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发明专利:2125实用新型: 933外观设计: 73
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申请号:202210624026.8 公开号:CN114999960A 主分类号:H01L21/67
申请人:智程半导体设备科技(昆山)有限公司 申请日:2022.06.02 公开日:2022.09.02
发明人:赵天翔;蔡超
摘要:本发明公开的一种单片晶圆清洗设备,涉及晶圆清洗技术领域,包括单片晶圆,还包括与执行机构连接的清洗机构、配合定位机构,所述执行机构包括与执行电机的输出轴固定连接的内花键轴,内花键轴与外花键筒花键配合,外花键筒沿内花键轴的轴向方向滑动,外花键筒与执行齿轮一花键配合,外花键筒上固定安装有执行齿轮二,所述执行齿轮二与配合定位机构配合,通过执行齿轮二驱动配合定位机构对单片晶圆的上表面进行无死角旋转清洗、干燥,并对单片晶圆进行定位;所述执行齿轮一与清洗机构连接,所述清洗机构用于对单片晶圆的不同位置进行支撑,同时对单片晶圆下表面进行无死角清洗、干燥。
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申请号:202210958969.4 公开号:CN115026046A 主分类号:B08B3/02
申请人:智程半导体设备科技(昆山)有限公司 申请日:2022.08.11 公开日:2022.09.09
发明人:刘斌;赵天翔
摘要:本发明公开了一种基于伯努利原理技术的单晶硅片生产用喷洗式清洗机,包括工作台,所述工作台的顶部轴心处固定安装有转动机构,且所述转动机构的底部通过回收管相连通有叠片过滤器。本发明实现了硅片的清洗和上、下料工作完全实现自动化、无人化连续清洗工作,不仅避免清洗后的硅片因下料工作而再次受到污染,还极大地提升了硅片清洗效率,且清洗液可循环使用,降低硅片清洗成本的目的,同时,使得清洗液产生不稳定涡流并配合伯努利原理形成大量微小气泡,降低喷射出的清洗液整体的密度,清洗液中微小的气泡在撞击到单晶硅片上后,立即破裂并造成冲击,可以进一步冲刷硅片表面上所附着的微尘,提升了硅片表面杂质的清洗效率。
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申请号:202510926917.2 公开号:CN120421274A 主分类号:B08B3/14
申请人:苏州智程半导体科技股份有限公司 申请日:2025.07.07 公开日:2025.08.05
发明人:陈焱;赵天翔
摘要:本发明涉及晶圆清洗回收技术领域,且公开了一种用于半导体晶圆清洗回收设备,包括:收集槽、滤网、废料槽以及清洁组件,收集槽底部安装有排料管,且排料管与收集槽内底部最低处连通;滤网固定安装在收集槽内,且滤网遮住收集槽底部,同时滤网可对从其表面穿过的清洗剂进行过滤;废料槽呈圆环形,且可拆卸的安装在收集槽内壁上,同时滤网表面与废料槽的上开口连通,废料槽的内底面开设有贯穿的滤孔;清洁组件可对滤网表面进行刮扫清洁,且刮洁时会将刮洁下来的废料输送至废料槽内,同时刮洁时还会同步从滤网下方对滤网上方吹气;本申请,可有效保证对前端半导体清洗设备流出的清洗进行回收,避免清洗剂内的杂质堵塞滤网导致回收不畅的情况发生。
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申请号:201710071942.2 公开号:CN107066291A 主分类号:G06F9/445(2006.01)I
申请人:阿里巴巴集团控股有限公司 申请日:2017.02.09 公开日:2017.08.18
发明人:赵翔宇;张天宇
摘要:本申请提供一种软件开发工具包的打包方法、装置及设备、可读介质,该方法包括:接收客户端发送的打包指令;如果所述打包指令携带有需求标识,将与所述需求标识对应的功能子模块确定为打包所需的模块;各功能子模块的集合为功能模块,该功能模块用于同时支持目标业务的各种业务功能,所述需求标识与所述客户端所需的业务功能对应;对打包所需的模块进行编译,获得编译文件;对获得的编译文件进行打包处理,生成所述客户端所需的SDK。实施本申请,能够基于目标业务的同一套代码,根据客户端的需求进行灵活打包。
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申请号:202011230213.5 公开号:CN112233488A 主分类号:G09B9/00
申请人:上海心瓣测试设备有限公司 申请日:2020.11.06 公开日:2021.01.15
发明人:赵天力;包翔宇
摘要:本发明涉及医疗模拟教学器具领域,特别是涉及一种模块化心脏脉动模拟装置和生物仿真食道超声模拟系统。模块化心脏脉动模拟装置包括模拟心脏以及分别与模拟心脏连通的左心脉动模拟单元和右心脉动模拟单元;模拟心脏设于超声操作单元内;左心脉动模拟单元包括依次连通的主动脉顺应性模块、主动脉阻尼模块和左心房液容模块,还包括左心室脉动驱动模块;和/或,右心脉动模拟单元包括依次连通的肺动脉顺应性模块、肺动脉阻尼模块和右心房液容模块,还包括右心室脉动驱动模块。本发明可以高度仿生地模拟实际人体生理脉动流效果,模块化的设计可以满足各种场景的应用,能够有效地培训医生开展心脏疾病诊断和治疗。
