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1:
[发明]
双敏感层体声波氢气谐振传感器
申请号:
201010535433.9
公开号:CN102023184A 主分类号:G01N29/036(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2010.10.28 公开日:2011.04.20
发明人:
陈达
;
王璟璟
;
张玉萍
;
张会云
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种双敏感层体声波氢气谐振传感器。包括基底、下敏感金属层、压电薄膜层、上敏感金属层和空洞,具有上敏感金属层和下敏感金属层对氢气的双敏感层。以高频体声波作为谐振模式,结构简单,谐振频率高;对氢气的灵敏度高、响应速度快;耗能低、且工作在常温环境;涉及的制造工艺和材料都与现有集成电路制造工艺兼容,无需高精度光刻工艺,所以还具有成本低、可以与现有集成电路集成,易于实现阵列化和作为与无线传感器网络的传感器终端。可以应用于氢气生产、运输和使用中的浓度监测。
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2:
[发明]
增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器
申请号:
201110035317.5
公开号:CN102175314A 主分类号:G01J1/42(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2011.02.10 公开日:2011.09.07
发明人:
王璟璟
;
陈达
;
张玉萍
;
张会云
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种增强式薄膜体声波谐振紫外光探测器。包括压电薄膜谐振器、紫外光反射膜和透明导电膜。探测器以高频体声波作为谐振模式,利用紫外光反射膜和透明导电膜增强了压电薄膜对紫外光的吸收,提高了探测器的灵敏度;使用掺杂的氧化锌材料作为压电薄膜层,可以根据所需测量的紫外光中心波长调整镁的掺杂浓度,其敏感范围覆盖低紫外至深紫外的较宽光谱区间;采用布拉格反射层结构,机械牢度高,抗冲击力强。可以应用于航天工程、火焰探测、生物效应、物联网以及环境监测等民用、军用领域。
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3:
[发明]
集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器
申请号:
201210070984.1
公开号:CN102621026A 主分类号:G01N5/02(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2012.03.12 公开日:2012.08.01
发明人:
陈达
;
王璟璟
;
孙学军
;
金荧荧
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器。包括微流道、压电堆栈和信号处理集成电路,薄膜体声波谐振结构与信号处理集成电路分别制作在两个硅片上,然后将两个硅片进行结合形成一个整体。微流道和压电堆栈设置在上层硅片上,所述的信号处理集成电路设置在下层硅片上,所述的压电堆栈与信号处理集成电路之间具有空隙。该器件体积小,集成度高,成本较低,适合大批量制造,适合面向多分析物的高密度传感器阵列芯片,机械牢度强,适合比较复杂的生化分析环境。
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4:
[发明]
一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器
申请号:
201310138350.X
公开号:CN103236823A 主分类号:H03H9/15(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2013.04.19 公开日:2013.08.07
发明人:
陈达
;
王璟璟
;
孙学军
;
金荧荧
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器,包括声反射层、压电层以及输入电极对和输出电极对,输入电极对和输出电极对均由设置在压电层上下两表面的两个相同形状且相互连通的上电极和下电极组成。压电层上下表面对应两电极所产生的电场分布对称,使平行极化轴的电场分量相互抵消,而垂直极化轴电场分量相互加强,形成较强的单一剪切波激励电场。该器件在压电层中能够获得完全的纯剪切波模式谐振,品质因数高,从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。
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5:
[发明]
一种具有半椭圆形微流道的压电薄膜谐振传感器
申请号:
201310138659.9
公开号:CN103234562A 主分类号:G01D3/036(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2013.04.19 公开日:2013.08.07
发明人:
陈达
;
王璟璟
;
孙学军
;
金荧荧
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种具有半椭圆形微流道的压电薄膜谐振传感器,包括基片、声反射层、压电堆栈以及设置在压电堆栈上方的微流道。微流道利用热塑性高分子材料制成,其截面为半椭圆形,其水平轴中心为压电堆栈的中心点,水平轴长度为压电堆栈的长度的3倍至5倍。微流道的内部最高点至压电堆栈的距离为压电堆栈中驻波谐振波长一半的整数倍,其倍数为40至100之间,微流道的外侧壁高度为微流道的内部最高点至压电堆栈的距离的5至10倍。微流道与其内液体样品椭圆界面能够向压电堆栈中心反射声波,从而在一定程度上减小声波能量的损失,提高传感器的谐振性能和传感性能。
