摘要：一种基板制程设备，其包含制程腔体及基板载台。所述制程腔体具有电浆入口壁及环绕壁。所述电浆入口壁经配置以接收来自一远程电浆源的输出。所述环绕壁形成腔体内表面，所述内表面定义内部空间以接收一基板。所述基板载台可升降地设置于所述制程腔体的所述内部空间，并具有面对所述电浆入口壁的基板支撑面。所述环绕壁，在所述制程腔体的截面中，具有第一区段及第二区段。所述第一区段对应于所述基板载台的制程区域，并具有第一宽度。所述第二区段相较于所述第一区段更远离所述电浆入口壁，并具有大于所述第一宽度的宽度。

摘要：一种基板处理设备，包括腔室构件，其内定义具有宽深比的内部空间，所述腔室构件包括成对的入口墙及装卸端口。所述成对的入口墙彼此在横向上相对设置，每个所述入口墙具有入口，所述入口经配置以接收来自远程电浆源的输出。所述装卸端口于横向上布置在所述成对的入口墙之间，经配置以允许基板通过进入所述内部空间。

摘要：一种并列式镀膜设备及多层膜的镀膜方法，所述并列式镀膜设备适用于对载具所载送的至少一个待镀物进行镀膜，所述并列式镀膜设备包含双层真空腔、多个制程腔、入料升降机构及多个输送装置。所述双层真空腔包括沿Z轴方向相反设置的入料室与出料室。所述制程腔用来对所述待镀物进行定点镀膜，所述双层真空腔与所述制程腔在Y轴方向并列成双排。所述入料升降机构包括能沿所述Z轴方向移动的入料升降座。所述输送装置设置于所述制程腔且用来带动所述载具移动。所述载具由所述入料室入料，并在通过所述制程腔后，由所述出料室出料。利用所述双层真空腔与各制程腔双排并列的空间设计，减少设备长度而能降低设备的占地面积。

摘要：提供一种等离子处理装置，控制微波电力的第一输出期间的长度和所述第二输出期间的长度，以使得成为所期望的晶片ER分布。在利用通过脉冲调制了的高频电力生成的等离子进行等离子处理的等离子处理装置中，特征在于，脉冲调制的一周期具有：微波输出的第一输出的期间；微波输出比第一输出小的有限值的第二输出的期间；和微波输出被设为关断的关断期间，在第一输出的期间以及第二输出的期间中，施加高频偏压，第一输出是蚀刻速率分布成为凹分布的输出，第二输出是蚀刻速率分布成为凸分布的输出，所述等离子处理装置具备：控制装置，其控制生成脉冲调制的脉冲产生器，以使得在将蚀刻速率分布设为凹分布的情况下，第一输出的期间的长度变得比第二输出的期间的长度长，在将蚀刻速率分布设为凸分布的情况下，第一输出的期间的长度变得比第二输出的期间的长度短。

摘要：一种旋转移载式立式镀膜设备，包含多个真空制程腔、第一旋转腔，及第二旋转腔。所述真空制程腔分别设置于第一轴线及第二轴线上，且能容置及输送所述待镀物。所述第一旋转腔设置于所述第一轴线上，并连接其中一个真空制程腔且可驱动所述待镀物旋转，并可供所述待镀物移入及移出，所述第二旋转腔设置于所述第二轴线上，并连接其中另一个真空制程腔且可驱动所述待镀物旋转，并可供所述待镀物移入及移出。因此可减少设置真空制程腔的数量而减少占用空间且易于利用空间，并达到双面镀膜的功效。

摘要：一种末端返回式双面立式镀膜设备，包含第一排真空腔、第二排真空腔、转移真空腔及回流区。所述第一排真空腔设置在基准线的一侧且包括第一真空腔、第二真空腔及第三真空腔。所述第二排真空腔设置于所述基准线的另一侧且包括第四真空腔、第五真空腔及第六真空腔。所述第一排真空腔与所述第二排真空腔设置在邻近所述基准线的一侧的腔门彼此错开。载具能沿着由所述第一排真空腔、所述转移真空腔、所述第二排真空腔及所述回流区所形成的循环路径移动。本发明能节省设备占地面积，且各真空腔的腔门互相错开不干涉，方便维修或故障排除。

摘要：一种在塑胶工件上形成电磁干扰防护层的方法，包含以下步骤：于一个被设置在一个治具的塑胶工件的一内表面电浆聚合一层中间层；及在电浆聚合后，于该被设置在该治具的塑胶工件的中间层上溅镀一层电磁干扰防护层。另外，本发明也提供另一种在塑胶工件上形成电磁干扰防护层的方法，包含以下步骤：电浆清洗一个被设置在一个治具的塑胶工件的一内表面；及在电浆清洗后，于该被设置在该治具的塑胶工件的内表面上溅镀一层电磁干扰防护层。

摘要：本发明提供了一种设备的控制方法、装置及系统，其中，设备的控制方法包括：接收被控设备的参数信息，上述参数信息包括被控设备的标识和配置信息；以及根据参数信息生成对应的操作控制程序，以使用户通过操作控制程序对被控设备进行控制。本发明实施例提供的设备的控制方法、装置及系统，通过云端根据接收的参数信息生成对应的操作控制程序，使得用户可以通过运行在移动终端例上的操作控制程序来对被控设备进行控制，从而克服了手动调节设备带来的不便，并且，用户可以随时随地通过移动终端对与账号绑定的多个被控设备进行控制，给用户带来了极大的方便。

摘要：一种双门闸阀装置包含一个基座、两个闸门单元，及一个输送单元。该基座包括一个环腔壁、一个位于该环腔壁一端且具有一个入阀口的入口端壁、一个位于该环腔壁另一端且具有一个出阀口的出口端壁、一个介于该入口端壁与该出口端壁之间且具有一个间阀口的间隔壁，及一个抽气孔。该环腔壁、该入口端壁与该间隔壁共同界定出一个缓冲腔。该环腔壁、该间隔壁与该出口端壁共同界定出一个衔接腔。所述闸门单元分别对应设置于该缓冲腔内与该衔接腔内，且分别用于启闭该入阀口与该间阀口，产生双重隔离的效果，此外，该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm，使设备成本得以降低。

摘要：本发明公开了一种传感器执行器网络应用程序的部署方法及系统，将中间字节码中运行于当前节点的部分编译成本地代码，并将中间字节码中不运行于当前节点的部分传递给传感网络的当前节点的大于或等于所属级别所有下级层次的节点；可以大大降低在分布式传感器‑执行器网络中部署应用程序的难度；应用程序在整个部署过程中以中间字节码表示代表，使得其可以被编译运行于本地，大大提高了灵活性，而无需下发多个版本的二进制；应用程序是递归部署的，这大大降低了云端和路由器的负担，任何一个节点只需要部署中间字节码到它的直接下级节点即可，本发明还可以自动探测新节点子系统的加入，并且自动部署应用程序到新加入的整个节点子系统。