末氯化铅、在衬底表面制备薄膜然后对其进行超临界干燥使其形成一定的气凝胶结构和薄膜热处理,配置初始碱性溶胶镀膜液,将正硅酸乙酯和无水乙醇混合搅拌,待溶液搅拌均匀后,缓慢滴加无水乙醇、去离子水、氨水的混合溶液,搅拌混合均匀后静置陈化,添加乳化剂聚四氟乙烯乳液,溶液经过陈化稳定后,在其中加入一定含量的纳米粉末氯化铅,密封搅拌;本发明具有该制备方法操作简单,工艺过程简化,能精确控制制备出的氧化硅减反射膜有效的防护空间射线,硬度高且可控制,适用空间太阳能电池和实用性强的优点。
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申请号:202110149873.9 公开号:CN112853794A 主分类号:D21C5/00
申请人:江苏大学 申请日:2021.02.03 公开日:2021.05.28
摘要:本发明公开了一种三元低共熔溶剂预处理制备纳米纤维素微纤丝的方法,属于生物质纳米纤维素制备技术领域。本发明首先利用三元低共熔溶剂对木质纤维素生物质进行预处理,分离得到富含纤维素的组分;将富含纤维素的组分配置成1wt%的溶液,通过离心得到纳米纤维素悬浮液,然后通过高强度的超声处理,使纳米纤维原纤化,最后通过冷冻干燥得到纳米纤维素微纤丝。本发明制备的纳米纤维素微纤丝粒径范围在26.84‑61.26nm,针对木质素的去除率达到56.28%,效果显著,且操作简单、条件温和、成本低、污染小;同时使用的低共熔溶剂对环境十分友好,符合绿色化学生产的标准,具有较好的实际应用价值。
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申请号:202211277310.9 公开号:CN115580226A 主分类号:H02S50/10
申请人:云南师范大学 申请日:2022.10.19 公开日:2023.01.06
摘要:本发明公开一种可测试组件温度的光伏组件及使用方法,涉及光伏电池技术领域,包括由上到下依次设置的玻璃板、第一EVA层、温度引出层、第二EVA层、电池串、第三EVA层和背板层;所述电池串包括多个并列设置的电池组件,所述电池组件包括多个串联或并联的单体太阳能电池;所述电池组件边框设置有温度引出端子,所述温度引出层一端伸出至光伏组件外部。所述温度引出层与互联条连接位置设有绝缘层。本发明中的可测试组件温度的光伏组件,通过铜片良好的导热性将光伏组件内部的热导出来再测温,这样测出来的温度会更符合组件内部的温度,相比较于传统的外部测试光伏组件测温,得到更准确的值。
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