摘要：一种光刻胶的去除方法，包括：提供具有光刻胶层的半导体结构；将所述半导体结构置于氧气等离子环境中，通过氧气等离子体灰化去除所述光刻胶层，其中，产生所述氧气等离子体的激励源功率小于等于400W。本发明还提供一种应用所述的光刻胶的去除方法制造镶嵌结构的方法。本发明在去除光刻胶的工艺中对该光刻胶层下层的介质层造成的损伤较小。

摘要：一种电容器，包括两个电容器极板以及夹在两个极板之间的绝缘层，所述绝缘层包括氧化硅层和氮化硅层。本发明的优点在于，所述电容器的绝缘层中既包括氧化硅层，也包括氮化硅层，抑制了单一采用氧化硅或者氮化硅所带来的电容值随电压变化的现象，获得了具有稳定电容值的电容器。

摘要：本发明涉及一种铁路调车作业识别障碍物的方法、系统、介质及设备，其中的方法包括：获取列车在运行方向上的实景的三维图片；从所述三维图片中提取出列车所在轨道的左右限界及前后延伸范围中的三维坐标；根据所述三维坐标判断列车所在轨道在运行方向上是否有障碍物。本发明设计了一种在铁路调车作业过程中，通过获取列车在运行方向上的实景的三维图片来主动识别障碍物方法，可以实现对编组站中未知位置的存车等异常障碍物的有效识别。

摘要：一种镶嵌于铜互连中的电容器结构及其形成方法，衬底，衬底包括基底和器件层，器件层内具有第N层铜金属连线层；位于第N层铜金属连线层上的第一绝缘层和第一顶电极；位于器件层上具有第一高度尺寸且覆盖第一绝缘层和第一顶电极的第N+1层介质结构；位于第N+1层介质结构上的第二底电极、第二绝缘层以及第二顶电极，第二底电极位于第N层铜金属连线层表面；位于第N+1层介质结构上具有第二高度尺寸且覆盖第二底电极、第二绝缘层以及第二顶电极的第N+2层介质结构，第二高度尺寸大于第一高度尺寸。根据第N+1层介质结构和第N+2层介质结构的高度尺寸，灵活的设计电容结构的层数，即能够满足电容结构集成度的提升，同时也能够兼顾到电容结构的电接触性。

摘要：一种半导体结构及其形成方法，方法包括：在第一极板上形成第一电容介质层；在第一电容介质层上形成第二极板；在第二极板上形成第二电容介质层，第二电容介质层覆盖第二极板的部分顶部和侧壁；在第一电容介质层的部分顶部上形成侧极板，侧极板位于第二电容介质层的侧部且通过第二电容介质层第二极板相隔离；第二电容介质层上形成第三极板。因此，第一极板、第二极板、以及第一电容介质层构成第一电容，第二极板、侧极板、第二电容介质层构成第二电容，第三极板、第二极板、以及第二电容介质层构成第三电容，在同等的面积等其他条件相同的情况下，增加了所形成的电容结构中电容的数目，即增加了电容结构的电容密度。

摘要：本发明提供一种金属槽的制作方法，用于制作顶层金属槽，该方法包括以下步骤：1.在硬掩模层上涂敷光阻，等离子体蚀刻硬掩模层；2.等离子体蚀刻掩模层下的硅基底层形成预设深度金属槽；其中，步骤2中蚀刻硅基底层分三步进行：21.进行主蚀刻，蚀刻硅基底层形成小于预设深度的金属槽；22.去除硬掩模层上光阻，23.进行过蚀刻，进一步蚀刻硅基底层形成预设深度的金属槽；主蚀刻和过蚀刻均在预设强度的磁场中进行。通过采用主蚀刻和过蚀刻，同时辅以磁场分两步完成硅基底层上的金属槽的蚀刻，可解决传统金属槽的制作方法存在的条纹边缘问题，提高制作的金属槽深度的均匀性。

摘要：本发明公开了一种全反射微波器件及其制备方法，所述全反射微波器件包括介质层及位于介质层全部或部分表面的若干亚波长结构层，所述亚波长结构层包括若干呈阵列周期状分布的微结构，亚波长结构层用于对介质层内的微波进行全反射限制和/或对介质层外的微波进行吸收。本发明的微波器件无需在微波器件表面镀覆金属层，即可实现器件内微波的全反射及器件外微波的全吸收，大幅降低了器件的制造成本；易于设计、加工和制造，可大规模产业化，适用于具有机械振动、宽温工作等环境中微波器件的研制和生产，在现代电子通信系统中具有重要运用价值。

摘要：本发明公开了一种城市轨道交通电子地图的生成方法和系统，涉及城市轨道交通领域。该方法包括：基于预设连接规则建立多个轨旁设备的连接关系，基于预设图形化方法对多个轨旁设备进行设置，并进行图形化显示，通过对多个轨旁设备的逻辑关系的数据和图形化显示的图形元素数据独立处理，生成城市轨道交通电子地图，将轨旁设备的图形元素数据与逻辑关系的数据进行分别处理，可最大程度的降低地图数据的内容耦合性，将变化较多的显示逻辑和相对固定的拓扑逻辑进行职责分离，极大的降低了数据生产的复杂度和错误率。

摘要：本发明涉及光伏发电技术领域，尤其涉及稳压耐高温光伏发电干式变压器与开关柜的并装柜体结构，包括变压器柜、开关柜以及设置在变压器柜内部的变压器，变压器柜的外壁与开关柜的外壁相接触，且变压器柜与开关柜之间固定连接，所述变压器柜的下端设置有进气口，所述变压器的上端设置有低压出线铜排以及高压接线端子，低压出线铜排和高压接线端子分别通过母线与对应的接线柱连接，所述接线柱固定安装在变压器柜的内侧壁上，所述变压器柜的内侧壁上还设置有母线缓冲机构，该并装柜体结构中，设置了母线缓冲机构，对母线进行缓冲，减少母线运动过程中对接线柱以及低压出线铜排(高压接线端子)的损伤，提高整个装置的稳定性，能够实现稳压输出。

摘要：本发明揭示了一种基于微区金属化的电极制备方法及太阳能电池，所述方法包括：在模板上制备与电极图案相对应的凹槽，形成阴模；在阴模的凹槽中注入含有金属离子的镀液；将待镀产品与阴模紧密吸附，以使凹槽内的镀液与待镀产品接触；在待镀产品表面化学镀和/或电镀形成与凹槽形状对应的电极。本发明基于微区金属化的电极制备方法，无需复杂的掩膜和图形开窗工艺，缩短了工艺流程，降低了制造成本；与传统电镀工艺相比，本发明可大幅降低电镀液的用量和耗量，从而大幅降低了废液处理的难度和成本。