摘要：本申请提供一种接地组件及导电接触件分布方法、改善薄膜均匀性的方法，所述分布方法包括：将接地组件的中心作为原点O；确定滤波盒和匹配电极、挡盘以及齿轮箱在所述接地组件所在平面上的投影，获得第一方向线OA、第二方向线OB以及第三方向线OC；平分∠AOB，获得第四方向线OD；获得第五方向线OE；接地组件在第五方向线OE指向一侧的导电接触件的密度大于另一侧的导电接触件的密度。本申请通过设置接地组件上不同区域的导电接触件的密度，优化腔室接地效果，使得腔室内溅射粒子分布均匀，从而改善腔室工艺均匀性；还可以避免因接地异常导致腔室内的部件遭受的不可逆损伤，节省了成本。

摘要：本发明公开了一种三甲基铝中三乙基甲基硅烷含量的检测方法，包括以下步骤：S1、将三甲基铝样品与有机溶剂混合，得到样品溶液；S2、对样品溶液进行水解反应，以去除样品溶液中的三甲基铝，并使用有机溶剂对水解反应产生的尾气进行回收，得到尾气吸收液；S3、分离水解反应后的水解液，得到有机相溶液；S4、将有机相溶液与尾气吸收液混合，并去除有机溶剂，得到浓缩液；以及S5、使用GC‑MS检测浓缩液中三乙基甲基硅烷的含量，即得到三甲基铝样品中三乙基甲基硅烷的含量，本发明实施方式的三甲基铝中三乙基甲基硅烷含量的检测方法，具有检测过程安全稳定，且检测结果准确的优点。

摘要：本发明公开了一种烷基金属前驱体的除氧方法，包括：使含有氧杂质的烷基金属前驱体与选定金属接触，并加热反应，以使所述氧杂质被还原；所述选定金属镁的标准氢还原电势为‑2.37V。本发明所提供的除氧方法通过使金属单质镁与含氧组分发生反应，然后通过加热搅拌，即可实现良好的除氧提纯效果，并获得稳定的低氧烷基金属前驱体，其无机纯度达99.9999％，氧含量＜5ppm，其中的金属单质电位序较低，能显著提高除杂反应速率，且金属单质化学性质稳定，能够回收重复利用。本发明的工艺流程简单，不会引入新杂质，处理效率和除杂效率均较高，操作便捷，具有非常广泛的应用前景。

摘要：本发明公开了一种正硅酸酯的除氯方法。所述除氯方法包括：提供硅酸酯粗品，所述硅酸酯粗品中包括正硅酸酯和氯代正硅酸酯；使所述硅酸酯粗品与氟化盐接触，以使所述氯代正硅酸酯与所述氟化盐发生亲核取代反应，转化为氟代正硅酸酯；通过精馏分离所述正硅酸酯和氟代正硅酸酯，获得正硅酸酯纯品。本发明所提供的除氯方法通过可溶性无机氟化盐与氯代正硅酸酯发生取代反应使其转化为氟代正硅酸酯，并使得有机氯转化为无机氯化盐，除氯效果好；新生成的氟代正硅酸酯，沸点与产品沸点相差大，非常有利于后续的精馏，能够获得氯含量达到半导体级的正硅酸酯纯品；无需使用大量的醇溶剂和易燃处理剂，可操作性强、除氯剂可重复使用、安全可控、成本低，易于工业放大生产。

摘要：本发明公开了一种三甲基铝粗品的除氯方法。所述三甲基铝粗品中包含三甲基铝以及甲基氯化铝，所述除氯方法包括：使所述三甲基铝粗品与格式试剂接触，并使所述格式试剂与甲基氯化铝发生亲核取代反应生成氯化镁而去除。本发明可降低三甲基铝中的有机氯杂质的含量，使其达到半导体级别要求，通过间接或者直接使用格氏试剂反应的方式除去三甲基铝中的氯杂质，处理时间短，所用试剂效率高，工业放大生产简单方便，并且所使用的试剂安全性高；并且在一些优选实施方式中，精馏后的前馏分可加入至下一批次再次加热处理，提高试剂利用率，降低成本。

摘要：本发明公开了一种MO源除氧提纯方法，包括以下步骤：选取硼氢化物作为还原剂；使用还原剂对MO源进行除氧处理。本发明的MO源除氧提纯方法具有提纯效果好、减少副反应发生的可能性以及工艺流程简单，不引入新杂质的优点。

摘要：本发明公开了一种滴定检测硅前驱体中卤素相对含量方法，通过先量取样品，再对样品加酸处理，继而提取含卤液相层，再加水处理及硝酸银滴定，最后混浊度排序及卤素相对含量判定，从而鉴定处理前后硅前驱体中卤素的相对含量。本发明通过对硅前驱体进行加酸处理，使含卤有机物转化为含卤无机物，之后进行硝酸银滴定；方法准确可靠，操作简单，满足项目定性分析指标要求；大幅度提高检测速度，过程简单，准确性满足要求；可以对处理前后的硅前驱体中卤素含量进行分析，有效配合硅前驱体研发的进行。

摘要：本发明涉及低硅低氧三甲基铝提纯方法，首先制备担载钾钠合金小球，利用担载钾钠合金小球对粗品三甲基铝处理；将担载钾钠合金小球与粗品三甲基铝分离；对处理后三甲基铝进行精馏；高纯三甲基铝杂质含量检测；使钾钠合金吸附在小球表面，加大钾钠合金与三甲基铝的接触和反应面积，担载钾钠合金小球在除杂反应容器中与粗品三甲基铝混合搅拌，或将担载钾钠合金小球置于层析/填料柱内，使三甲基铝通过层析/填料柱，通过小球高比表面对三甲基铝的吸附和脱附，小球表面的钾钠与三甲基铝的充分接触和反应，高效地除去三甲基铝中的有机硅杂及氧杂，处理后的三甲基铝溶液精馏，得到低硅低氧高纯三甲基铝产品；满足生产高性能化合物半导体材料指标要求。

摘要：本发明涉及一种水质检测技术领域，公开了一种便携式水质观测设备及其使用方法，包括浮力调节装置、水样采集装置、动力检验装置、图像检验装置，所述浮力调节装置包括浮体材料和控制器，所述控制器中充气泵控制调节水质观测设备的浮力，所述水样采集装置包括取样开关与水箱，所述动力检验装置滑动连接水箱，所述图像检验装置包括图像传感器和阻尼，所述数据收集器收集处理数据求出未知变量比照参照值判断水质情况，一种基于物理机械振动实验模型对水体测速方法在保证测量数据准确性的前提下，能更加快捷有效地观测水质情况，本发明结构简便、实时有效处理数据，大大提高了水质观测速率，为水环境保护工作与水污染防治工作带来极大的便利。

摘要：本发明公开了一种无粘性细粒土挡水填筑体的护坡方法，按照下述步骤进行：一、在无粘性细粒土填筑体的坡面上覆盖一层复合土工膜，复合土工膜由上、下两层土工布和中间一层聚乙烯膜组成；二、在复合土工膜上表面覆盖无粘性细粒土层，无粘性细粒土的粒径范围为0.0755mm～0.25mm；三、在无粘性细粒土层的上表面覆盖无纺土工布层，无纺土工布的规格为300g/㎡；四、在无纺土工布层上表面覆盖雷诺护垫，雷诺护垫的规格为长×宽×厚=6m×2m×0.2m，雷诺护垫的网孔尺寸为5cm×7cm，网孔钢丝直径为2.2mm，边缘钢丝直径为2.7mm。本发明不仅降低了工程投资而且加快了护坡的施工进度，提高了工程的开发效益。