摘要：本发明涉及用于半导体、平板显示器、太阳能等行业的镀膜的基板传输装置和基板传输方法。一种用于镀膜的基板传输装置，包括基板驱动机构，而传输装置还包括独立于基板驱动机构的基板支撑机构。用于镀膜的基板传输方法的步骤为将基板放置在镀膜源的一侧或两侧，使基板的待涂膜面朝向镀膜源的镀膜源工作面，基板与镀膜源工作面的间距为1～100mm；使基板与水平面保持65°～115°自由站立在基板驱动机构上并同时使基板的上部背面依靠在基板支撑机构上进行传输。本发明使用相互独立的基板驱动机构和基板支撑机构，能使基板无边框自由站立，基板传输装置使镀膜源实现连续进行基板稳定传输镀膜、保证镀膜均匀、源材料利用率高、生产成本低。

摘要：本发明涉及一种用于半导体、LED、太阳能电池领域的镀膜器，尤其涉及一种蒸镀源及其蒸镀镀膜装置。一种蒸镀源，包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块，而所述温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块和排气模块均设置于蒸镀源本体中，绝热模块包围蒸镀源本体的外表面。蒸镀镀膜装置包括蒸镀源以及包围蒸镀源的真空腔体室。本发明将组成镀膜设备的各功能模块整合在一个单体结构即蒸镀源本体中，可以达到稳定均匀的温度控制，组成结构简洁紧凑、整体热导性好、熔点高、温度稳定、源材料利用率高、镀膜均匀的蒸镀源及蒸镀镀膜装置。

摘要：本发明涉及一种用于半导体，平面显示器和太阳能行业的镀膜生产的镀膜装置及镀膜组件。一种扫描镀膜装置，包括镀膜源、真空腔体室和基板传输模块，而所述镀膜源为PVD源、LPCVD源、PECVD源或ALD源；所述真空腔体室包围所述镀膜源；所述镀膜源的镀膜源工作面与水平面所成角度为α，65＜α＜90或90＜α＜115°。本发明的镀膜源与基板的相互位置关系以及镀膜源的结构使所述扫描镀膜装置实现了同时对移动中的两片无边框的基板连续进行沉积镀膜，使得生产效率加倍；大幅提高源材料利用率；镀膜源被两片基板包围，热量损失小，可减少所述扫描镀膜装置的腔体壁上形成的镀膜，装置内壁清洁。扫描镀膜组件可同时对多基板进行沉积镀膜，使得生产效率提高若干倍。

摘要：本发明涉及一种用于半导体、LED、太阳能电池领域的镀膜装置及镀膜组件。一种扫描镀膜装置包括镀膜源、真空腔体室和基板传输模块，蒸镀源包括温度控制模块、载流气体进气模块、喂料模块、排气模块和绝热模块，前四个模块均设置于蒸镀源本体中；真空腔体室包围蒸镀源；蒸镀源具有两个相背的蒸镀源工作面，蒸镀源工作面与水平面所成角度为65～115°。本发明的蒸镀源与基板的相互位置关系以及蒸镀源的结构实现了同时对两片基板进行连续的气相传输沉积镀膜，使得生产效率加倍；大幅提高源材料利用率；减少腔体壁上形成镀膜，装置外壁清洁；降低了生产成本；基板边缘镀膜均匀。扫描镀膜组件可同时对多基板进行气相传输沉积，使得生产效率提高若干倍。

摘要：本发明涉及一种划线技术，尤其涉及薄膜太阳能电池生产的划线方法及其设备。该方法包括三道划线P2和P3，P1划线按照传统技术使用激光对透明导电氧化物膜层进行划线，所述P1划线穿越所述透明导电氧化物膜层形成第一沟槽，而所述P2划线和P3划线在所述半导体镀膜之后和所述背电极镀膜之前的时间内进行；所述P2划线穿越所述半导体膜层形成与所述第一沟槽相平行的第二沟槽；所述P3划线使用可溶材料在所述半导体膜层上形成与所述第二沟槽相平行的可溶线条作为预备层。薄膜太阳能电池的划线设备，在同一个机械平台上整合了激光划线装置和可溶线条形成装置。本发明生产工艺简单、成本低、能优化电池性能和长期稳定性。

