摘要：本发明公开了一种平面马达以及包括该平面马达的光刻设备。该平面马达包括：定子，包括多个定子极，多个定子极以具有第一节距的重复布置的方式布置，多个定子极面对移动平面的第一侧；和动子，包括多个动子极，多个定子极以具有第二节距的重复布置的方式布置，多个动子极面对移动平面的相对的第二侧。定子和动子的至少一个的极设置有绕组以响应于通过相应绕组的电流改变定子极和动子极相应一个内的磁场。定子和动子的至少一个包括永磁体，用于产生从永磁体延伸经过定子和动子的至少一个相应的极至定子和动子的另一个并返回的磁场。第一和第二节距彼此不同，使得当动子的一个动子极与定子的一个定子极对准，动子的其他动子极与定子的定子极不对准。

摘要：公开了其中通过下述步骤典型地提供用于web服务中介体的端口类型不可知的代理支持的方法、系统和产品，所述步骤为：在web服务中介体(202)中接收用于执行web服务操作的请求，其中该请求包括从其可以标识出支持所述操作的目标服务的端点的Fulanetric信息；根据所述参数数据标识出支持所述操作的目标服务的端点；创建用于执行目标服务(118)上的操作的目标服务请求；以及将目标服务请求发送到目标服务。示例性实施例典型地还包括请求-响应处理的返回路径：在中介体(202)中接收来自目标服务(118)的响应；根据来自目标服务的响应在中介体中创建来自中介体的响应；以及将响应从中介体(202)返回到请求客户(102)。

摘要：本发明涉及一种用于光刻投影设备中的洛伦兹致动器。本发明通过采用由高热导性材料制成的分隔层分隔开的多个线圈而对现有技术的洛伦兹致动器的热性能予以改善，所述分隔层与冷却元件很好地热接触。以这种方式，热量从线圈中心附近的热点区域迅速流到冷却元件。根据本发明的另一方面，冷却元件被设置成与分隔层对齐，以便使这两个元件之间的热连接最佳。已经发现，将母线圈分成两个线圈可以提供改善的热性能于不想要的体积和复杂性增加之间的实用的平衡。

摘要：本发明涉及一种粒子束设备(1)，该粒子束设备(1)包括：粒子束源(210)，被配置为生成粒子束(202)；电磁线圈(2)，被配置为发射磁场以操纵粒子束；载物台(10)，被配置为保持衬底(300)；定位装置(20)，包括铁磁材料(11)，该定位装置还包括被配置为相对于粒子束定位载物台的至少一个电机(23，24)；以及控制器(30)，被配置为向至少一个电机提供控制信号以至少部分补偿作用在定位装置上的由磁场感应的磁力。

摘要：本发明公开了一种致动器、定位系统和光刻设备。该致动器用于施加力和扭矩到物体上，包括：第一部分，其相对于致动器的第二部分沿至少第一自由度是可移动的，所述物体安装到所述第一部分，其中所述部分中的一个设置第一电线圈，所述第一电线圈布置成与另一部分的可磁化部协同工作，并且致动器的控制器布置用以产生第一电流通过所述第一电线圈以在所述第一部分和第二部分之间产生力，其中所述一个部分设置有第二电线圈，所述第二电线圈布置用以与另一部分的可磁化部协同工作，所述控制器还布置用以产生第二电流通过所述第二线圈以在所述第一部分和第二部分之间施加力和扭矩，使得所述致动器布置成相对于所述第二部分施加力和扭矩到所述物体上。

摘要：公开了用于冷却带电粒子束系统的物镜的系统和方法。根据某些实施例，用于冷却带电粒子束系统的物镜的方法包括经由线轴的流体输入端口接收流体，经由分布在该线轴中的多个通道循环吸收了由该物镜的多个电磁线圈所生成的热量的流体，并且经由该线轴的流体输出端口分配由该多个通道所循环的流体。该线轴可以进一步包括接近于晶片的底部凸缘以及远离该晶片的顶部凸缘。具有多个通道的该线轴可以包括增材制造的单片结构。

摘要：一种具有高驱动力、高效率和低法向力的直线马达，包括两个相对磁体轨道11、12和电枢13，电枢包括三个开路线圈组。直线马达可以用于在光刻投影设备中驱动一工作台，特别是掩模台。

摘要：一种光刻投影设备，包括一洛伦兹致动器，它包括与至少一个冷却元件热接触的线圈装置。一个或更多个槽被设置在所述冷却元件内，所述槽被设置成可增加涡流路径的电阻。由于场线圈中的电消耗，洛伦兹致动器产生热。由于通过线圈的磁场改变，会在冷却元件中感应出涡流，导致不想要的阻尼力和发热。本发明通过将槽结合到冷却元件中提供了减小涡流的改进结构。槽优选是垂直于感应出的电场，并且它们相互平行，并且通过使涡流沿着较高电阻的路径减小了涡流的大小。

摘要：一种用以对例如镜进行位移的致动器通过改变两个电磁体(370)中的电流来提供具有至少两个自由度的移动。运动部件包括具有磁面的永磁体(362)，该磁面被约束为在基本上位于与磁体的磁化方向垂直的第一平面中的工作区域上运动。电磁体具有基本上位于接近平行于第一平面的第二平面中的极面，每个极面基本上填充运动磁体的面所经过的区域的四分之一。铁磁屏蔽件(820)被提供在运动部件的周围并且具有至少一个中断(822)，以减少邻近致动器或杂散场的影响，同时还最小化永磁体(362)与屏蔽件(820)之间的吸引。

摘要：本发明提供了包括高度有效的洛伦兹致动器的光刻装置。该洛伦兹致动器包括：排列成Halbach结构的主磁铁系统和辅助磁铁系统；导电元件，通过该导电元件流过的电流和分别由主磁铁系统和辅助磁铁系统产生的第一磁场及第二磁场的合成磁场的相互作用而产生力。该致动器进一步包括基本上在第一和第二磁铁系统部件外侧之间延伸的磁性元件。该磁性元件引导第一和第二磁铁系统部件之间的部分第二、辅助场。