摘要：本发明公开了一种用于APCVD背封炉氮气罩的固定装置。该固定装置包括供氮气罩管路穿过的主体部分、用于将氮气罩管路与主体部分彼此紧固的固定螺母，所述主体部分具有圆柱体、设置在圆柱体上部的圆台部，以及设置在圆台部上部的紧固部；该紧固部外周设有螺纹，并在该紧固部的径向上设有凹槽，所述氮气罩管路穿过的位置与该凹槽在同一直线上；所述固定螺母具有与所述紧固部外周的螺纹匹配的内螺纹。本发明的固定装置能够保证固定的密封性和紧合度，可重复多次使用，可适用于所有APCVD背封炉，具有很强的通用性。本发明的固定装置显著地减少了设备的停机时间，保证了产品的质量，节约了喷头由于断钉造成的维修成本，杜绝了由于氮气罩固定造成的故障发生。

摘要：本发明公开了一种用于APCVD的履带线下清洗的装置和方法。该装置包括：间隔设置的两个履带轮、用于固定履带轮的支架、清洗槽和履带驱动装置；清洗槽设置在两个履带轮之间的位置，清洗槽上安装有超声装置；在清洗槽内设有重锤，用于将履带压入清洗槽内的清洗液面以下；履带驱动装置包括由电机驱动的驱动齿轮、通过传送皮带与驱动齿轮连接的从动齿轮，从动齿轮与所述两个履带轮中的一个连接并带动该履带轮转动。采用本发明的装置能够对背封设备APCVD背封炉的履带进行更深层次的清理和维护，对履带起到更好的清洁作用，提高履带使用寿命，更好的保护履带，降低成本。采用本发明的装置对履带进行清洗，能够提高产品质量，增大效益。