摘要：本发明涉及一种划线技术，尤其涉及用于薄膜太阳能电池生产的划线方法及其设备。该方法包括三道划线P1、P2和P3，P1划线使用激光对透明导电氧化物膜层进行划线，P2划线使用激光对半导体膜层进行划线，而三道划线P1、P2和P3均在半导体镀膜之后和背电极镀膜之前的时间内进行，P1划线穿越半导体膜层和透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；P2划线穿越半导体膜层形成与第一沟槽相平行的第二沟槽；P3划线使用可溶材料在半导体膜层上形成与第二沟槽相平行的可溶线条作为预备层。用于薄膜太阳能电池的划线设备，在同一个机械平台上整合了激光划线装置，绝缘材料填充装置和可溶线条形成装置。本发明生产工艺简单、成本低、能优化电池性能和长期稳定性。

摘要：本发明涉及一种激光划线技术,尤其涉及用于薄膜太阳能电池生产的激光划线方法及其设备。该方法包括两道划线P1和P2，P1划线使用激光对透明导电氧化物膜（TCO）层进行划线，P2划线使用激光对半导体膜层进行划线，而两道划线P1和P2均在半导体镀膜之后和背电极镀膜之前的时间内进行，P1划线穿越半导体膜层和透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；P2划线穿越半导体膜层形成与第一沟槽相平行的第二沟槽。用于薄膜太阳能电池的划线设备，包括两个或两组激光头，一个或一组用于P1划线，另一个或一组用于P2划线。本发明生产工艺简单、成本低、能优化电池性能和长期稳定性。

摘要：本发明涉及太阳能生产工艺和设备，尤其涉及以透明导电氧化物玻璃为基板的薄膜太阳能技术。薄膜太阳能电池模组的制备方法包括步骤：清洗透明导电氧化物玻璃基板；在透明导电氧化物膜层上进行半导体镀膜形成半导体膜层；在所述半导体膜层上使用划线装置进行三道划线P1、P2和P3，并形成相应的第一沟槽和第二沟槽,以及用于形成第三沟槽的预备层；进行背电极镀膜，形成背电极膜层，作退火热处理；使用水或溶剂除去所述预备层及和沉积在所述预备层上的背电极材料，从而在所述背电极膜层上形成第三沟槽；除边、外电导、层压夹胶封装、接线盒安装和测试。本发明方法制备的太阳能电池的有效电池面积和转换效率高、制备方法简单、成本低。

摘要：本发明涉及光电领域，尤其涉及一种用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法及通过该方法制得的薄膜太阳能电池。用于薄膜太阳能电池的元素掺杂方法，其在待掺杂的膜层表面放置含掺杂元素的粉末，使所述待掺杂的膜层的温度达到150～300℃并保持1～30min，然后移除剩余在所述待掺杂的膜层表面的所述粉末。用薄膜太阳能电池的元素掺杂方法制备的薄膜太阳能电池，包括玻璃基板、透明导电氧化物层、窗口层、吸光层和背电极层，其特点是所述吸光层表面和内部被掺杂所述元素。本发明可实现对掺杂量的有效控制，从而提高电池的开路电压,短路电流和填充因子,并且提高电池的转换效率。

摘要：本发明提供的一种基于互联网技术的大棚植物认养监控系统，涉及植物管理系统领域，其特征在于，包括信息认证模块与种植大棚系统，所述信息认证模块包括互联网终端与信息存储模块，所述信息存储模块可以记录种植大棚内记录的信息，所述种植大棚系统包括监控模块与种植管理模块，所述监控模块包括温度检测模块，湿度检测模块与光照检测模块，用于获取种植大棚内各项种植相关数据，并将信息回传至种植管理模块，所述种植管理模块可向管理员终端发送相关种植信息，所述监控模块可实时记录用于认养植物的生长状态，并可由相关物流系统将植物送至用户处。本发明的优点：方便用户进行不同数量的植物认养，实现了单株认养可视化、定制型、托管式。