摘要：本发明提供了一种流量控制方法及装置、反应腔室，其通过向其中一个工艺腔室的第二控制单元发送工艺使能信号，并使第二控制单元根据工艺使能信号，与第一控制单元联网，以能够通过第二控制单元将目标流量值发送至第一控制单元，从而实现自动控制第一控制单元将公共流路向至少一个进行工艺的工艺腔室中通入的公共流体的流量调节至目标流量值，而无需人工配置，进而提高了控制精确性。

摘要：本申请实施例公开了一种卤素灯的检测方法、装置及设备，用以解决无法对卤素灯损坏进行预警的问题。所述方法包括：在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。该技术方案实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。

摘要：本发明提供一种机械手、半导体设备以及机械手工作状态检测方法。该机械手包括：力传感器，用于检测所述机械手的受力，基于所述机械手的受力而判断所述机械手在传输和取放晶片的过程中是否出现异常。通过本发明，可以及时、准确地发现机械手在传输和取放晶片过程中的异常，保障了机械手的安全性。

摘要：本申请实施例提供了加热部件功率控制方法、半导体工艺设备，该方法包括：在当前工艺过程完成后，确定在当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围；基于控温阶段的功率波动范围，确定控温阶段的功率波动值，判断功率波动值是否大于或等于预设的波动阈值；若功率波动值大于或等于波动阈值，基于当前工艺过程中加热部件在升温阶段的功率波动范围以及在控温阶段的功率波动范围，确定下一工艺过程中加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围；在下一工艺过程中，根据加热部件在升温阶段的功率限制范围以及在控温阶段的功率限制范围，控制加热部件在升温阶段的功率以及在控温阶段的功率。

摘要：本发明提供了医学技术领域一种网篮式肺结节定位针，包括外针组件、内推组件；外针组件包括外套针与外针手柄，外套针的一端与外针手柄连接设置；内推组件包括定位件、内推杆以及内推手柄；内推杆的一端设置在内推手柄上，定位件设置在内推杆的另一端，内推杆设置有定位件的一端插入设置在外套针内。本发明通过设置球状结构的定位网篮，球状结构外表面光滑且稳定对称，可避免在穿刺定位过程中对周围软组织造成出血和损伤问题，其中前端呈球状可减小定位网篮推入过程中，头部对体内软组织的伤害，以及网篮的直径适中，可以降低网篮在体内张开时对内脏组织造成伤害，实现临床医生可以触摸识别的目的。

摘要：本申请提供一种车辆服务请求管理方法及装置，涉及车辆服务请求管理技术领域，应用于电子设备。其中，车辆服务请求管理方法包括：电子设备确定第一服务请求，根据第一服务请求确定对应的第一服务请求管理灰度规则，在确定存在对应的第一服务请求管理灰度规则的情况下，根据第一服务请求管理灰度规则确定对应的规则引擎和规则脚本，根据规则引擎执行规则脚本生成执行结果，并根据执行结果将第一服务请求发送至目标车辆。如此，可以根据第一服务请求对应的第一服务请求管理灰度规则选择对应的规则引擎执行规则脚本，并根据规则引擎执行规则脚本的执行结果确定需要下发服务请求的车辆，从而使得接收到服务请求的目标车辆能够正常执行该服务请求。

摘要：本发明提供在钢的高速切削加工、不锈钢和难削材料等的切削加工中实现长寿命、在金属模具中实现长寿命的被覆工具。本发明的被覆工具由基材和被覆在其表面上的覆膜形成，覆膜含有被覆在基材表面上的中间膜和被覆在中间膜的表面上的氧化物膜，测定对覆膜表面以施加负荷P＝196（N）按压维氏压头而在被覆工具的表面上产生的裂纹长度dc（μm）和基材的断裂韧性KIC（MPa·m0.5）后由以下的数学式1的公式求出的开裂系数R为0.07～0.12m0.5。数学式1R＝P/(dc·KIC)

摘要：本发明公开了一种用于制造PTFE缝纫线的拉丝机，其包括从左至右依次设置的除油装置、烧结装置、牵伸装置和收卷装置；所述除油装置包括第一加热单元和平行设置的若干除油辊，所述除油装置用于除去条状的PTFE丝中的煤油；所述烧结装置包括烧结箱和第二加热单元，所述烧结装置用于对条状的PTFE丝进行烧结；所述牵伸装置包括牵伸箱和牵伸压辊，所述牵伸压辊包括牵伸前压辊和牵伸后压辊，所述牵伸前压辊的转速低于所述牵伸后压辊的转速；所述收卷装置包括收卷摆杆和收卷盘，所述收卷摆杆设置在所述收卷盘的左侧。本发明实现完全自动生产，结构简单，易制造、易使用操作、提高生产效率，保证了PTFE缝纫线的均匀度、强度和合格率。

摘要：本发明公开了一种用于制造PTFE缝纫线的挤条机，其包括底座、模柱、油缸、压杆和挤出装置，所述底座上固定设置有机架，所述机架上设置有第一钢板，所述模柱固定设置在所述第一钢板上；所述模柱上设置有第二钢板，所述油缸固定设置在所述第二钢板上；所述油缸下端与所述压杆连接，所述第一钢板中间设置有挤出通孔，所述挤出装置穿过所述挤出通孔并与所述第一钢板固定连接；所述压杆位于与所述挤出装置正上方；所述油缸通过油管连接有液压站。本发明结构简单，易制造、易使用操作、易控制产品质量，减少劳动强度和人力投入，提高生产效率，制得的PTFE条状丝不断裂，长度长，保证了PTFE条状丝的均匀度、强度和合格率。

摘要：本发明公开了一种用于制造PTFE缝纫线的多辊牵伸装置，其包括机架，所述机架上设置自左至右依次设置有若干组加热辊组，每组所述加热辊组均包括三支加热辊；所述第三加热辊组右侧设置有若干冷却辊；所述第一加热辊组上方设置有前压辊装置，所述冷却辊上方设置有后压辊装置。本发明将较窄较长的膜通过膜裂装置分切成30～40根窄丝之后，使用本装置将这些窄丝进行再次牵伸，得到所需的PTFE缝纫线；本发明实现完全自动生产，设备结构简单，易制造、易使用操作、易控制产品质量，减少劳动强度和人力投入，提高生产效率，保证了PTFE缝纫线的均匀度、强度和合格率。