摘要： 一种化学机械抛光（CMP）控制系统控制被抛光半导体晶片背面上的压力分布。该系统包括CMP设备具有支承半导体晶片的托盘。该托盘包括多个双功能压电致动器。各致动器检出全晶片上的压力变化并且各自可控。控制器连接到致动器，用以监视所读出的压力变化和控制各致动器以提供全晶片上受控的压力分布。

摘要：具有多个面板(12-18)连接在一起形成体壳(64)的容器(10)。每个面板(12-18)有一个端边，在体壳(64)的一端配合形成虚拟平面(P)。容器(10)进一步包括在体壳(64)的一端与面板(12-18)连接的端面板(20，22)。端面板(20，22)的至少一部分延伸超出虚拟平面(P)。提供用于支撑容器(10)的支撑箱(100)。提供吊架系统(150)并且与箱(100)连接。吊架系统(150)支撑位于箱(100)内容器(10)的上部。提供带有排气口密闭装置(300)的容器(10)，所述排气口密闭装置(300)提供无菌、气体可透过阻挡层。

摘要：本发明涉及用于粉末涂覆材料的送给中心(100)，所述送给中心包括漏斗(102)、提取管道和控制阀。漏斗可与流体化压力源(138)流体连通地连接。提取管道可与至少一个抽吸源流体连通地连接。控制阀将提取管道与漏斗的提取端口连接。控制阀可在第一位置和第二位置之间操作，所述第一位置用于将抽吸从所述至少一个抽吸源施加到漏斗，所述第二位置在控制阀和第一提取管道(128)中的至少一个中提供外部开口，用于将加压流体从漏斗(102)排出和/或用于收集从漏斗排出的空气和粉末中的至少一些。

摘要：描述了用于使液态衬里内爆的系统的示例。内爆系统包括容器和位于容器内的旋转构件。旋转构件具有形成多个弯曲通道的多个成形叶片，所述多个弯曲通道在内表面处具有内侧开口并且在外表面处具有外侧端。旋转构件至少部分地填充有液态介质。使用驱动器来旋转旋转构件，使得当旋转构件旋转时，液态介质被迫进入通道中，从而形成液态衬里，该液态衬里具有相对于旋转轴线弯曲的界面并限定了腔。该系统还包括内爆驱动器，该内爆驱动器改变旋转构件的旋转速度，使得液态衬里向内内爆以使腔塌陷。内爆液态衬里可以用于等离子压缩系统。

摘要：力感测装置包括第一电极(401)和第二电极(402)以及包含至少一个凹槽(202)的基板(201)。力感测装置还包括位于第一和第二电极之间的活性材料(501)。至少一个凹槽包括第一面(301)和向第一面倾斜的第二面(302)。第一面和第二面彼此间隔一定距离(303)。第一电极沉积在第一面上，第二电极沉积在第二面上。在施加外力(701)时，距离发生变化，使活性材料变形，并使活性材料的电特性(如电阻、电容或其组合)发生变化。

摘要：提供一种用于感测系统的窗，所述窗包括：基板，所述基板包括外主表面和内主表面；外分层膜，所述外分层膜设置在外主表面上；以及内分层膜，所述内分层膜设置在内主表面上。所述外分层膜和所述内分层膜中的每一者均包括交替的高折射率层与低折射率层。所述外分层膜包括具有约0.5μm至约10μm厚度并表现出用Berkovich压头硬度测试测量的、至少11GPa硬度的耐刮层。所述窗在入射角<15°时，分别在从900nm至1600nm的红外光谱内表现出至少一个波长的大于85％(相差±25nm内)的平均透射率，并且在从420nm至650nm的可见光谱中表现出小于5％的平均透射率。

摘要：本发明提供了一种固体可溶性组合物，该可溶性固体组合物包含结晶剂、水和清新感有益剂。

摘要：一种固体可溶性组合物包含结晶剂、水和活性剂。

摘要： 本发明提高了溶解性和稳定性的环糊精衍生物和包合配合物，环糊精衍生物包括氨基和其它改性的环糊精以及键合环糊精；上述环糊精包合配合物和环糊精衍生物的制备方法。还公开了含有以共价键结合于药剂的、有其它取代基或没有其它取代基的环糊精的环糊精衍生物。共价键在打开时，将以活性形式释放药剂。本文还述及了药物组合物和动物的治疗方法，以及色谱组合物和外消旋混合物的分离方法。

摘要： 塑料连续混合机带有油脂润滑轴承组件，而非体积大成本高的传统循环油润滑系统。两个转子的轴颈隔热装置将轴承与转子连续转动混合塑料时产生的高热隔缘。局部冷却为转子驱动和被驱动轴颈提供了散热装置。转子为三段转子，驱动和被驱动轴颈与转子体分离。对轴颈的局部冷却加上使轴颈与高热隔绝就可使轴承用油脂而非循环油润滑，每个轴颈轴承组件都包括两个轴向隔开的球面滚子轴承。组件离混合机腔体的距离比现有混合机的远。