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发明专利:6022实用新型: 3193外观设计: 487
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申请号:201210329883.1 公开号:CN102856164A 主分类号:H01L21/02(2006.01)I
申请人:无锡华润上华科技有限公司 申请日:2012.09.07 公开日:2013.01.02
发明人:胡骏
摘要:本发明提供了一种提高对位标记清晰度的方法,所述方法包括:在晶圆表面刻蚀对位标记;在所述晶圆上进行外延层的生长;去除对位标记上方生长的外延层,使得晶圆表面的对位标记露出。该方法通过在外延层生长之后增加一次光刻和刻蚀,将底层有对位标记的外延部分被刻蚀掉,使底层的标记显露出来,为后续的光刻步骤提供清晰可见的对位标记,消除了对位失败的问题。
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申请号:201310398681.7 公开号:CN104425301A 主分类号:
申请人:无锡华润上华科技有限公司 申请日:2013.09.04 公开日:2015.03.18
发明人:胡骏
摘要:本发明公开了一种监测光刻胶粘结层HMDS异常的方法,其中:在两个硅片上分别生长氧化硅层,并测量各自厚度,形成氧化硅晶圆,将其中一个氧化硅晶圆表面涂上一层均匀的HMDS涂层,然后将设有HMDS涂层的氧化硅晶圆与另外一个氧化硅晶圆一并送入湿法腐蚀机台内,采用相同的时间T进行腐蚀,腐蚀后测量两片晶圆的厚度,并通过腐蚀前后晶圆的厚度差D/腐蚀时间T计算得出各自的腐蚀速率A1和A2,使用A1与A2之间的差值来判断HMDS涂层的厚度和成分异常情况。本发明通过腐蚀速率的快慢来间接判断HMDS涂层的厚度或成分是否异常,实现HMDS的在线监控,避免产品缺陷及大量报废,降低成本。
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申请号:201310285937.3 公开号:CN104281020A 主分类号:
申请人:无锡华润上华科技有限公司 申请日:2013.07.08 公开日:2015.01.14
发明人:胡骏
摘要:本发明公开了一种改善光刻对位能力的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)在硅衬底上形成零层光刻对准标记图形;2)通过刻蚀工艺在硅衬底上刻蚀出深度为沟槽;3)对硅片进行后道工序。本发明的关键点在于:改变传统零层必须采用较深的刻蚀深度的惯常思维,反其道而行之,采用浅刻蚀的方法,将对位标记的刻蚀深度定义在(埃)(埃)范围内,得到了非常理想的光刻对对位标记的识别能力,降低了后续光刻步骤的漂移量,提高了光刻对位的可控性和稳定性,取得了意想不到的良好效果。这种逆向思维所产生的技术方案,对于改进生产质量具有非常优异的效果,操作简单,易于实施,并且能够降低成本,从而提高了整体效益。
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申请号:201510037952.5 公开号:CN104590715A 主分类号:
申请人:长兴众友耐火材料厂 申请日:2015.01.26 公开日:2015.05.06
发明人:胡骏
摘要:本发明的目的在于找到一种能在运输过程中有效保护耐火管的运输保护套。包括4块用于包裹耐火管的竹片、设在竹片上的绑绳,竹片为圆弧柱形,每块竹片面向耐火管的一侧均固定有等距离排列的第一连接部,第一连接部上设有横向设置的第一连接孔,竹片远离耐火管的一侧的上部和下部均设有第二连接部,第二连接部上设有横向设置的第二连接孔,绑绳中端依次穿过连接孔成螺旋形排列,绑绳上端依次穿过竹片上部的第二连接孔,绑绳下端端依次穿过竹片上下部的第二连接孔。有益技术效果:只需将耐火管运输保护套套接在耐火管上,再拉紧绑绳两端后,将绑绳两端绑紧,即可将耐火管运输保护套锁紧到耐火管上,进而保护耐火管。
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申请号:201510646783.5 公开号:CN106569386A 主分类号:G03F1/50(2012.01)I
申请人:无锡华润上华科技有限公司 申请日:2015.10.08 公开日:2017.04.19
发明人:胡骏
摘要:本发明涉及一种光罩,包括至少两个芯片区域,以及位于各个芯片区域之间、用于将芯片区相互隔离开的芯片隔离带;所述芯片隔离带包括第一区和第二区;所述第二区包围所述第一区;所述第一区包括多个间隔设置的第一图形;所述第二区包括第二图形;所述第一图形和第二图形为透光的图形;所述第二图形的边缘与所述芯片区的边缘的间距大于套刻允许误差;所述第二图形的面积小于所述第一图形的面积。上述光罩可以有效提高芯片制备过程中隔离带的周边芯片的产品良率。本发明还涉及一种利用该光罩进行多芯片同时制备的方法。