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申请号:202111202609.3 公开号:CN113914934A 主分类号:E21F17/18
申请人:辽宁工程技术大学 申请日:2021.10.15 公开日:2022.01.11
发明人:赵丹;梁博;闻天翔
摘要:本发明涉及一种煤矿井下采空内部环境参数监测系统,该监测系统主要包括以下部分,终端监测节点、路由器节点、接收装置、以太网服务器和上位机。终端监测节点沿工作面布置,终端监测节点可监测采空区环境参数。每个一段距离布置路由器节点,路由器节点采集终端节点数据传输给接收装置,井下监测人员通过接收装置获得采空区内部环境参数。接收装置通过WiFi模块将数据同步到以太网服务器,并通过光纤与地面上位机连接并传输数据,监测人员通过得到的采空区内部环境参数,实现对采空区氧化带温度的监测,为制定合理的工作面推进速度、瓦斯抽采设计、预警及应急预案等工作提供数据依据,进一步完善智能矿山建设。
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申请号:202211191669.4 公开号:CN115254782A 主分类号:B08B3/14
申请人:智程半导体设备科技(昆山)有限公司 申请日:2022.09.28 公开日:2022.11.01
发明人:赵天翔;万帮勇
摘要:本发明属于晶圆清洗技术领域,尤其是一种半导体基材清洗工艺药液循环再利用系统,包括废液再生沉淀储存机构,所述废液再生沉淀储存机构的一侧设置有废液分离过滤机构。该半导体基材清洗工艺药液循环再利用系统,通过设置废液再生沉淀储存机构、废液分离过滤机构和再生液浓度调节控制机构,在使用时,晶圆清洗后的废液流入沉淀室内经过沉淀后,进入分离筒内,进行分离过滤,然后进入搅拌桶内进行浓度检测,并在浓度不达标时,自动进行搅拌配比,具有在线连续对废液进行再生处理的特点,从而解决了现有的晶圆清洗液都是将废液回收集中后,再重新过滤,配比再使用,存在废液再利用效率较低,且废液再生过程复杂,大大增加企业生产成本的问题。
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申请号:202210984557.8 公开号:CN115459750A 主分类号:H03K5/156
申请人:骏盈半导体(上海)有限公司 申请日:2022.08.17 公开日:2022.12.09
发明人:赵天昊;肖飞;于翔
摘要:本发明公开了一种非交叠时钟信号产生电路,包括第一时钟电路,用于根据输入时钟信号的同相信号对第一节点和第二节点进行充放电,并将第一节点电压和第二节点电压转换成方波信号,以得到第一时钟信号;以及第二时钟电路,用于根据输入时钟信号的反相信号对第三节点和第四节点进行充放电,并将第三节点电压和第四节点电压转换成方波信号,以得到第二时钟信号,其中,通过设置第一时钟电路的第一节点电压和第二节点电压与第二时钟电路的第三节点电压和第四节点电压之间的充放电速度差异来实现第一时钟信号和第二时钟信号的相位不交叠,从而可以在降低电路复杂度以及减小电路规模的基础上产生非交叠时钟信号。
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申请号:202210653427.6 公开号:CN115672801A 主分类号:B08B1/00
申请人:智程半导体设备科技(昆山)有限公司 申请日:2022.06.10 公开日:2023.02.03
发明人:赵天翔;刘国强
摘要:本发明涉及半导体技术领域,且公开了一种可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置,包括刷洗池、传动轴和晶圆片,所述传动轴的表面固定连接有滚筒,所述滚筒的表面开设有多个槽孔,所述滚筒内部与槽孔对应的内表面设置有水道,所述滚筒的内部滑动连接有调节支板,该可自动更换刷头的单片晶圆刷洗装置,通过伸缩机构与调节支板的配合以及刷座与刷头的配合使用,当刷头对晶圆表面进行刷洗之后,可将刷头收回到水道中,挡片与滚筒的配合,可使被收回的刷头所在的水道内部保持封闭状态,从而便于对刷头进行清洗,以去除刷头表面残留的杂质,以保证刷头为洁净的,从而避免对晶圆造成交叉污染,有利于提高晶圆表面刷洗的清洁度。
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申请号:202311033716.7 公开号:CN116779523A 主分类号:H01L21/683
申请人:苏州智程半导体科技股份有限公司 申请日:2023.08.17 公开日:2023.09.19
发明人:杨仕品;赵天翔
摘要:本发明提供了一种薄型半导体基材清洗用伯努利吸盘,包括驱动装置和限位组件,限位组件包括驱动盘以及覆盖于驱动盘顶部的吸盘本体,吸盘本体转动连接不少于三个的定位销,驱动盘与吸盘本体之间形成容纳腔;容纳腔内安装驱使多个定位销夹持或松开晶圆的调节轮盘,吸盘本体圆周分布若干第一气孔,容纳腔内位于调节轮盘上方设置气密板,气密板固接于吸盘本体的下表面,气密板与吸盘本体围成密封气腔,气体通过密封气腔和第一气孔在吸盘本体表面产生伯努利效应以吸附晶圆。本发明用以解决现有技术中限位盘与晶圆吸盘分体式的设计导致结构更为复杂,以及更为严重的晶圆清洗药品渗入的问题从而影响设备整体的使用寿命。
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