全部专利 发明专利 实用新型专利 外观设计专利
排序方式:
当前查询到1条专利包含查询词 "一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法" ,搜索用时0.40625秒!
发明专利:1实用新型: 0外观设计: 0
1 条,当前第 1-1 条 返回搜索页
申请号:202210286974.5 公开号:CN114639768A 主分类号:H01L35/32
申请人:电子科技大学 申请日:2022.03.22 公开日:2022.06.17
摘要:本发明属于热流传感器领域,具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好;批量制备技术设计思路简单易行,在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上,通过特殊的图形化结构设计,一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器,易于工业化大批量生产,大大提高工作效率,降低了成本。同时,可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品,便于在测试时,根据不同需求选择不同个数样品进行测试,能够有效应对大热流场的测量需求应用场景,便于形成集成传感器芯片模块,充分发挥微系统可标准化批量化生产的特点,符合当今时代电路发展规律。
详细信息 下载全文

1 条,当前第 1-1 条 返回搜索页
©2022 Patent9.com All rights reserved.