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6:
[发明]
一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器
申请号:
201310138347.8
公开号:CN103269209A 主分类号:H03H9/17(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2013.04.19 公开日:2013.08.28
发明人:
王璟璟
;
陈达
;
孙学军
;
金荧荧
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器,包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状,外侧边缘为相互平行的直线,两个电极的长度相同。两个电极激发出的电场非对称分布,抑制纵波模式谐振和声表面波、次表面波等寄生杂波的产生,提高剪切波模式谐振的品质因数,从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。
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7:
[发明]
一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法
申请号:
201310138446.6
公开号:CN103226173A 主分类号:G01R31/00(2006.01)I
申请人:
山东科技大学
申请日:2013.04.19 公开日:2013.07.31
发明人:
陈达
;
王璟璟
;
孙学军
;
金荧荧
;
干耀国
摘要:本发明公开了一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,包括以下步骤:(1)测量空载谐振频率;(2)构筑首尾相接的封闭微围墙,将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围;(3)在微围墙包围的区域内注入盐溶液;(4)挥发盐溶液;(5)测量挥发后谐振频率;(6)清洗微围墙包围区域;(7)改变注入盐溶液的参数,得到多组液体全部挥发后器件的谐振频率;(8)计算质量灵敏度的值。通过盐溶液中的全部溶质完全沉淀在压电薄膜体声波谐振器的表面得到可精确控制的质量负载密度,从而大幅度提高所测量的质量灵敏度的准确程度,并且测量过程对器件本身没有破坏性。
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8:
[发明]
脱硫废水挥发性重金属泥渣减量处理系统及处理方法
申请号:
201010187343.5
公开号:CN101838072A 主分类号:C02F9/04(2006.01)I
申请人:
西安热工研究院有限公司
申请日:2010.05.31 公开日:2010.09.22
发明人:
王璟
;
杨宝红
;
王正江
;
许臻
;
余耀宏
;
毛进
摘要:脱硫废水挥发性重金属泥渣减量处理系统及处理方法,采用两级化学沉淀工艺对脱硫废水进行处理,第一级化学沉淀中加入盐酸调节废水为酸性,加入聚合氯化铝为凝聚剂、聚丙烯酰胺为助凝剂进行絮凝反应,使第一级沉淀的泥渣中含挥发性重金属明显减少,且泥渣量较大,可以返回锅炉掺烧;第二级化学沉淀中加入氢氧化钙调节废水为碱性,加入重金属沉淀剂-有机硫(TMT15)与废水中的重金属结合生成非常稳定的螯合物,加铁盐为凝聚剂、聚丙烯酰胺为助凝剂,使第二级沉淀的泥渣中富含重金属,且泥渣量较小,可单独掩埋处置。向清水中加入盐酸和次氯酸钠,使处理后的出水达到GB8978-1996和DL/T?997-2006标准要求。
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9:
[发明]
固线装置及机器人
申请号:
202110529397.3
公开号:CN113146682A 主分类号:B25J19/00
申请人:
珠海格力电器股份有限公司
申请日:2021.05.14 公开日:2021.07.23
发明人:
蔡武
;
孔令超
;
王勇先
;
王荣耀
;
饶顺
;
曹璟玉
摘要:本发明提供了一种固线装置及机器人,固线装置包括:支撑架;第一绕线杆;第二绕线杆,第二绕线杆设置在支撑架上;伸缩件组,伸缩件组包括至少一个伸缩件,至少一个伸缩件设置在支撑架上,伸缩件的至少部分可伸缩地设置并与第一绕线杆连接,以使第一绕线杆相对支撑架可伸缩。将本固线装置应用于SCARA机器人中,以解决现有技术中的SCARA机器人的小臂处的线缆混乱的问题。
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10:
[发明]
一种实现C臂系统随动运动的控制装置及控制方法
申请号:
201310188296.X
公开号:CN103340640A 主分类号:A61B6/00(2006.01)I
申请人:
中国科学院深圳先进技术研究院
申请日:2013.05.20 公开日:2013.10.09
发明人:
熊璟
;
张磊
;
张忠林
;
李志成
;
谢耀钦
;
王磊
摘要:本发明公开了一种实现C臂系统随动运动的控制装置,包括主动驱动元件、辅助控制手柄、红外开关和力传感器。所述C臂系统的各个关节都安装有主动驱动元件,所述辅助控制手柄通过所述力传感器与所述C臂系统连接,所述辅助控制手柄上设置有红外开关,在开启状态下,所述力传感器获取操作意图并将指令传达给各个关节的主动驱动元件,由所述主动驱动元件带动所述C臂系统各个关节实现运动。本发明使操作者只需施加很小的力,即可灵活自然地根据操作者的意愿来操作C臂精准的完成期望运动和定位,从而实现直观、轻便、精确和高效的操作。
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