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申请号:201510919531.5 公开号:CN106873306A 主分类号:G03F1/38(2012.01)I
申请人:无锡华润上华科技有限公司 申请日:2015.12.11 公开日:2017.06.20
发明人:胡骏
摘要:本发明涉及一种光刻版以及光刻方法。所述方法包括步骤S1:提供待光刻硅片,所述待光刻硅片表面由下至上有待图形化材料层和光刻胶层;步骤S2:提供光刻版,并确定所述光刻版的透光率;步骤S3:根据光刻版的透光率的大小调整光刻版的曝光区域,以控制所述光刻版的透光率在目标值以内,然后对选定的所述曝光区域进行曝光;步骤S4:以光刻胶层为掩膜进行所述待图形化材料层的图形化处理;其中,在所述步骤S3中当所述光刻版中选择曝光的区域为部分区域时,则重复所述步骤S3和S4对未曝光的区域进行曝光,直至完成所述光刻版的全部区域的曝光,最终在所述待蚀刻材料层中形成目标图形。本发明的优点在于可以防止聚合物(polymer)残留的存在,提高产品良率。
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申请号:201710903639.4 公开号:CN107542828A 主分类号:F16F9/14(2006.01)I
申请人:胡骏 申请日:2017.09.29 公开日:2018.01.05
发明人:胡骏
摘要:本发明公开了一种带有释放绳索时能自动匀速的液压阻尼器,包括主轴和固定拉杆;所述固定拉杆设置有四根,在主轴的两端均安装有侧板和半金属刹车片,在主轴的一端另安装有阻尼器后缸和阻尼器前缸;在主轴的另外一端安装有手动刹车片、弹簧、弹簧压板、手动调节侧板和刹车调节手轮,在主轴上两端同轴固定安装有刹车片;所述阻尼器后缸和阻尼器前缸之间安装有涡轮叶片和叶片定位块;所述刹车调节手轮的中心轴上固定有空心螺杆。本发明利用同步转动的涡轮叶片对主轴调节转速,利用油压压力与刹车力相互矛盾的作用力,使阻尼器能自动保持相对的匀速释放速度,并且能够通过手动旋转调节手轮调节刹车力。
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申请号:201811133166.5 公开号:CN109068314A 主分类号:H04W8/18(2009.01)I
申请人:努比亚技术有限公司 申请日:2018.09.27 公开日:2018.12.21
发明人:胡骏
摘要:本发明提供一种运营商配置文件切换方法,应用于配置有NFC感应模块及本地配置代理模块的智能设备,所述方法包括以下步骤:在进入到预设运营商配置文件切换模式时,所述NFC感应模块读取外部NFC标签中内置的目标运营商配置文件的名称信息;将所述目标运营商配置文件的名称信息发送至所述本地配置代理模块;本地配置代理模块根据所述目标运营商配置文件的名称信息将嵌入式智能卡的当前运营商配置文件切换成所述目标运营商配置文件。本发明还提供了一种智能设备及可读存储介质。本发明解决了现有小型的智能设备由于显示屏幕太小,导致用户在进行profile切换的交互操作时不方便的技术问题。
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申请号:201811133164.6 公开号:CN109219021A 主分类号:H04W4/50(2018.01)I
申请人:努比亚技术有限公司 申请日:2018.09.27 公开日:2019.01.15
发明人:胡骏
摘要:本发明提供一种运营商配置文件切换方法,应用于配置有本地配置代理模块及嵌入式智能卡的移动终端,嵌入式智能卡安装有用户识别应用开发工具,包括以下步骤:在进入到预设运营商配置文件切换模式时,若用户识别应用开发工具判断嵌入式智能卡存在主动式命令的处理进程,则向嵌入式智能卡发送预设终止会话指令,以使嵌入式智能卡结束主动式命令的处理进程;本地配置代理模块根据用户识别应用开发工具发送的通知信息,执行嵌入式智能卡的运营商配置文件切换操作。本发明还提供了一种移动终端及可读存储介质。本发明解决了现有嵌入式智能卡由于主动式命令
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申请号:201811292476.1 公开号:CN109151081A 主分类号:H04L29/08(2006.01)I
申请人:努比亚技术有限公司 申请日:2018.10.31 公开日:2019.01.04
发明人:胡骏
摘要:本发明提供一种生产综测方法,包括如下步骤:从服务配置文件管理平台下载目标服务配置文件至智能终端配置的嵌入式通用集成电路卡;目标服务配置文件包括基于预设测试通信卡预先生成的Profile文件;在嵌入式通用集成电路卡上安装目标服务配置文件;激活已安装的目标服务配置文件;基于已激活目标服务配置文件,与综测仪建立通信连接,以使所述综测仪对所述智能终端进行预设类型的测试。本发明还提供了一种生产综测装置、智能终端、可读存储介质。本发明解决了现有使用嵌入式通用集成电路卡的智能终端在进行通信信号测试时的外接卡座方式导致测试不方便、操作繁琐且效率低下的技术问题。
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